最新，國產(chǎn)光刻膠通過驗(yàn)證！

據(jù)“中國光谷”消息，光谷企業(yè)近日在半導(dǎo)體專用光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破：武漢太紫微光電科技有限公司推出的T150 A光刻膠產(chǎn)品，已通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)配方全自主設(shè)計(jì)，有望開創(chuàng)國內(nèi)半導(dǎo)體光刻制造新局面。

該產(chǎn)品對(duì)標(biāo)國際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于被業(yè)內(nèi)稱之為“妖膠”的國外同系列產(chǎn)品UV1610，T150 A在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達(dá)到120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅(jiān)膜后烘留膜率優(yōu)秀，其對(duì)后道刻蝕工藝表現(xiàn)更為友好，通過驗(yàn)證發(fā)現(xiàn)T150 A中密集圖形經(jīng)過刻蝕，下層介質(zhì)的側(cè)壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異。

據(jù)悉，太紫微公司由華中科技大學(xué)武漢光電國家研究中心團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立。該團(tuán)隊(duì)立足于關(guān)鍵光刻膠底層技術(shù)研發(fā)，在電子化學(xué)品領(lǐng)域深耕二十余載。武漢光電國家研究中心是科技部于2017年批準(zhǔn)建設(shè)的第一批，也是唯一的一批6個(gè)國家研究中心之一，其前身為2003年獲批的武漢光電國家實(shí)驗(yàn)室（籌）。

據(jù)天眼查信息顯示，太紫微公司成立于2024年5月31日，注冊(cè)資本200萬元，實(shí)控人為朱明強(qiáng)，最終受益股份77%。除了朱明強(qiáng)本人外，太紫微公司的另外兩家股東，湖北高碳光電科技有限公司、武漢市馬斯洛普管理咨詢合伙企業(yè)，朱明強(qiáng)則分別持股100%和8%。

對(duì)于此次突破，部分行業(yè)人士表示，在KrF系列光刻膠產(chǎn)品中，T150 A對(duì)標(biāo)的UV1610產(chǎn)品算是“比較常用的膠”，需求量比較大，目前對(duì)于UV1610產(chǎn)品北京科華、徐州博康等國內(nèi)廠商有能力生產(chǎn)。

1、國產(chǎn)光刻膠進(jìn)程

目前，我國集成電路用半導(dǎo)體光刻膠尤其是高端產(chǎn)品仍高度依賴進(jìn)口，其中日本是我國光刻膠第一大進(jìn)口來源國。據(jù)中國海關(guān)總署數(shù)據(jù)，2023年我國感光化學(xué)品進(jìn)口總額21.77億美元，從日本進(jìn)口額11.49億美元，占比52.8%。至2024年1-6月份，從日本進(jìn)口額為6.38億美元，同比增長16.7%。其中今年Q2季度進(jìn)口總額3.38億美元，同比增長15.6%，環(huán)比增長12.6%。日本進(jìn)口平均占比約51.5%，近年來占比處于歷史高位。

從全球光刻膠市場格局看，日美廠商占據(jù)了全球光刻膠市場大部分份額，日本合成橡膠（JSR）、日本東京應(yīng)化、美國杜邦-羅門哈斯、日本信越化學(xué)、日本住友化學(xué)、日本富士電子材料六家大廠高度壟斷了半導(dǎo)體光刻膠的大部分市場。并且目前日韓、歐美主要廠商已實(shí)現(xiàn)高端制程光刻膠的量產(chǎn)。作為對(duì)比，我國光刻膠國產(chǎn)化率還較低。綜合行業(yè)各方數(shù)據(jù)顯示，KrF光刻膠整體國產(chǎn)化率不足5%，ArF光刻膠整體國產(chǎn)化率不足 1%。

我國光刻膠加速發(fā)展可以追溯到21世紀(jì)。2018年5月，國家科技重大專項(xiàng)中的極紫外光刻膠項(xiàng)目順利通過國家驗(yàn)收，標(biāo)志著中國在高端光刻膠領(lǐng)域的重大進(jìn)步。此后2019年11月，8種"光刻膠及其關(guān)鍵原材料和配套試劑"入選工信部的重點(diǎn)新材料指導(dǎo)目錄，并且我國先后發(fā)布《新材料關(guān)鍵技術(shù)產(chǎn)業(yè)化實(shí)施方案》、《國務(wù)院關(guān)于印發(fā)鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策的通知》等鼓勵(lì)性、支持性政策，推動(dòng)我國國產(chǎn)光刻膠加速突破。

而從國內(nèi)光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)企業(yè)發(fā)展情況看，國產(chǎn)光刻膠在近年來發(fā)展迅速。目前，中國已經(jīng)成為全球最大的光刻膠市場之一。國內(nèi)有數(shù)十家企業(yè)涉足光刻膠領(lǐng)域，其中一些企業(yè)已經(jīng)取得了不錯(cuò)的成績。讓我們來認(rèn)識(shí)幾個(gè)代表性的"選手"：

