ASML、NIKON、CANON光刻機(jī)型號(hào)參數(shù)匯總

之前，我發(fā)布了一個(gè)ASML光刻機(jī)的型號(hào)參數(shù)的匯總列表。看起來大家對(duì)這個(gè)數(shù)據(jù)非常感興趣，實(shí)際的閱讀量遠(yuǎn)超我最初的預(yù)估既然如此，那我就多發(fā)布一些數(shù)據(jù)吧。這次，我干脆把全球前道光刻機(jī)供應(yīng)商御三家：ASML、NIKON、CANON的全部數(shù)據(jù)都一次性發(fā)布出來，供大家參考吧老粉絲應(yīng)該或許還記得我以前也發(fā)布過這個(gè)數(shù)據(jù)。

不過這次，我又增加了不少新的數(shù)據(jù)：

ASML：增加了最新NA值?.55得TWINSCAN EXE；增加了若干老機(jī)型的數(shù)據(jù)（部分?jǐn)?shù)據(jù)參考了公眾號(hào)：TOM聊芯片智造，特此感謝）NIKON：增加最新的NSR S636E等兩三款型號(hào)

CANON：增加FPA Stepper機(jī)型若干

基本上，這個(gè)表格大體囊括了市面上主流的光刻機(jī)數(shù)據(jù)了，值得大家參考和收藏（限于我個(gè)人能力，很可能還有個(gè)別遺漏的，也麻煩大家給我留言提醒，謝謝了）

這些原始數(shù)據(jù)（包含更多信息，比如NA值、WPH、套刻精度等）的EXCEL表格，我會(huì)放到我的星球社區(qū)上如果大家對(duì)此有需求，歡迎加入。原價(jià)1998元，目前優(yōu)惠666元后，實(shí)際價(jià)格1332元。