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近日，第二十五屆中國(guó)專利獎(jiǎng)評(píng)選結(jié)果正式揭曉。本屆金獎(jiǎng)評(píng)選中雖未有半導(dǎo)體企業(yè)上榜，但銀獎(jiǎng)名單中共出現(xiàn)五家半導(dǎo)體企業(yè)的身影，展現(xiàn)了行業(yè)的創(chuàng)新活力。這五家企業(yè)分別是中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司深圳新聲半導(dǎo)體有限公司、華海清科股份有限公司、廣東風(fēng)華高新科技股份有限公司以及山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司（以下分別簡(jiǎn)稱“中微公司、新聲半導(dǎo)體、華海清科、風(fēng)華高科、天岳先進(jìn)”）。
其中，中微公司、華海清科和風(fēng)華高科三家為已經(jīng)上市的龍頭企業(yè)，另外兩家則是快速崛起的行業(yè)新星，分別在國(guó)產(chǎn)濾波器和碳化硅材料領(lǐng)域展現(xiàn)了獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。
- 中微公司
中微公司在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域擁有顯著市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)，已打入5nm制程。目前該公司針對(duì)邏輯和存儲(chǔ)芯片制造中最關(guān)鍵刻蝕工藝的多款設(shè)備已進(jìn)入量產(chǎn)驗(yàn)證階段，針對(duì)超高深寬比刻蝕的大功率400kHz偏壓射頻的PrimoUD-RIE已在生產(chǎn)線驗(yàn)證出具有刻蝕≥60:1深寬比結(jié)構(gòu)的量產(chǎn)能力，同時(shí)公司儲(chǔ)備更高深寬比結(jié)構(gòu)（≥90:1）刻蝕的前衛(wèi)技術(shù)。此外，公司晶圓邊緣Bevel刻蝕設(shè)備完成開(kāi)發(fā)，即將進(jìn)入客戶驗(yàn)證。
在薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域，中微公司正試圖通過(guò)差異化競(jìng)爭(zhēng)和技術(shù)創(chuàng)新來(lái)擴(kuò)大自己的市場(chǎng)規(guī)模和版圖，其鎢系列薄膜沉積產(chǎn)品可覆蓋存儲(chǔ)器件所有鎢應(yīng)用，并已完成多家邏輯和存儲(chǔ)客戶對(duì)CVD/HAR/ALDW鎢設(shè)備的驗(yàn)證，取得了客戶訂單。
此次，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司聯(lián)合南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司研發(fā)出了“一種化學(xué)氣相沉積裝置及其清潔方法”（專利號(hào)：ZL201510218357.1），成功解決了設(shè)備清潔難題，為高效生產(chǎn)提供了技術(shù)支持，鞏固了其在半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)先地位。
- 新聲半導(dǎo)體
成立僅三年的深圳新聲半導(dǎo)體有限公司，憑借卓越的芯片研發(fā)與制造能力，在模擬芯片領(lǐng)域豎起了品牌壁壘。
此次，新聲半導(dǎo)體在濾波器技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng)新表現(xiàn)亮眼，憑借“體聲波諧振器”（專利號(hào)：ZL202210796817.9）榮獲中國(guó)專利獎(jiǎng)銀獎(jiǎng)。
該專利技術(shù)突破了傳統(tǒng)設(shè)計(jì)的瓶頸，通過(guò)創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)了平坦的電極和壓電薄膜結(jié)構(gòu)，顯著提升了諧振器的品質(zhì)因數(shù)。該技術(shù)已經(jīng)成功應(yīng)用于手機(jī)、平板電腦、物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備及可穿戴設(shè)備等多種通信產(chǎn)品，為5G通信提供了更加穩(wěn)定和高效的射頻解決方案。
依靠創(chuàng)新力量和優(yōu)秀的市場(chǎng)表現(xiàn)，新聲半導(dǎo)體正快速躋身全球體聲波諧振器技術(shù)的領(lǐng)先行列，成為國(guó)產(chǎn)濾波器領(lǐng)域的重要力量。
- 華海清科
華海清科是國(guó)內(nèi)唯一一家實(shí)現(xiàn)12英寸CMP設(shè)備量產(chǎn)的廠商，其12英寸CMP設(shè)備Universal-300系列可支持支持28nm及以上制程，同時(shí)部分型號(hào)如Universal-300X和Universal-300T正在14nm及以下制程進(jìn)行驗(yàn)證。
