晶圓制造

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  • 描述晶圓薄膜厚度的單位：埃
    描述晶圓薄膜厚度的單位：埃
    1、什么是埃（Angstrom）？埃（符號：?）是一種非常小的長度單位，主要用于表示微觀領(lǐng)域的尺度，例如原子、分子之間的距離，或者晶圓制造中的薄膜厚度。1 ? 等于 (10^{-10}) 米，也就是0.1納米（nm）。為了更直觀地理解這個概念，我們可以通過以下比喻說明：
  • 晶圓制造機臺Recipe Tuning的概念、目標、核心方法、調(diào)優(yōu)流程、關(guān)鍵因素及挑戰(zhàn)
    晶圓制造機臺Recipe Tuning的概念、目標、核心方法、調(diào)優(yōu)流程、關(guān)鍵因素及挑戰(zhàn)
    作為集成電路制造中的關(guān)鍵工藝，刻蝕工藝（ETCH）在半導體晶圓的制造過程中起到了至關(guān)重要的作用。機臺Recipe Tuning，即“機臺配方調(diào)優(yōu)”，是確?？涛g工藝質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率、優(yōu)化成品率的一個重要環(huán)節(jié)。在晶圓制造的后段工藝（BEOL）中，Recipe Tuning特別重要，因為它直接關(guān)系到不同層次的刻蝕需求與設備的精確配合。
  • SMIC MPW班車表中如何理解AT、MV、HE、ATV？
    SMIC MPW班車表中如何理解AT、MV、HE、ATV？
    "AT"、"MV"、"HE"、"ATV"實際上是SMIC在其晶圓制造工藝中使用的一些標識符，通常與特定的工藝、技術(shù)類型和特色流程相關(guān)。SMIC 2025 MPW 班車表如下：
  • 晶圓制造中的系統(tǒng)工具概述：IEMS、Odyssey、RMS和SPC
    晶圓制造中的系統(tǒng)工具概述：IEMS、Odyssey、RMS和SPC
    IEMS、Odyssey、RMS和SPC是四個常見的系統(tǒng)工具，它們在集成電路的制造過程中起著至關(guān)重要的作用，尤其是在刻蝕工藝和其他后端工藝的控制和優(yōu)化方面。
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    12/10 15:34
  • 7nm晶圓制造工藝為什么那么難？
    7nm晶圓制造工藝為什么那么難？
    在談論7納米工藝之前，我們先了解一下“納米”是什么意思。納米（nm）是一個長度單位，1納米等于10的負九次方米。對于半導體芯片來說，納米通常指的是晶體管的最小尺寸，或者是構(gòu)成芯片中各個功能單元的最小結(jié)構(gòu)尺寸。因此，7納米工藝指的是在芯片上制造出其最小結(jié)構(gòu)為7納米的晶體管。
  • 晶圓制造中的T/R (Turn Ratio)詳解
    晶圓制造中的T/R (Turn Ratio)詳解
    T/R（Turn Ratio），在晶圓制造領(lǐng)域中，指的是在制品的周轉(zhuǎn)率，即每片晶圓平均每天經(jīng)過的工藝步驟（Stage）的數(shù)量。它是衡量生產(chǎn)線效率、工藝設計合理性和生產(chǎn)進度的重要指標之一。
  • 晶圓制造MI工程師的工作內(nèi)容、價值、方法
    晶圓制造MI工程師的工作內(nèi)容、價值、方法
    在晶圓制造領(lǐng)域，MI（Metrology Inline）工程師是一個至關(guān)重要的角色，其職責與集成電路制造過程中參數(shù)的測量、監(jiān)控密切相關(guān)。MI工程師通過高效、準確的量測手段，對生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵參數(shù)進行實時監(jiān)控，從而保證工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
  • 晶圓制造EE工程師是干啥的？
    晶圓制造EE工程師是干啥的？
    設備工程師（Equipment Engineer, EE）是晶圓制造中不可或缺的一環(huán)，其職責是通過設備維護、故障排除、設備優(yōu)化等工作，確保生產(chǎn)設備的正常運轉(zhuǎn)，滿足產(chǎn)線的需求。
  • 國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺在高交會現(xiàn)場舉辦建成發(fā)布會
    國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺在高交會現(xiàn)場舉辦建成發(fā)布會
