“國產(chǎn)光刻機(jī)第一股”科創(chuàng)板過會，與清華共享專利

9月17日，華卓精科于科創(chuàng)板成功過會，向“國產(chǎn)光刻膠第一股”再進(jìn)一步。

華卓精科主營業(yè)務(wù)為超精密測控設(shè)備，產(chǎn)品包括精密運(yùn)動系統(tǒng)、光刻機(jī)雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等，主要應(yīng)用于集成電路制造、超精密制造、光學(xué)、醫(yī)療等行業(yè)。

“清華力量”加持，共享專利

華卓精科具有清華“背景”，公司控股股東朱煜是清華大學(xué)長聘教授，許多核心技術(shù)人員也是、來自清華。

目前，朱煜、張鳴已取得清華大學(xué)兼職批復(fù)，作為兼職人員在華卓精科處工作。

研發(fā)專利，截至 2021 年 6 月 30 日，公司擁有 198 項專利以及 1 項專利獨(dú)占使用權(quán)。

其中，公司與清華大學(xué)共同所有162項專利技術(shù)以及1項獨(dú)占實施許可專利，35項為華卓精科單獨(dú)申請。

對于共同擁有的162項專利，公司與清華大學(xué)通過協(xié)議約定了公司具有該部分專利技術(shù)的獨(dú)占實施權(quán)，清華大學(xué)具有收益分配的權(quán)利。

獲超10輪融資

據(jù)不完全統(tǒng)計，華卓精科成立至今已獲得超10輪融資，經(jīng)歷了種子輪、股權(quán)融資、A輪、七次定增、戰(zhàn)略融資、B輪等融資過程。背后的投資陣容囊括了水木創(chuàng)投、中金公司、大華大陸投資、渾璞投資、紅星美凱龍、國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(下稱“國家大基金”)等一線機(jī)構(gòu)。

華卓精科曾登陸過新三板，在公司掛牌新三板期間，共實施了5次定向增發(fā)，合計定增募資總額約為1.42億元。

破冰雙工件臺技術(shù)！

光刻機(jī)有三大核心部件，EUV光源、雙工件臺、光學(xué)鏡頭。其中技術(shù)壁壘最高、制成難度最大的是雙工件臺，成本占到整個光刻機(jī)成本的10%-20%。

此前，光刻機(jī)的雙工件臺技術(shù)被荷蘭的ASML公司一手壟斷，而華卓精科攜手清華團(tuán)隊成功打破了雙工件臺技術(shù)壁壘，成為了全球第二，全國第一家掌握掌握EUV光刻機(jī)雙工件臺技術(shù)的廠商，實現(xiàn)了技術(shù)、雙工件臺零部件的完全自主化生產(chǎn)。

募資超7億，加碼研發(fā)

華卓精科成立于2012年，雖被譽(yù)為國產(chǎn)光刻機(jī)第一股，但公司不生產(chǎn)光刻機(jī)整機(jī)，而是聚焦EUV光刻機(jī)雙工件臺技術(shù)。

公司主要產(chǎn)品包括精密運(yùn)動系統(tǒng)、光刻機(jī)雙工件臺模塊、靜電卡盤和隔振器等超精密測控設(shè)備部件以及晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等超精密測控設(shè)備整機(jī)，以及上述部分主要產(chǎn)品的技術(shù)開發(fā)服務(wù)。

華卓精科本次擬發(fā)行股票不超過3200萬股，募集資金約7.35億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造項目、超精密測控產(chǎn)品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心建設(shè)、光刻機(jī)超精密位移測量及平面光柵測量技術(shù)研發(fā)項目等。