此次，華海清科股份有限公司的“化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)及具有它的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備”（專利號(hào)：ZL201010246628.1）填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)CMP設(shè)備技術(shù)空白，為高端芯片制造的關(guān)鍵工藝提供了可靠支持，助力國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加速。
- 風(fēng)華高科
風(fēng)華高科是被動(dòng)元件國(guó)內(nèi)龍頭企業(yè)，在MLCC等領(lǐng)域表現(xiàn)不俗，公司主營(yíng)產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、家電、通訊、汽車、工控新能源、PC、無(wú)人機(jī)、醫(yī)療電子等領(lǐng)域。
此次，廣東風(fēng)華高新科技股份有限公司憑借“一種抗硫化片式電阻器及其制造方法”（專利號(hào)：ZL201810958732.X）榮獲銀獎(jiǎng)。該技術(shù)顯著提高了片式電阻器在復(fù)雜環(huán)境下的穩(wěn)定性，鞏固了風(fēng)華高科在電子元件領(lǐng)域的市場(chǎng)地位。
- 天岳先進(jìn)
天岳先進(jìn)是國(guó)際上少數(shù)在半絕緣型碳化硅襯底和導(dǎo)電型碳化硅襯底領(lǐng)域同時(shí)具有知名度的襯底廠商，實(shí)現(xiàn)了從 2 英寸襯底到 8 英寸襯底的制備，并具備 8 英寸碳化硅襯底的規(guī)?；a(chǎn)能力，在全球市場(chǎng)上占據(jù)了領(lǐng)先地位。其客戶覆蓋了全球前十大功率半導(dǎo)體企業(yè)的一半以上，包括英飛凌、博世、安森美等國(guó)際一線功率器件大廠。
此次，碳化硅襯底供應(yīng)商天岳先進(jìn)憑借“一種高平整度、低損傷大直徑單晶碳化硅襯底”（專利號(hào)：ZL201811205291.2）獲得銀獎(jiǎng)。
值得一提的是，該公司近日表示，其正在推進(jìn)港股IPO進(jìn)程，借助資本市場(chǎng)的力量進(jìn)一步推動(dòng)技術(shù)研發(fā)和市場(chǎng)拓展。
除了以上五家獲得銀獎(jiǎng)的半導(dǎo)體企業(yè)外，在610個(gè)優(yōu)秀獎(jiǎng)項(xiàng)中還有北方華創(chuàng)、華潤(rùn)微、芯?？萍?、廈門三安、富滿微、上海新昇等多家半導(dǎo)體領(lǐng)軍企業(yè)的身影。
據(jù)了解，中國(guó)專利獎(jiǎng)是由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局和世界知識(shí)產(chǎn)權(quán)組織共同主辦的我國(guó)專利領(lǐng)域最高獎(jiǎng)項(xiàng)，是專門獎(jiǎng)勵(lì)專利權(quán)人和發(fā)明人的國(guó)家級(jí)獎(jiǎng)項(xiàng)，分為金獎(jiǎng)、銀獎(jiǎng)和優(yōu)秀獎(jiǎng)三類。獎(jiǎng)項(xiàng)評(píng)選注重知識(shí)產(chǎn)權(quán)創(chuàng)造、保護(hù)與運(yùn)用，對(duì)推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新和經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展具有重要意義。
對(duì)于半導(dǎo)體這樣典型的硬科技行業(yè)而言，技術(shù)創(chuàng)新不僅是企業(yè)發(fā)展的核心驅(qū)動(dòng)力，更是提升國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵。在中國(guó)專利獎(jiǎng)的舞臺(tái)上，越來(lái)越多的半導(dǎo)體企業(yè)通過(guò)專利技術(shù)的突破和商業(yè)化應(yīng)用，展現(xiàn)出強(qiáng)勁的研發(fā)能力和發(fā)展?jié)摿?。這些努力將為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在全球競(jìng)爭(zhēng)中注入源源不斷的動(dòng)力。
本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的各個(gè)細(xì)分領(lǐng)域，內(nèi)卷現(xiàn)象層出不窮，但無(wú)盡的內(nèi)卷顯然無(wú)法擔(dān)起整個(gè)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈前行的重任，唯有投入研發(fā)、不斷創(chuàng)新才是中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)每一個(gè)細(xì)分領(lǐng)域的共同出路。
