“光刻機(jī)第一股”終止IPO

作者 |??ZeR0，編輯?|??漠影

四年IPO之路戛然而止。

芯東西7月4日?qǐng)?bào)道，近日，上交所官網(wǎng)披露終止半導(dǎo)體裝備企業(yè)北京華卓精科科技股份有限公司（簡稱“華卓精科”）的發(fā)行上市審核，原因是華卓精科及其保薦人撤回發(fā)行上市申請(qǐng)。

頂著沖刺“光刻機(jī)第一股”的光環(huán)，華卓精科闖關(guān)科創(chuàng)板之路一度備受關(guān)注，其IPO擬募資7.35億元，用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)、超精密測(cè)控產(chǎn)品研發(fā)中心等項(xiàng)目。

華卓精科在2020年6月24日申請(qǐng)科創(chuàng)板IPO，2021年7月29日首次上會(huì)遇暫緩審議，同年9月17日上會(huì)通過，但此后遲遲不見提交注冊(cè)稿，直至今年6月26日終止IPO。

不止是華卓精科，今年迄今已有超過十家半導(dǎo)體企業(yè)終止科創(chuàng)板IPO，這份長長的名單還包括大連科利德半導(dǎo)體材料股份有限公司、得一微電子股份有限公司、合肥芯谷微電子股份有限公司、寧波奧拉半導(dǎo)體股份有限公司、杭州華瀾微電子股份有限公司、上海芯旺微電子技術(shù)股份有限公司、蘇州明皜傳感科技股份有限公司、華羿微電子股份有限公司、青島信芯微電子科技股份有限公司、山東華光光電子股份有限公司、北京晶亦精微科技股份有限公司等。華卓精科成立于2012年5月，法定代表人是孫國華，任華卓精科總經(jīng)理；實(shí)際控制人和控股股東是清華大學(xué)長聘教授朱煜，任華卓精科首席科學(xué)家。其核心產(chǎn)品為納米精度運(yùn)動(dòng)及測(cè)控系統(tǒng)，該系統(tǒng)是光刻機(jī)的核心子系統(tǒng)之一，其性能對(duì)晶圓進(jìn)行光刻時(shí)起到?jīng)Q定性影響，能極大提高光刻機(jī)的精度和生產(chǎn)效率。在申報(bào)稿中，華卓精科稱自己是“國內(nèi)首家自主研發(fā)并實(shí)現(xiàn)納米精度運(yùn)動(dòng)及測(cè)控系統(tǒng)商業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)”、“是國產(chǎn)高端光刻機(jī)龍頭企業(yè)納米精度運(yùn)動(dòng)及測(cè)控系統(tǒng)產(chǎn)品及技術(shù)開發(fā)的供應(yīng)商”。

根據(jù)2023年12月披露的《關(guān)于北京華卓精科科技股份有限公司首次公開發(fā)行股票并在科創(chuàng)板上市申請(qǐng)文件第二輪審核問詢函的回復(fù)》，上交所的回復(fù)材料顯示：（1）2017年至2020年9月，光刻機(jī)雙工件臺(tái)銷量為0，2020年4月向上海微電子發(fā)貨一臺(tái)光刻機(jī)雙工件臺(tái)，尚未通過驗(yàn)收；（2）2017年至2020年9月，公司收入構(gòu)成中光刻機(jī)雙工件臺(tái)銷售金額為1521.37萬元、795.00萬元、0萬元、0萬元，實(shí)際銷售內(nèi)容為技術(shù)服務(wù)與雙工件臺(tái)模塊非雙工件臺(tái)本身；（3）招股說明書披露公司主要產(chǎn)品包括光刻機(jī)雙工件臺(tái)；（4）公司披露的主要產(chǎn)品收入構(gòu)成包括精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、晶圓鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等，但實(shí)際收入中同時(shí)包括產(chǎn)品銷售與技術(shù)服務(wù)。

上交所要求對(duì)華卓精科嚴(yán)格按照實(shí)際銷售情況介紹公司主營業(yè)務(wù)及主要產(chǎn)品，并要求華卓精科“若無公開客觀、權(quán)威依據(jù)，刪除公司的干式光刻機(jī)雙工件臺(tái)已達(dá)到或接近國際同類設(shè)備水平的表述”，最終華卓精科刪除了干式納米精度運(yùn)動(dòng)及測(cè)控系統(tǒng)已達(dá)到或接近國際同類設(shè)備水平的相關(guān)表述。

