近日,SiC領(lǐng)域2個(gè)項(xiàng)目先后宣布擴(kuò)產(chǎn)、開工:
●?三菱電機(jī):8英寸SiC工廠將于4月開工,總投資55億元。
● 美爾森:獲近1億政府補(bǔ)貼,投資6.7億,建40萬(wàn)片SiC襯底工廠。
三菱電機(jī):8吋SiC工廠即將開工
3月13日下午,據(jù)“日經(jīng)新聞”消息,三菱電機(jī)將于今年4月,在日本熊本縣開工建設(shè)新的8英寸SiC工廠,并計(jì)劃于2026年4月投入運(yùn)營(yíng)。
據(jù)“行家說三代半”此前報(bào)道,三菱電機(jī)于2023年3月中旬宣布,計(jì)劃在5年內(nèi)投資約1000億日元(約51億元人民幣)建設(shè)一個(gè)8英寸SiC工廠,并加強(qiáng)相關(guān)生產(chǎn)設(shè)施。
資料顯示,該新工廠共有六層,總建筑面積約4.2萬(wàn)平方米,將主要負(fù)責(zé)8 英寸 SiC 晶圓的前端工藝;三菱電機(jī)將在全工序段引入自動(dòng)輸送系統(tǒng),打造生產(chǎn)效率高的生產(chǎn)線,并計(jì)劃逐步提高產(chǎn)能,目標(biāo)在2026財(cái)年將SiC產(chǎn)能提升5倍(與2022財(cái)年相比)。
值得一提的是,該工廠已經(jīng)“綁定”了Coherent(前 II-VI )的碳化硅襯底產(chǎn)能——
2023年5月,三菱電機(jī)與Coherent簽署了一份諒解備忘錄,Coherent將為三菱電機(jī)新工廠供應(yīng)8英寸n型4H SiC襯底,雙方共同致力于擴(kuò)大8英寸SiC器件的生產(chǎn)規(guī)模。
美爾森:投資6.7億,建40萬(wàn)片SiC襯底工廠
3月12日,歐洲石墨材料和碳化硅襯底供應(yīng)商美爾森宣布,他們獲得了法國(guó)政府的投資,將用于SiC襯底項(xiàng)目的產(chǎn)能擴(kuò)充。
據(jù)悉,該筆補(bǔ)貼金額或?qū)⒊^1200萬(wàn)歐元(約合人民幣0.94億),來(lái)自于“法國(guó)2023計(jì)劃”——微電子和通信技術(shù)歐洲重要聯(lián)合利益項(xiàng)目。
美爾森表示,他們計(jì)劃借此推進(jìn)p-SiC襯底的研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)階段,p-SiC是一種低電阻率多晶SiC襯底,可以與單晶SiC有源層相結(jié)合,有助于SiC器件廠商提高產(chǎn)量和晶體管性能。
為提高p-SiC產(chǎn)能,2023至2025年,美爾森預(yù)計(jì)將投資8500萬(wàn)歐元(約合人民幣6.7億),雇傭80至100名員工,推動(dòng)法國(guó)熱訥維耶工廠的產(chǎn)能建設(shè),并在 2027 年之前達(dá)到 40萬(wàn)片襯底(150 mm)的潛在制造能力。
據(jù)“行家說三代半”了解,美爾森的p-SiC多晶襯底將供應(yīng)給法國(guó)Soitec。2021年11月,美爾森與Soitec達(dá)成戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系,憑借各自在基板和材料方面的經(jīng)驗(yàn),雙方聯(lián)合開發(fā)的極低電阻率多晶 SiC 襯底將用于Soitec SmartSiC? 技術(shù)設(shè)計(jì)的 SiC 電力電子元件。