加入星計劃，您可以享受以下權益：

  • 創(chuàng)作內(nèi)容快速變現(xiàn)
  • 行業(yè)影響力擴散
  • 作品版權保護
  • 300W+ 專業(yè)用戶
  • 1.5W+ 優(yōu)質(zhì)創(chuàng)作者
  • 5000+ 長期合作伙伴
立即加入

離子注入

加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點資訊討論

離子注入是指當真空中有一束離子束射向一塊固體材料時，離子束把固體材料的原子或分子撞出固體材料表面，這個現(xiàn)象叫做濺射；而當離子束射到固體材料時，從固體材料表面彈了回來，或者穿出固體材料而去，這些現(xiàn)象叫做散射；另外有一種現(xiàn)象是，離子束射到固體材料以后，受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來，并最終停留在固體材料中的這一現(xiàn)象叫作離子注入。

離子注入是指當真空中有一束離子束射向一塊固體材料時，離子束把固體材料的原子或分子撞出固體材料表面，這個現(xiàn)象叫做濺射；而當離子束射到固體材料時，從固體材料表面彈了回來，或者穿出固體材料而去，這些現(xiàn)象叫做散射；另外有一種現(xiàn)象是，離子束射到固體材料以后，受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來，并最終停留在固體材料中的這一現(xiàn)象叫作離子注入。收起

查看更多
  • 國產(chǎn)半導體設備新動向，離子注入等迎新局
    國產(chǎn)半導體設備新動向，離子注入等迎新局
    在半導體設備領域，離子注入和超聲波技術作為中國半導體設備發(fā)展的兩大驅(qū)動力，正助力半導體產(chǎn)業(yè)向更高端、更先進的方向邁進。近期，行業(yè)內(nèi)波瀾涌動，傳來兩大重磅事件：一邊是華海清科擬通過收購芯崳公司加速布局離子注入機，有望攻克離子注入機這一關鍵設備的潛在壁壘；另一邊，半導體超聲設備企業(yè)驕成超聲總部基地開工，預示著在半導體超聲應用方面將邁向新臺階。
  • 離子注入設備硬核詳解
    離子注入設備硬核詳解
    今天看到一個半導體公司，通過收購資產(chǎn)從原來的CMP主業(yè)擴展到了離子注入設備行業(yè)。對于半導體行業(yè)對上下游以及同行收購整個和啟哥是非常支持的，因為我一直認為中國從芯片設計到半導體裝備到材料耗材，需要整合出幾家大而強的公司才能去和國外同行抗爭，如果是小而散的格局，根本無力與歐美傳統(tǒng)巨頭扳手腕。
  • 離子注入：硅基集成電路制造中的關鍵工藝之一
    離子注入：硅基集成電路制造中的關鍵工藝之一
    在現(xiàn)代半導體制造過程中，控制半導體材料的電學特性至關重要。通過摻雜工藝向半導體中引入雜質(zhì)原子，能夠改變材料的導電性，形成如晶體管等基礎元件的關鍵區(qū)域。傳統(tǒng)的摻雜方法有擴散法和離子注入法，而自20世紀70年代以來，離子注入技術因其高精度、可控性和工藝溫度相對較低，逐漸成為主流的雜質(zhì)摻雜方式。
  • 晶圓Fab廠離子注入工程師常見面試問題
    晶圓Fab廠離子注入工程師常見面試問題
    國內(nèi)某知名Fab工程師工作5年的李工分享了離子注入工藝崗位的面試問題：這些問題分成幾個主要類別：理論知識、工藝理解與優(yōu)化、設備操作與維護、故障排查與解決、項目管理與協(xié)作，以及前沿技術與趨勢。以下是按照這些類別整理的50個問題。
  • SiC離子注入設備的廠家有哪些？
    學員問：我想咨詢一下國內(nèi)做SiC離子注入設備的廠家有哪些？如下圖，目前下圖是國內(nèi)已知的稍大的離子注入設備供應商，相對國外的AMAT,Axcelis相比，實力會差很多。主要體現(xiàn)在：
  • 離子注入后不退火行不行？
    離子注入后都會退火，退火的作用是什么？不退火行不行？離子注入對硅片造成哪些影響？離子注入時，高能的雜質(zhì)離子加速撞擊硅片表面，將其動能轉化為熱能和位移能，引起硅原子的遷移和重排，破壞了硅的晶格結構，會產(chǎn)生位錯、空位等缺陷。

正在努力加載...