2、我國科研團(tuán)隊(duì)突破新型光刻膠技術(shù)

今年4月，九峰山實(shí)驗(yàn)室、華中科技大學(xué)組成聯(lián)合研究團(tuán)隊(duì)，依托九峰山實(shí)驗(yàn)室工藝平臺(tái)，支持華中科技大學(xué)團(tuán)隊(duì)突破“雙非離子型光酸協(xié)同增強(qiáng)響應(yīng)的化學(xué)放大光刻膠”技術(shù)。該成果以“Dual nonionic photoacids synergistically enhanced photosensitivity for chemical amplified resists”為題，在國際頂級(jí)刊物Chemical Engineering Journal上發(fā)表。這一具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的光刻膠體系已在產(chǎn)線上完成了初步工藝驗(yàn)證，并同步完成了各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)的檢測優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)了從技術(shù)開發(fā)到成果轉(zhuǎn)化的全鏈條打通。

據(jù)悉，該研究通過巧妙的化學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，以兩種光敏單元構(gòu)建“雙非離子型光酸協(xié)同增強(qiáng)響應(yīng)的化學(xué)放大光刻膠”，最終得到光刻圖像形貌與線邊緣粗糙度優(yōu)良、space圖案寬度值正態(tài)分布標(biāo)準(zhǔn)差（SD）極小（約為0.05）、性能優(yōu)于大多數(shù)商用光刻膠，且光刻顯影各步驟所需時(shí)間完全符合半導(dǎo)體量產(chǎn)制造中對(duì)吞吐量和生產(chǎn)效率的需求。據(jù)悉，該研究成果有望為光刻制造的共性難題提供明確的方向，同時(shí)為EUV光刻膠的著力開發(fā)做技術(shù)儲(chǔ)備。

徐州博康

近期，據(jù)徐州博康信息化學(xué)品有限公司博康光刻膠事業(yè)部總經(jīng)理杜光宇披露，徐州博康已成功開發(fā)ArF/KrF單體及光刻膠、I線光刻膠、封裝光刻膠、電子束光刻膠等系列產(chǎn)品。具備干法ArF及濕法ArF光刻膠的技術(shù)能力，干法ArF可應(yīng)用于90nm/65nm/55nm節(jié)點(diǎn)。濕法ArF可應(yīng)用于40nm/28nm節(jié)點(diǎn)，在現(xiàn)有技術(shù)產(chǎn)品基礎(chǔ)上積極開發(fā)14nm及以下工藝節(jié)點(diǎn)應(yīng)用的更先進(jìn)的濕法ArF光刻膠材料。

公開資料顯示，徐州博康成立于2010年3月，是專注于中高端光刻膠及相關(guān)原材料研發(fā)制造的國家高新技術(shù)企業(yè)，目前在江蘇邳州、浙江東陽有兩個(gè)生產(chǎn)基地。其中，徐州市邳州生產(chǎn)基地占地200畝，于2021年上半年完成建設(shè)，已正式投產(chǎn)，可年產(chǎn)1100噸光刻材料及10000噸電子級(jí)溶劑。今年9月14日，根據(jù)采招網(wǎng)信息，徐州博康信息化學(xué)品有限公司年產(chǎn)1406噸光刻材料及152噸光刻膠技改項(xiàng)目備案。

彤程新材

據(jù)彤程新材披露的上半年財(cái)報(bào)顯示，彤程新材半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入1.28億元，同比增長54.43%；得益于產(chǎn)業(yè)的復(fù)蘇、公司新品的大規(guī)模上量以及彤程電子生產(chǎn)廠區(qū)的投產(chǎn)和用戶驗(yàn)證推進(jìn)，2024年上半年公司半導(dǎo)體業(yè)務(wù)發(fā)展迅速，銷售收入增長率超過50%，為歷史最高點(diǎn)。

據(jù)悉，中高檔集成電路光刻膠產(chǎn)品已成為彤程新材產(chǎn)品的核心力量，從產(chǎn)品分類上看，2024年上半年公司KrF光刻膠產(chǎn)品增長率超過60%；化學(xué)放大型I線光刻膠得益于存儲(chǔ)行業(yè)的飛速發(fā)展，增長率超過500%，是增長最快的產(chǎn)品序列。除了傳統(tǒng)優(yōu)勢產(chǎn)品外，2024年上半年公司已導(dǎo)入多款高分辨KrF、ArF光刻膠（含干式和浸潤式）和BARC底部抗反射涂層等產(chǎn)品在客戶端驗(yàn)證，并陸續(xù)通過客戶產(chǎn)品認(rèn)證，其中ArF光刻膠已開始形成銷售。

