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在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，離子注入和超聲波技術(shù)作為中國半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展的兩大驅(qū)動(dòng)力，正助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高端、更先進(jìn)的方向邁進(jìn)。
近期，行業(yè)內(nèi)波瀾涌動(dòng)，傳來兩大重磅事件：一邊是華海清科擬通過收購芯崳公司加速布局離子注入機(jī)，有望攻克離子注入機(jī)這一關(guān)鍵設(shè)備的潛在壁壘；另一邊，半導(dǎo)體超聲設(shè)備企業(yè)驕成超聲總部基地開工，預(yù)示著在半導(dǎo)體超聲應(yīng)用方面將邁向新臺(tái)階。
國產(chǎn)半導(dǎo)體CMP設(shè)備龍頭華海清科，加速布局離子注入機(jī)
12月24日，華海清科發(fā)布晚間公告稱，本公司和/或本公司全資子公司華海清科（上海）半導(dǎo)體有限公司（以下簡(jiǎn)稱“華海清科上海”）擬合計(jì)使用自有資金不超10.05億元，收購公司參股子公司芯崳半導(dǎo)體（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“芯崳公司”）剩余82%的股權(quán)，本次交易完成后，芯崳公司將成為公司全資子公司。
根據(jù)公告，本次交易的股權(quán)轉(zhuǎn)讓方包括自然人CHEN WEI及上海凱城、上?？苿?chuàng)、浦東海望、中小海望、創(chuàng)芯肆號(hào)、RIGHT DIRECT INVESTMENTS LIMITED、湖州慶芯共計(jì)8方。上海凱城為芯崳公司控股股東，CHEN WEI及CHEN JIONG為芯崳公司的共同實(shí)際控制人。
本次交易以具有證券期貨相關(guān)業(yè)務(wù)資格的評(píng)估機(jī)構(gòu)出具并經(jīng)公司國有資產(chǎn)管理部門備案的股權(quán)評(píng)估報(bào)告結(jié)論為基礎(chǔ)，確定芯崳公司100%股權(quán)的整體價(jià)格為12.25億元，交易價(jià)格與評(píng)估截止日芯崳公司所有者權(quán)益賬面值相比的增值率為1541.43%，華海清科和/或華海清科上海將按照上述芯崳公司整體估值以人民幣10.05億元收購公司參股子公司芯崳公司剩余82%的股權(quán)。
公告顯示，芯崳公司成立于2018年8月16日，注冊(cè)資本為1578.95萬元，主要從事集成電路離子注入機(jī)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，目前實(shí)現(xiàn)商業(yè)化的主要產(chǎn)品為低能大束流離子注入設(shè)備，相關(guān)產(chǎn)品已發(fā)往客戶端驗(yàn)證。其核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)專注于離子注入行業(yè)30多年，具有豐富的離子注入行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，在長(zhǎng)期研發(fā)過程中不斷積累了產(chǎn)品設(shè)計(jì)及工藝性能的核心參數(shù)，并對(duì)設(shè)備核心模塊離子束流系統(tǒng)的傳輸路徑進(jìn)行了升級(jí)改進(jìn)，使得芯崳公司目前的產(chǎn)品較同類競(jìng)品的晶圓顆粒污染控制效果、晶圓的裝載效率更優(yōu)，且設(shè)備零部件的國產(chǎn)化率更高。
