一個(gè)國(guó)內(nèi)供應(yīng)商還比較少的行業(yè)：光刻配套試劑

但凡對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)稍微有些了解的朋友對(duì)于光刻膠這個(gè)名詞一定耳熟能詳了。但大多數(shù)人不一定熟知的是：其實(shí)在實(shí)際半導(dǎo)體制造中還需要不少和光刻膠配套使用的化學(xué)試劑，比如：

顯影液和剝離液：這兩種化學(xué)試劑知道的人還比較多，也比較容易理解

增粘劑(Adhesion Promoter)：這預(yù)先涂敷在晶圓上用以增加光刻膠附著能力的一種試劑

TARC、BARC(TopBottom Anti-Reflective Coating)：分別涂敷在光刻膠上面和下面的用來(lái)消減入射光反射影響顯影分辨率的材料

TCM(Top Coating Material)：浸入式光刻工序中在光刻膠上面涂敷的一層防水材料

SOC/SOG/SOD(Spin On Carbon/Glass/Dopant/Dielectric)：通過(guò)旋涂方式涂敷在晶圓表面的材料。（其中一部分和光刻工序沒(méi)有直接關(guān)系，但我也列在這里了）

溶劑/去邊液(Solvent)：在光刻膠涂敷完畢后，用來(lái)去除晶圓邊緣光刻膠的溶劑

這些化學(xué)試劑的技術(shù)難度相對(duì)光刻膠本身簡(jiǎn)單，但用量也不算小。特別有意思的是，目前國(guó)內(nèi)的供應(yīng)商數(shù)量還不是很多 -- 這和我收集的其它領(lǐng)域產(chǎn)品時(shí)遇到的國(guó)產(chǎn)供應(yīng)商鋪天蓋地的情況相比有些特殊了

當(dāng)然，也可能是我收集能力還不足，漏掉不少供應(yīng)商吧。麻煩發(fā)現(xiàn)問(wèn)題的朋友能夠給予我修改信息。謝謝了

這個(gè)表格的原始EXCEL文檔我都放到知識(shí)星球上了。歡迎大家來(lái)獲取下載

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