    備受矚目的國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺建成發(fā)布儀式，在第二十六屆中國國際高新技術(shù)成果交易會的現(xiàn)場隆重舉行，這一里程碑事件標志著深圳在第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新領(lǐng)域邁出了堅實的一步。發(fā)布會現(xiàn)場既有來自半導體行業(yè)的專家，也有市科創(chuàng)局、市發(fā)改委、市工信局、龍崗區(qū)政府、市重投集團、深圳市半導體行業(yè)協(xié)會、深圳市半導體和集成電路產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、深圳先進電子材料國際創(chuàng)新研究院、電子科技大學（深圳）高等研究院、第
  • Monitor Wafer的核心功能、特點、流程和應用場景
    Monitor Wafer的核心功能、特點、流程和應用場景
    Monitor Wafer，即非生產(chǎn)晶圓（Non-Product Wafer，簡稱NPW），在現(xiàn)代半導體制造中扮演著至關(guān)重要的角色。它并不直接用于最終產(chǎn)品的制造，而是作為一種過程監(jiān)控工具，用于實時或周期性地“診斷”設備和工藝的健康狀況，確保整個生產(chǎn)流程的穩(wěn)定性和可靠性。
  • 缺陷密度（Defect Density）詳解：從概念到實際應用
    缺陷密度（Defect Density）詳解：從概念到實際應用
    在集成電路（IC）制造中，“缺陷密度”（Defect Density）是一個關(guān)鍵指標，用于評估晶圓制造工藝的成熟度和產(chǎn)品質(zhì)量。它代表了單位面積晶圓上產(chǎn)生的缺陷數(shù)量，直接關(guān)系到最終芯片的良率和可靠性。
  • 晶圓表面溫度對干法刻蝕的影響？
    學員問：溫度能影響干法刻蝕的哪些方面？麻煩講一講表面溫度對干法刻蝕的影響主要包括：聚合物沉積，選擇性，光刻膠流動、產(chǎn)物揮發(fā)性與刻蝕速率，表面形貌等。
  • Monitor Wafer（監(jiān)控片）和Season Wafer（暖機片）之間的區(qū)別
    Monitor Wafer（監(jiān)控片）和Season Wafer（暖機片）之間的區(qū)別
    在晶圓制造過程中，Monitor Wafer（監(jiān)控片）和Season Wafer（暖機片）都是非生產(chǎn)晶圓（NPW）的重要組成部分。它們各自承擔著不同的角色，為生產(chǎn)晶圓的加工提供必要的保障。
  • 什么是Dummy Wafer（填充片）
    什么是Dummy Wafer（填充片）
    Dummy Wafer，中文稱為填充片，是在晶圓制造過程中專門用于填充機臺設備的晶圓，通常不會用于實際生產(chǎn)，也不會直接作為成品出售。其主要作用是為滿足設備運行的特定要求或約束，確保設備的工藝性能穩(wěn)定，同時優(yōu)化資源利用率并減少生產(chǎn)風險。
  • 如何理解晶圓制造的生產(chǎn)周期時間（Cycle Time）
    如何理解晶圓制造的生產(chǎn)周期時間（Cycle Time）
    作為晶圓制造中的核心指標之一，生產(chǎn)周期時間（Cycle Time，簡稱CT）對于衡量制造效率和產(chǎn)能至關(guān)重要。生產(chǎn)周期時間是指從生產(chǎn)原料（如硅片）進入生產(chǎn)線，到最終產(chǎn)品（如完成制造的晶圓或芯片）從生產(chǎn)線輸出所需要的全部時間。在晶圓制造領(lǐng)域，Cycle Time 是衡量生產(chǎn)效率、分析瓶頸問題、優(yōu)化工藝流程的關(guān)鍵指標。
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    11/26 08:32
  • 什么是Monitor Wafer（控擋片）
    什么是Monitor Wafer（控擋片）
    在晶圓制造過程中，Monitor Wafer（控擋片）是晶圓制造廠內(nèi)不可或缺的一部分。它們承擔著監(jiān)控機臺健康狀態(tài)、確保生產(chǎn)穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的重要角色。雖然Monitor Wafer本身并不進入產(chǎn)品銷售環(huán)節(jié)，但其存在卻是量產(chǎn)穩(wěn)定性和良率優(yōu)化的基礎(chǔ)。
  • 什么是Season Wafer（暖機片）
    什么是Season Wafer（暖機片）
    在晶圓制造領(lǐng)域中，Season Wafer（暖機片）是非生產(chǎn)晶圓（NPW）的一種，主要用于機臺的穩(wěn)定性調(diào)節(jié)。它的核心目的是確保設備運行在穩(wěn)定、可靠的狀態(tài)下，從而為后續(xù)的生產(chǎn)晶圓（PW）加工提供良好的工藝環(huán)境。
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    11/25 09:03

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