PMMA是光刻膠嗎？

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術(shù)社區(qū)，星球號：63559049）里的學(xué)員問：PMMA是電子束光刻中用的材料，具有光敏性嗎，算光刻膠嗎？

什么是PMMA？

PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）是最常見的正性電子束光刻膠之一。雖然是電子束光刻膠，但是本身不具有光敏性，它是一種聚合物。未加工狀態(tài)是固體粉末，可以溶解在氯苯、二氯甲烷中，形成液態(tài)的可旋涂的物質(zhì)。

什么是電子束光刻？

電子束光刻（EBL）是一種無掩模光刻技術(shù)，與傳統(tǒng)的UV，DUV,EUV光刻不同，電子束光刻利用波長更短的電子束來進(jìn)行曝光，分辨率可達(dá)<10nm。但是曝光速率極低，不適合量產(chǎn)使用。

PMMA具有光敏性嗎？

PMMA不是光敏材料，它不會對紫外線（UV）光產(chǎn)生反應(yīng)。它是一種電子束敏感抗蝕劑，當(dāng)電子束照射到PMMA時，它會斷裂聚合物鏈，使曝光的區(qū)域更容易在顯影液。

電子束光刻顯影液與UV光刻顯影液的區(qū)別？

電子束光刻的顯影液一般為有機(jī)溶劑，如甲基異丁基酮（MIBK）、異丙醇（IPA）等。UV光刻的顯影液一般為水堿性溶液，如四甲基氫氧化銨（TMAH）。

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