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近年以來(lái)，國(guó)產(chǎn)光刻膠一直是業(yè)界關(guān)注的焦點(diǎn)，資本青睞、光刻膠廠(chǎng)商也不斷加碼布局，而關(guān)于光刻膠的討論與爭(zhēng)議從未停歇。
投資布局火熱
作為備受關(guān)注的“卡脖子”半導(dǎo)體材料，光刻膠已成為資本市場(chǎng)上的香餑餑，近期大基金二期和華為的投資布局更是讓光刻膠熱度加劇。
8月10日，徐州博康工商信息發(fā)生變更，注冊(cè)資本從7600.95萬(wàn)元增至8445.50萬(wàn)元，增幅11.11%，新增深圳哈勃科技投資合伙企業(yè)（有限合伙）為股東，后者為華為旗下投資平臺(tái)。
△Source：天眼查截圖
徐州博康成立于2010年3月，是一家光刻膠廠(chǎng)商。官網(wǎng)資料顯示，徐州博康實(shí)現(xiàn)了從單體、光刻膠專(zhuān)用樹(shù)脂、光酸劑及最終產(chǎn)品光刻膠的國(guó)產(chǎn)化自主可控的供應(yīng)鏈，產(chǎn)品線(xiàn)涵蓋193nm/248nm光刻膠單體、193nm/248nm光刻膠、g線(xiàn)/i線(xiàn)光刻膠、電子束光刻膠等。
在這之前不久，大基金二期亦出手投資光刻膠。
7月27日，南大光電公告披露稱(chēng)，為加快光刻膠事業(yè)發(fā)展，控股子公司寧波南大光電擬通過(guò)增資擴(kuò)股方式，引入戰(zhàn)略投資者大基金二期。大基金二期將以合計(jì)1.83億元的價(jià)格認(rèn)購(gòu)寧波南大光電的新增注冊(cè)資本6733.19萬(wàn)元。
與此同時(shí)，晶瑞電材（曾用名“晶瑞股份”）、彤程新材等光刻膠廠(chǎng)商也正在不斷加碼布局。
8月11日，晶瑞電材發(fā)布公告稱(chēng)，向不特定對(duì)象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券已經(jīng)創(chuàng)業(yè)板上市委審議通過(guò)，并已經(jīng)中國(guó)證監(jiān)會(huì)同意注冊(cè)。此次擬募集資金不超過(guò)5.23億元，集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目為募投項(xiàng)目之一。
△Source：晶瑞電材公告截圖
該項(xiàng)目旨在通過(guò)自主研發(fā)，打通ArF光刻膠用樹(shù)脂的工藝合成路線(xiàn)，完成ArF光刻膠用樹(shù)脂的中試示范線(xiàn)建設(shè)，滿(mǎn)足自身ArF光刻膠的性能要求。實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)ArF Immersion光刻膠的成套技術(shù)體系并完成產(chǎn)品定型，技術(shù)指標(biāo)和工藝性能滿(mǎn)足90～28nm集成電路技術(shù)和生產(chǎn)工藝要求。
為保障該項(xiàng)目關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)先進(jìn)性和設(shè)備如期到位，晶瑞電材通過(guò)Singtest Technology PTE. LTD.進(jìn)口A(yíng)SML光刻機(jī)設(shè)備、購(gòu)置ArF光刻機(jī)配套設(shè)備、建設(shè)研發(fā)大樓。
此外，晶瑞電材8月1日宣布，曾在知名光刻膠企業(yè)任職近10年的陳韋帆加入公司光刻膠事業(yè)部擔(dān)任總經(jīng)理職務(wù)。
彤程新材方面，其通過(guò)進(jìn)一步收購(gòu)股權(quán)實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻膠廠(chǎng)商北京科華的控股，目前直接持有北京科華56.56%股權(quán)，并與Meng Technology Inc.合計(jì)持有北京科華70.53%股權(quán)，今年3月開(kāi)始已經(jīng)對(duì)北京科華實(shí)現(xiàn)并表。