芯崳公司目前尚處于虧損狀態(tài)，并且預(yù)計(jì)未來短期內(nèi)仍將持續(xù)虧損。華海清科表示，本次收購?fù)瓿珊蠊緦⒓哟蟠祟悩I(yè)務(wù)的研發(fā)投入，以實(shí)現(xiàn)離子注入設(shè)備的持續(xù)迭代升級(jí)和新產(chǎn)品開發(fā)，同時(shí)公司本次采用現(xiàn)金方式支付轉(zhuǎn)讓對(duì)價(jià)，公司股本規(guī)模不因本次收購交易發(fā)生變化，因此，本次收購?fù)瓿珊?，公司原有業(yè)務(wù)的每股收益將被新增業(yè)務(wù)板塊攤薄。
華海清科的業(yè)務(wù)主要以CMP和研磨設(shè)備為主，該公司此前在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司CMP裝備包含清洗模塊，清洗技術(shù)均為公司自主研發(fā)，基于公司在此領(lǐng)域的技術(shù)積淀和集成電路客戶需求，公司積極開展清洗裝備的研發(fā)工作，主要面向材料端的終端清洗市場(chǎng)需求。公司自主研發(fā)的清洗裝備已批量用于公司晶圓再生生產(chǎn)，應(yīng)用于4/6/8英寸化合物半導(dǎo)體的刷片清洗裝備和12英寸單片終端清洗機(jī)已實(shí)現(xiàn)首臺(tái)驗(yàn)收，清洗產(chǎn)品進(jìn)展順利。
針對(duì)此次布局離子注入機(jī)，華海清科認(rèn)為，離子注入機(jī)為集成電路制造關(guān)鍵制程設(shè)備，長(zhǎng)期由部分國際知名廠商壟斷，中國大陸集成電路制造企業(yè)的離子注入設(shè)備仍然主要依賴進(jìn)口，進(jìn)口替代需求空間巨大。芯崳公司是國內(nèi)少數(shù)能實(shí)現(xiàn)大束流離子注入設(shè)備生產(chǎn)的供應(yīng)商，公司可以通過本次收購較快實(shí)現(xiàn)對(duì)離子注入核心技術(shù)的吸收和轉(zhuǎn)化，跨越式地完成產(chǎn)品和業(yè)務(wù)板塊布局，進(jìn)一步提升公司核心競(jìng)爭(zhēng)力。
離子注入設(shè)備涉及高壓電子、機(jī)械、電氣、計(jì)算機(jī)控制、等離子體物理等基礎(chǔ)科學(xué)，理論門檻高，系統(tǒng)集成難度大。在全球及國內(nèi)市場(chǎng)中，超過九成的設(shè)備仍由美國應(yīng)用材料公司、美國亞舍立公司供應(yīng)，市場(chǎng)集中度較高。從國內(nèi)來看，國內(nèi)開展離子注入設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)的公司包括上述華海清科擬收購的芯崳公司、北京爍科中科信、上海凱世通、思銳智能等，這些公司正在積極規(guī)劃產(chǎn)品布局，不斷拓展其在半導(dǎo)體集成電路、光伏、第三代半導(dǎo)體等多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的業(yè)務(wù)范圍。
圖表來源：全球半導(dǎo)體觀察根據(jù)公開信息整理
此外，業(yè)界強(qiáng)調(diào)，離子注入機(jī)是集成電路制造前道工序中的關(guān)鍵設(shè)備之一，離子注入設(shè)備銷售額占半導(dǎo)體工藝設(shè)備整體銷售規(guī)模的比重約為3-5%，市場(chǎng)前景廣闊。
國產(chǎn)半導(dǎo)體超聲設(shè)備龍頭驕成超聲，總部基地在上海開工
據(jù)“今日閔行”消息，12月21日，上海驕成超聲波技術(shù)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“驕成超聲”）總部基地及先進(jìn)超聲裝備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目舉行開工典禮。該項(xiàng)目是2024年區(qū)重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目，建設(shè)項(xiàng)目包括驕成超聲總部、研發(fā)中心、銷售中心、產(chǎn)業(yè)化中心等。