此外，問詢涉及到華卓精科與清華大學(xué)共有技術(shù)，包括“2024年3月1日發(fā)行人與清華大學(xué)簽署了光刻機(jī)雙工件臺(tái)技術(shù)轉(zhuǎn)移與實(shí)施《技術(shù)轉(zhuǎn)讓合同書》，合同總金額為800萬元及后續(xù)收益提成”。上交所要求華卓精科披露與清華大學(xué)共有專利、專利實(shí)施許可、技術(shù)轉(zhuǎn)讓相關(guān)合同的條款、是否存在清華大學(xué)停止授權(quán)或授權(quán)第三方的風(fēng)險(xiǎn)，說明其產(chǎn)品和核心技術(shù)與清華大學(xué)的淵源、公司主要高管及核心技術(shù)人員的清華任職背景、目前存在與清華大學(xué)的合作研發(fā)項(xiàng)目等情形。

華卓精科對(duì)此的回復(fù)長達(dá)50多頁。

根據(jù)回復(fù)，該公司與清華大學(xué)作為共同專利權(quán)人擁有的專利共計(jì)166項(xiàng)（其中5項(xiàng)專利有效期已屆滿），其中協(xié)議轉(zhuǎn)讓方式獲取的專利115項(xiàng)、委托開發(fā)方式獲取的專利30項(xiàng)、合作研發(fā)方式獲取的專利21項(xiàng)，清華大學(xué)授權(quán)公司獨(dú)占實(shí)施許可的專利1項(xiàng)。

2002年，清華大學(xué)建立IC裝備研究室，主要從事超精密機(jī)械及測(cè)控領(lǐng)域的研究；2009年起，IC裝備研究室承擔(dān)國家科技重大專項(xiàng)納米精度運(yùn)動(dòng)及測(cè)控系統(tǒng)樣機(jī)研發(fā)項(xiàng)目，研究團(tuán)隊(duì)突破并掌握了超精密測(cè)控基礎(chǔ)理論技術(shù)，開發(fā)出了納米精度運(yùn)動(dòng)及測(cè)控系統(tǒng)研究階段實(shí)驗(yàn)室原理樣機(jī)，為華卓精科成立后開展納米精度運(yùn)動(dòng)及測(cè)控系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化奠定了理論和技術(shù)基礎(chǔ)。2012年4月，在清華大學(xué)支持下，北京清華工業(yè)開發(fā)研究院與IC裝備研究室核心團(tuán)隊(duì)共同協(xié)商決定設(shè)立華卓有限。清華大學(xué)機(jī)械工程系IC裝備研究室成員朱煜、徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮通過華卓精密及艾西精創(chuàng)兩個(gè)持股平臺(tái)間接持有華卓有限股權(quán)，后于2014年通過股權(quán)轉(zhuǎn)讓直接持有華卓有限股權(quán)。在華卓有限設(shè)立初期，IC裝備研究室部分項(xiàng)目合同制人員在與清華大學(xué)解除勞動(dòng)合同后加入了華卓有限的研發(fā)人員隊(duì)伍。截至問詢函回復(fù)之日，清華大學(xué)人員在華卓精科處共5人，其中兼職人員5人，分別為朱煜、張鳴、楊開明、成榮、李鑫，華卓精科在技術(shù)研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)營活動(dòng)中均已建立了獨(dú)立于清華大學(xué)的自有團(tuán)隊(duì)。

朱煜、張鳴、楊開明3人取得清華大學(xué)兼職批復(fù)在華卓精科處擔(dān)任技術(shù)咨詢顧問類工作，為華卓精科研發(fā)過程中的重點(diǎn)難題研發(fā)問題提供理論性指導(dǎo)，3人均不直接參與華卓精科的日常技術(shù)開發(fā)工作。成榮已取得清華大學(xué)兼職批復(fù)在華卓精科處擔(dān)任董事，李鑫已獲得清華大學(xué)兼職批復(fù)，其主要對(duì)華卓精科銷售提供咨詢顧問服務(wù)。除朱煜、張鳴2名兼職核心技術(shù)人員外，華卓精科另有3名專職員工擔(dān)任核心技術(shù)人員，日常大量技術(shù)開發(fā)工作均由專職技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)人員自主完成。歷史上，華卓精科與清華大學(xué)在納米精度運(yùn)動(dòng)及測(cè)控系統(tǒng)領(lǐng)域的部分研發(fā)項(xiàng)目上進(jìn)行了產(chǎn)學(xué)研合作，在合作研發(fā)項(xiàng)目中由華卓精科作為主導(dǎo)方，主要負(fù)責(zé)項(xiàng)目的工程化研究及產(chǎn)業(yè)化開發(fā)。在去年1月提交多個(gè)回復(fù)文件之后，華卓精科再無新問詢與回復(fù)文件披露?？喟舅哪甑目苿?chuàng)板IPO路，最終鎩羽而歸。