韓國自研EUV光刻膠取得階段性進(jìn)展，經(jīng)驗(yàn)值得復(fù)制

近日，韓國光刻膠供應(yīng)商東進(jìn)世美肯(Dongjin Semichem)表示，自研產(chǎn)品已通過三星電子EUV光刻膠可靠性測試。這款光刻膠為雙方合作研發(fā)，打破韓國EUV光刻膠完全依賴海外供應(yīng)商的局面，最快有望明年上半年向產(chǎn)線批量供應(yīng)。

對于韓國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來說，此次EUV光刻膠取得突破是十分振奮人心的。早在2019年，日本出臺了一項(xiàng)政策：日本從2019年7月4日開始限制向韓國出口電視、智能手機(jī)中OLED顯示器部件使用的“氟聚酰亞胺”、半導(dǎo)體制造過程中必須使用的“光刻膠”和“高純度氟化氫”等3個品種的材料。當(dāng)時，日本提供的氟聚酰亞胺產(chǎn)量占全球產(chǎn)能的90%，高純度氟化氫氣體產(chǎn)量占全球產(chǎn)能的70%。韓國集成電路產(chǎn)業(yè)對日本的依賴度很高，三星電子、LG和SK等廠商所需的大多數(shù)氟聚酰亞胺和高純度氟化氫都是從日本進(jìn)口。

日本“限韓令”無疑給韓國集成電路材料自主化敲響了警鐘。

此次韓國供應(yīng)商EUV光刻膠取得三星電子驗(yàn)證，是在日本產(chǎn)品幾乎占據(jù)全球EUV光刻膠市場、韓國產(chǎn)品線相對落后的情況下實(shí)現(xiàn)的。這一成功的背后是韓國政府和產(chǎn)業(yè)界對發(fā)展自主光刻膠產(chǎn)品的支持。三星電子與東進(jìn)世美肯合作實(shí)現(xiàn)EUV光刻膠自研通過驗(yàn)證，也再次驗(yàn)證了產(chǎn)業(yè)鏈上下游合作進(jìn)行產(chǎn)品研發(fā)的可能性。

創(chuàng)道投資咨詢總經(jīng)理步日欣表示，在突破光刻膠這件事情上，不管從政策層面，還是產(chǎn)業(yè)層面來看，東進(jìn)世美肯都不會是唯一一家企業(yè)，韓國將會有意識地去培育安全、可控的供應(yīng)鏈。

東進(jìn)世美肯成立于1967年，是韓國首家開發(fā)PVC及橡膠發(fā)泡劑的公司。3D NAND領(lǐng)域用的KrF光刻膠為其優(yōu)勢業(yè)務(wù)。當(dāng)前，東進(jìn)世美肯已在全球建設(shè)有十幾家廠房，產(chǎn)品包括光刻膠、剝離液、稀釋劑、SMP漿料、發(fā)泡劑、蝕刻劑、顯影液等。東進(jìn)世美肯在中國的廠主要生產(chǎn)LCD顯示用的電子材料，其客戶包括中國顯示器大廠京東方。

打破壟斷、自主可控，也是我國對集成電路產(chǎn)業(yè)建設(shè)的期待。

步日欣在接受《中國電子報(bào)》記者采訪時表示，光刻膠屬于芯片制造流程中最核心的材料，光刻膠的質(zhì)量關(guān)系著整個產(chǎn)線產(chǎn)品的良率，一款光刻膠能夠進(jìn)入下游產(chǎn)線，門檻極高。因此下游的晶圓制造廠一般會對光刻膠進(jìn)行嚴(yán)格的把控，以防止出現(xiàn)“光刻膠污染”問題，影響產(chǎn)線生產(chǎn)和產(chǎn)品良率。

綜合來看，光刻膠這一細(xì)分領(lǐng)域技術(shù)難度高、市場規(guī)模有限，而我國企業(yè)在光刻膠領(lǐng)域中布局的產(chǎn)品仍多為中端和低端產(chǎn)品。賽迪顧問集成電路產(chǎn)業(yè)研究中心總經(jīng)理滕冉向《中國電子報(bào)》記者表示，東進(jìn)世美肯與三星電子此次合作EUV光刻膠的成功，為我國上下游產(chǎn)業(yè)化協(xié)同發(fā)展提供了啟示：芯片制造廠商、應(yīng)用端都要有意識地為國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)提供驗(yàn)證機(jī)會，要以國產(chǎn)光刻膠產(chǎn)品在生產(chǎn)線上的應(yīng)用為核心，推進(jìn)國內(nèi)材料、制造企業(yè)間的合作，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線聯(lián)合研發(fā)，破除國產(chǎn)光刻膠的“低端化”困境，由此提高我國集成電路企業(yè)競爭力，進(jìn)而打破國際大廠壟斷局面。

作者丨姬曉婷

編輯丨連曉東

美編丨馬利亞