資料顯示，驕成超聲成立于2007年，是一家起源于“大零號(hào)灣”、成長(zhǎng)于“大零號(hào)灣”的科創(chuàng)板上市企業(yè)。公司于2022年9月登陸上交所科創(chuàng)板上市，是國內(nèi)功率超聲設(shè)備第一股。驕成超聲聚焦超聲波技術(shù)的開發(fā)與應(yīng)用，打造了以超聲波技術(shù)為核心的技術(shù)平臺(tái)，面向半導(dǎo)體、新能源、醫(yī)療醫(yī)美等多個(gè)行業(yè)提供整體解決方案。
驕成超聲在半導(dǎo)體領(lǐng)域的主要產(chǎn)品包括超聲波鍵合機(jī)、超聲波掃描顯微鏡（SAM/SAT）、Pin針超聲波焊接機(jī)、半導(dǎo)體端子超聲波焊接機(jī)等。其中，超聲波鍵合機(jī)、Pin針焊接機(jī)和端子焊接機(jī)是半導(dǎo)體封測(cè)工序的關(guān)鍵設(shè)備，超聲波掃描顯微鏡（C-SAM/SAT）則廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓、芯片、2.5D/3D封裝、IGBT模塊/SiC器件、基板（陶瓷DBC/金屬板AMB）等產(chǎn)品的檢測(cè)。
特別是在功率半導(dǎo)體領(lǐng)域，驕成超聲的超聲波端子焊接機(jī)、PIN針焊接機(jī)等產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)規(guī)模化批量出貨，與上汽英飛凌、中車時(shí)代、振華科技、宏微科技、士蘭微、芯聯(lián)集成等一眾行業(yè)知名巨頭建立并保持著緊密且良好的合作關(guān)系；在半導(dǎo)體先進(jìn)封裝前沿陣地，驕成超聲針對(duì)超聲鍵合及晶圓超聲波檢測(cè)等關(guān)鍵產(chǎn)品持續(xù)加大研發(fā)投入，全力開展重點(diǎn)技術(shù)攻關(guān)，其超聲波鍵合機(jī)、掃描顯微鏡等產(chǎn)品已陸續(xù)斬獲行業(yè)內(nèi)知名客戶的小批量訂單，且在2024年上半年，驕成超聲半導(dǎo)體超聲波設(shè)備斬獲營業(yè)收入2518.96萬元的佳績(jī)，實(shí)現(xiàn)較大突破。
資料顯示，半導(dǎo)體超聲設(shè)備是半導(dǎo)體制造過程中用于測(cè)試、檢測(cè)、清洗和加工等多種環(huán)節(jié)的高精度設(shè)備，即通過超聲波技術(shù)對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行無損檢測(cè)或精密加工，以提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
從半導(dǎo)體超聲設(shè)備市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局來看，美國的KLA Corporation和Sonoscan在超聲波無損檢測(cè)和探測(cè)方面表現(xiàn)突出，是行業(yè)內(nèi)的專業(yè)公司；日本的Panasonic在電子和半導(dǎo)體行業(yè)有廣泛的超聲波應(yīng)用，尤其在焊接和清洗設(shè)備方面；中國的驕成超聲專注于為半導(dǎo)體行業(yè)提供高效的超聲波清洗、焊接和檢測(cè)解決方案，助力半導(dǎo)體制造過程中的質(zhì)量控制和生產(chǎn)效率提升。
圖表來源：全球半導(dǎo)體觀察根據(jù)公開信息整理
業(yè)界稱，半導(dǎo)體超聲設(shè)備市場(chǎng)正處于快速發(fā)展之中。隨著半導(dǎo)體制造工藝的不斷進(jìn)步和智能化、自動(dòng)化的需求增長(zhǎng)，超聲波設(shè)備將在無損檢測(cè)、清洗、焊接、切割等環(huán)節(jié)中發(fā)揮越來越重要的作用。雖然面臨技術(shù)、成本等挑戰(zhàn)，但市場(chǎng)前景廣闊，特別是在高精度、高效率以及新興應(yīng)用領(lǐng)域的推動(dòng)下，半導(dǎo)體超聲設(shè)備市場(chǎng)將繼續(xù)擴(kuò)展并向更高端的方向發(fā)展。