8月16日，彤程新材公告披露稱(chēng)，將通過(guò)公司全資子公司上海彤程電子材料有限公司在上海化學(xué)工業(yè)區(qū)內(nèi)投資建設(shè)“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目”。
項(xiàng)目總投資為6.99億元，主要研究ArF濕法光刻膠工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)開(kāi)發(fā)，通過(guò)建立標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)及控制流程，提升高端光刻膠的質(zhì)量控制水平，實(shí)現(xiàn)193nm濕法光刻膠量產(chǎn)生產(chǎn)；同時(shí)，逐步建立先進(jìn)的集成電路及配套材料開(kāi)發(fā)與應(yīng)用評(píng)價(jià)平臺(tái)。
廠(chǎng)商最新進(jìn)展
資本追捧、廠(chǎng)商大力布局，那么，目前國(guó)產(chǎn)光刻膠發(fā)展進(jìn)程到底如何？我們看看各廠(chǎng)商新近披露的公開(kāi)信息。
晶瑞電材方面，其光刻膠產(chǎn)品由子公司蘇州瑞紅生產(chǎn)。8月1日，晶瑞電材在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示，g/i線(xiàn)光刻膠已向中芯國(guó)際、合肥長(zhǎng)鑫等知名大尺寸半導(dǎo)體廠(chǎng)商供貨，KrF光刻膠完成中試，目前已進(jìn)入客戶(hù)測(cè)試階段，測(cè)試通過(guò)后即可進(jìn)入量產(chǎn)階段。ArF高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動(dòng)，旨在研發(fā)滿(mǎn)足90-28nm芯片制程的ArF光刻膠。
△Source：互動(dòng)平臺(tái)截圖
南大光電方面，7月29日其發(fā)布公告稱(chēng)，公司作為牽頭單位，承擔(dān)的國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)（02 專(zhuān)項(xiàng)）“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”之“先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目通過(guò)專(zhuān)家組驗(yàn)收。寧波南大光電已建成年產(chǎn)25噸ArF（干式和浸沒(méi)式）光刻膠產(chǎn)業(yè)化基地，具備進(jìn)一步擴(kuò)大生產(chǎn)的能力。不過(guò)公告亦提示稱(chēng)，目前ArF光刻膠產(chǎn)品尚未實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)。
而據(jù)南大光電7月27日公告信息，寧波南大光電研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品分別通過(guò)一家存儲(chǔ)芯片制造企業(yè)和一家邏輯芯片制造企業(yè)的客戶(hù)認(rèn)證，相關(guān)主要芯片制造企業(yè)的認(rèn)證工作正在順利推進(jìn)，為ArF光刻膠的規(guī)?；慨a(chǎn)奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
△Source：全球半導(dǎo)體觀(guān)察，根據(jù)公開(kāi)信息整理
上海新陽(yáng)方面，據(jù)其6月30日公告，其自主研發(fā)的KrF（248nm）厚膜光刻膠產(chǎn)品近日已通過(guò)客戶(hù)認(rèn)證，并成功取得第一筆訂單。8月16日，上海新陽(yáng)在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示，公司ArF干法光刻膠尚在認(rèn)證當(dāng)中。
