加入星計劃,您可以享受以下權(quán)益:

  • 創(chuàng)作內(nèi)容快速變現(xiàn)
  • 行業(yè)影響力擴散
  • 作品版權(quán)保護
  • 300W+ 專業(yè)用戶
  • 1.5W+ 優(yōu)質(zhì)創(chuàng)作者
  • 5000+ 長期合作伙伴
立即加入
  • 正文
  • 相關(guān)推薦
  • 電子產(chǎn)業(yè)圖譜
申請入駐 產(chǎn)業(yè)圖譜

南大光電完成國家科技重大專項,芯片光刻膠已驗收

2021/08/02
160
閱讀需 4 分鐘
加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點資訊討論

7 月 29 日,南大光電官方發(fā)布公告:“關(guān)于公司承擔的國家科技重大專項(02 專項)”已通過專家組驗收。其中包括極大規(guī)模集成電路制造裝備及成熟工藝、先進 7 納米光刻膠產(chǎn)品開發(fā)與光刻膠供給鏈產(chǎn)業(yè)化。

據(jù)南大光電披露,公司收到極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝實踐管理辦公室下發(fā)的項目綜合績效評價結(jié)論書,公司作為牽頭單位,承擔的“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”之光刻膠項目通過了專家組驗收。

據(jù)悉,光刻膠項目總體目標是開發(fā)高端集成電路制造用 ArF 干式與浸沒式光刻膠成套工藝技術(shù),形成規(guī)?;a(chǎn)能力;構(gòu)建與集成電路行業(yè)國際先進水平接軌的技術(shù)和管理人才團隊等等。項目分為三個子課題,南大光電控股子公司寧波南大光電材料有限公司(以下簡稱寧波南大光電)承接了其中的“ArF 光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”課題。

專家組評定后認為,通過項目的實施,寧波南大光電掌握了 ArF 干式和浸沒式系列光刻膠產(chǎn)品的原材料制備、配膠、分析檢測、應用驗證等關(guān)鍵技術(shù),在知識產(chǎn)權(quán)和人才培養(yǎng)等方面取得重要進展。形成了由 51 人組成的 ArF 光刻膠研發(fā)與生產(chǎn)管理團隊,建成了 ArF 光刻膠產(chǎn)品的質(zhì)量控制平臺、年產(chǎn) 5 噸的干式 ArF 光刻膠及年產(chǎn) 20 噸的浸沒式 ArF 光刻膠產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線。實現(xiàn) ArF 光刻膠產(chǎn)品銷售,完成了任務(wù)合同書規(guī)定的主要考核指標。

ArF 光刻膠材料是集成電路制造領(lǐng)域的關(guān)鍵材料,可以用于 90nm~14nm 甚至 7nm 技術(shù)節(jié)點的集成電路制造工藝,主要應用于高端芯片制造。目前我國在 ArF、KrF 光刻膠領(lǐng)域中的市場占比較少,全球大多數(shù)的光刻膠市場都被美國、日本壟斷。

需要注意的是,有關(guān) 7 納米 ArF 光刻膠的應用,南大光電目前只是小規(guī)模投產(chǎn),與之相關(guān)的生產(chǎn)線正在構(gòu)建當中。在公告中,南大光電也表示,ArF 光刻膠的復雜性決定了其在穩(wěn)定量產(chǎn)階段仍然存在工藝上的諸多風險,不僅需要技術(shù)攻關(guān),還需要在應用中進行工藝的改進、完善。同時,ArF 光刻膠產(chǎn)品國產(chǎn)化替代受品質(zhì)、客戶的嚴格要求,后續(xù)是否能取得下游客戶的大批量訂單,能否大規(guī)模進入市場仍存在較多的不確定性。這些都會影響 ArF 光刻膠的量產(chǎn)規(guī)模和經(jīng)濟效益。

記者了解到,5 月末以來,南大光電公司股價累計漲幅超過 150%。

來源:C114通信網(wǎng)
作者:遠洋

南大光電

南大光電

江蘇南大光電材料股份有限公司誕生于國家“863”計劃,創(chuàng)辦于2000年,成長于國家“02-專項”,2012年8月7日在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市(股票代碼300346)。二十多年來,公司一直緊跟國家發(fā)展戰(zhàn)略,圍繞前驅(qū)體材料(包含MO源)、電子特氣和光刻膠三項核心電子材料進行奮斗,并形成三大核心業(yè)務(wù)布局。公司在江蘇蘇州、浙江寧波、安徽全椒、山東淄博、內(nèi)蒙古烏蘭察布設(shè)立研發(fā)生產(chǎn)基地,在北美設(shè)立營銷技術(shù)服務(wù)分公司,產(chǎn)品廣泛應用于制備IC、LCD、LED、OLED、功率器件、半導體激光器等領(lǐng)域。

江蘇南大光電材料股份有限公司誕生于國家“863”計劃,創(chuàng)辦于2000年,成長于國家“02-專項”,2012年8月7日在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市(股票代碼300346)。二十多年來,公司一直緊跟國家發(fā)展戰(zhàn)略,圍繞前驅(qū)體材料(包含MO源)、電子特氣和光刻膠三項核心電子材料進行奮斗,并形成三大核心業(yè)務(wù)布局。公司在江蘇蘇州、浙江寧波、安徽全椒、山東淄博、內(nèi)蒙古烏蘭察布設(shè)立研發(fā)生產(chǎn)基地,在北美設(shè)立營銷技術(shù)服務(wù)分公司,產(chǎn)品廣泛應用于制備IC、LCD、LED、OLED、功率器件、半導體激光器等領(lǐng)域。收起

查看更多

相關(guān)推薦

電子產(chǎn)業(yè)圖譜