在溶劑領(lǐng)域，彤程新材借由高純?cè)噭┑纳a(chǎn)能力，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體暨顯示光刻膠產(chǎn)品的溶劑自產(chǎn)模式。2024年上半年高規(guī)光刻膠配套試劑EBR G5等級(jí)已實(shí)現(xiàn)正式量產(chǎn)出貨，并且提供高規(guī)槽車并導(dǎo)入客戶端開始驗(yàn)證，預(yù)計(jì)下半年逐步上量。目前公司是國內(nèi)唯一能自產(chǎn)自銷，并達(dá)量產(chǎn)規(guī)模高純?cè)噭〦BR G5等級(jí)的本土光刻膠供應(yīng)商。而在研發(fā)方面，彤程新材I線光刻膠部分新產(chǎn)品在重點(diǎn)12寸客戶獲得驗(yàn)證通過并得到快速上量。

晶瑞電材

是國內(nèi)最早規(guī)模量產(chǎn)光刻膠公司之一，其全資子公司蘇州瑞紅早在1993年開始光刻膠生產(chǎn)，承擔(dān)并完成了國家02專項(xiàng)i線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。據(jù)悉，到目前已經(jīng)擁有g(shù)線、i線、KrF等上百個(gè)型號(hào)產(chǎn)品。i線光刻膠已向國內(nèi)中芯國際、長鑫存儲(chǔ)等知名大尺寸半導(dǎo)體廠商大批量供貨，多款KrF光刻膠已量產(chǎn)并供應(yīng)多家半導(dǎo)體客戶。同時(shí)還啟動(dòng)了ArF光刻膠研發(fā)工作正式啟動(dòng)。公司目前光刻膠產(chǎn)品，有30%用于面板LCD領(lǐng)域，70%用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。

除了歷史悠久，經(jīng)驗(yàn)豐富之外，公司在光刻膠方面有一個(gè)很大優(yōu)勢，就在于自己擁有5臺(tái)光刻機(jī)，這一點(diǎn)與程彤新材旗下子公司北京科華類似。公司2020年購買了阿斯麥1900 Gi型光刻機(jī)，2021年下半年購入了尼康KrF S207光刻機(jī)及配套設(shè)備。并已建成ArF和KrF光刻實(shí)驗(yàn)室，有5臺(tái)光刻機(jī)為核心的光刻膠研發(fā)測試平臺(tái)，可為公司產(chǎn)品研發(fā)測試、客戶驗(yàn)證等提供全面的核心設(shè)備保障。

上海新陽

上海新陽在光刻膠產(chǎn)品方面覆蓋較為全面，涉及i線、KrF、ArF干法以及ArF浸沒式光刻膠。公司致力于突破高端光刻膠技術(shù)，特別是在ArF浸沒式光刻膠方面，產(chǎn)品已達(dá)到較高技術(shù)水平，適用于28納米及以上的集成電路制造工藝。

今年3月，上海新陽發(fā)布公告稱公司擬以增資方式投資浙江新盈電子材料有限公司（以下簡稱“浙江新盈”）。據(jù)悉，浙江新盈設(shè)立時(shí)注冊(cè)資本金為3500萬元，現(xiàn)上海新陽認(rèn)繳出資500萬元對(duì)該公司增資。此次增資完成后，公司直接持有浙江新盈12.5%的股份。據(jù)悉，浙江新盈具有光刻膠樹脂等原材料產(chǎn)品研發(fā)團(tuán)隊(duì)，具備光刻膠樹脂等原材料研發(fā)、生產(chǎn)工藝技術(shù)及質(zhì)量管控、客戶技術(shù)服務(wù)能力等專有技術(shù)。

南大光電

今年6月，南大光電在最新的機(jī)構(gòu)調(diào)研中透露，公司始終堅(jiān)持從原材料到產(chǎn)品的完全自主化研發(fā)路線。其光刻膠研發(fā)中心已具備研制功能單體、功能樹脂、光敏劑等關(guān)鍵原材料的能力，實(shí)現(xiàn)了從光刻膠原材料到配套材料的全部自主化。在光刻膠領(lǐng)域，南大光電已取得了顯著進(jìn)展。據(jù)了解，公司研發(fā)的多款A(yù)rF光刻膠正在國內(nèi)主要集成電路芯片制造企業(yè)進(jìn)行驗(yàn)證，并已通過驗(yàn)證的三款A(yù)rF光刻膠實(shí)現(xiàn)了少量銷售，質(zhì)量穩(wěn)定。

此外，還有多家企業(yè)在光刻膠領(lǐng)域進(jìn)行研發(fā)和生產(chǎn)，如廈門恒坤新材料、鼎龍股份、萬華電子材料、珠?；?、蘇州潤邦半導(dǎo)體、威邁芯材、微芯新材、河北凱諾中星等等。也在為光刻膠生產(chǎn)提供重要的原材料支持。這些企業(yè)的不斷發(fā)展，推動(dòng)了國內(nèi)光刻膠市場的快速增長。