彤程新材方面，根據(jù)彤程新材8月16日披露的半年報(bào)，北京科華半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入5647.83萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)46.74%；半導(dǎo)體用g/i線(xiàn)光刻膠產(chǎn)品同比增長(zhǎng)40.36%；KrF光刻膠產(chǎn)品同比增長(zhǎng)94.51%，上半年新增包括KrF光刻膠、高檔i線(xiàn)光刻膠、化學(xué)放大型i線(xiàn)光刻膠在內(nèi)的10支產(chǎn)品獲得長(zhǎng)江存儲(chǔ)、中芯北方、廣州粵芯、廈門(mén)士蘭集科等用戶(hù)訂單。
彤程新材表示，2021年下半年，公司將繼續(xù)推進(jìn)KrF光刻膠及高分辨I線(xiàn)光刻膠的客戶(hù)開(kāi)發(fā)，積極布局14nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)用KrF光刻膠產(chǎn)品，而上文也提及，彤程新材正擬投建的“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目”。
而徐州博康方面，其官網(wǎng)介紹稱(chēng)公司產(chǎn)目前已成功開(kāi)發(fā)出40+個(gè)中高端光刻膠產(chǎn)品系列，包括多種電子束膠、ArF干法光刻膠、KrF正負(fù)型光刻膠、i線(xiàn)正負(fù)型光刻膠及GHI超厚負(fù)膠等，但未披露具體量產(chǎn)情況。
產(chǎn)線(xiàn)應(yīng)用遇冷？
綜合前文來(lái)看，目前國(guó)內(nèi)主流光刻膠企業(yè)已取得一定進(jìn)展，可實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)g線(xiàn)/i線(xiàn)/KrF光刻膠，而ArF光刻膠仍主要處于認(rèn)證或研發(fā)階段。然而，全球光刻膠技術(shù)逐步由g/i線(xiàn)向EUV發(fā)展的技術(shù)迭代路線(xiàn)清晰且國(guó)外企業(yè)已有ArF產(chǎn)品研發(fā)完成并量產(chǎn)。
彤程新材在半年報(bào)中指出，從中國(guó)大陸半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)品結(jié)構(gòu)來(lái)看，2020年，ArF光刻膠占比40%；KrF光刻膠占比39%；g/i線(xiàn)光刻膠占比20%?？梢?jiàn)，KrF和ArF光刻膠需求量快速增長(zhǎng)，而目前高分辨率的KrF和ArF光刻膠產(chǎn)品基本出自日本和美國(guó)公司。
而前不久在某個(gè)“半導(dǎo)體行業(yè)交流”群里，一位證券分析師與國(guó)內(nèi)知名晶圓代工廠(chǎng)商一位技術(shù)人員的一場(chǎng)討論，似乎引發(fā)了更多人對(duì)于國(guó)產(chǎn)光刻膠“火熱”背后的“冷思考”。
上文提到，ArF光刻膠在國(guó)內(nèi)仍主要處于認(rèn)證或研發(fā)階段，正如南大光電在公告中所指出的，“ArF光刻膠的復(fù)雜性決定了其在穩(wěn)定量產(chǎn)階段仍然存在工藝上的諸多風(fēng)險(xiǎn)，不僅需要技術(shù)攻關(guān)，還需要在應(yīng)用中進(jìn)行工藝的改進(jìn)、完善，這些都會(huì)決定ArF光刻膠的量產(chǎn)規(guī)模和經(jīng)濟(jì)效益。”
事實(shí)上，國(guó)產(chǎn)光刻膠廠(chǎng)商能攻下KrF、ArF已實(shí)屬不易，因?yàn)槊鎸?duì)海外技術(shù)封鎖，光刻膠國(guó)產(chǎn)化之路走得非常艱難，全球半導(dǎo)體觀(guān)察此前的報(bào)道《光刻膠國(guó)產(chǎn)化的6道坎》一文中有詳細(xì)闡述，光刻膠國(guó)產(chǎn)化面臨著純度、原材料、專(zhuān)利、規(guī)模等6道坎，其中提到驗(yàn)證和規(guī)模量產(chǎn)方面的困難。
對(duì)于國(guó)產(chǎn)光刻膠而言，其國(guó)產(chǎn)化之路漫漫、任重而道遠(yuǎn)，在這過(guò)程中免不了面臨各種爭(zhēng)議、甚至各種“炒作”，正所謂事實(shí)勝于雄辯，企業(yè)唯有沉下心來(lái)攻克技術(shù)難關(guān)，才能迎來(lái)更多的機(jī)會(huì)。
