聊聊隱藏boss英特格

“美國(guó)切斷中芯國(guó)際南部工廠供應(yīng)鏈”……這個(gè)消息，大家今天都看到了。

對(duì)于非行業(yè)里的朋友而言，幾乎沒(méi)人聽(tīng)說(shuō)過(guò)英特格這家公司，但是這家公司是圈內(nèi)化學(xué)品，氣體，半導(dǎo)體材料領(lǐng)域鼎鼎有名的公司。

我多年前我曾經(jīng)敲過(guò)一篇長(zhǎng)文叫《今天關(guān)閥門(mén)，明天就關(guān)門(mén)？卡脖子的隱藏Boss》，在知乎上，講的就是英特格這家公司。

當(dāng)然了，這個(gè)標(biāo)題稍微起了夸張了點(diǎn)，實(shí)際情況沒(méi)這么夸張，我也是懂標(biāo)題流量的。

不過(guò)確實(shí)英特格的很多業(yè)務(wù)對(duì)于一個(gè)FAB公司運(yùn)營(yíng)而言是非常重要的。

畢竟設(shè)備，零部件，不是天天換，但是化學(xué)品，清洗液那可是天天用，除非今天FAB停工停產(chǎn)。這些庫(kù)存耗完之前，沒(méi)有找到平替，那就真出大事了。

所以說(shuō)英特格這種隱藏的BOSS，還真的不是開(kāi)玩笑。

英特格1966年成立于美國(guó)馬薩諸塞州，是一家專(zhuān)業(yè)從事半導(dǎo)體耗材，半導(dǎo)體零部件，半導(dǎo)體設(shè)備，電子特氣和半導(dǎo)體化學(xué)品的公司，除了半導(dǎo)體領(lǐng)域，航天航空，生物醫(yī)學(xué)，平板顯示行業(yè)也能看到它的身影。

比較有代表性的產(chǎn)品比如各種閥門(mén)，管道，濾芯，高純工藝系統(tǒng)，混配液系統(tǒng)之類(lèi)，這個(gè)等于是大A的新萊+正帆+至純的業(yè)務(wù)。

甚至它還和ASML共同開(kāi)發(fā)了DUV浸沒(méi)式光刻機(jī)上的浸沒(méi)系統(tǒng)的供液系統(tǒng)，浙江啟爾搞的東西就是這個(gè)，想對(duì)標(biāo)英特格。

然后就是晶圓盒，這個(gè)大A沒(méi)有對(duì)標(biāo)的公司，國(guó)內(nèi)有一些小公司嘗試做這玩意，但是我去了解過(guò)也不太一樣，大部分都是對(duì)標(biāo)信越的FOSB，不是英特格的Foup。

所以在這個(gè)賽道上，英特格應(yīng)該算絕對(duì)龍頭。

然后就是化學(xué)品，它化學(xué)品主要是各種清洗液，如刻蝕后清洗，CMP后清洗，去膠液，去殘膠液之類(lèi)。對(duì)標(biāo)大A的各種化學(xué)品公司，相當(dāng)于是江化微+格林達(dá)+晶瑞+中巨芯+新陽(yáng)之類(lèi)。

有人問(wèn)我安集算不算？應(yīng)該來(lái)講安集的主要產(chǎn)品是拋光液，那么安集的對(duì)手應(yīng)該是Versum，卡博特，fujimi之類(lèi)，兩個(gè)產(chǎn)品線不一樣。

然后就是一部分特氣業(yè)務(wù)，這個(gè)對(duì)標(biāo)雅克+華特+金宏之類(lèi)的，我就不贅述了。

我們回顧一下英特格的歷史。

它以前不叫英特格（Entegris），它以前叫fluoroware，成立于1966年。

1999年的時(shí)候，F(xiàn)luoroware和Empak合并，才改名Entegris。

2000年登錄納斯達(dá)克。

2005年，英特格和Mykrolis合并，Mykrolis是以前從默克集團(tuán)剝離的業(yè)務(wù)，專(zhuān)業(yè)從事半導(dǎo)體行業(yè)的過(guò)濾產(chǎn)品。

2014年，英特格以11億美金，重磅收購(gòu)ATMi，這家公司就是英特格化學(xué)品和特氣業(yè)務(wù)的基本盤(pán)。在這之前ATMi 是半導(dǎo)體行業(yè)知名的化學(xué)品，氣體公司。英特格收購(gòu)之后，可以說(shuō)是強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合。

2018年，英特格再次計(jì)劃收購(gòu)另外一家特氣巨頭Versum（慧瞻科技）結(jié)果沒(méi)過(guò)反壟斷審查，黃了。

我只能說(shuō)幸好這次收購(gòu)沒(méi)成功，不然Versum+英特格那就真的是太恐怖了，因?yàn)閂ersum 在專(zhuān)用特氣領(lǐng)域是絕對(duì)龍頭，前身是從美國(guó)空氣化工拆分的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)事業(yè)部，然后英特格本身就是這個(gè)行業(yè)的化學(xué)品龍頭，簡(jiǎn)直強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合。

相當(dāng)于現(xiàn)在英偉達(dá)和AMD合并似的，別人看不了一眼的那種。

不過(guò)最后默克集團(tuán)以58億歐元收購(gòu)了Versum。

之后英特格又以3.41美金的價(jià)格收了SAES，SAEA是一家氣體凈化裝置的公司，和英特格主業(yè)有非常強(qiáng)的協(xié)同性。

2019年的時(shí)候，英特格還收過(guò)一家杭州公司叫安諾，一家做過(guò)濾系統(tǒng)和過(guò)濾膜的公司，幸好它沒(méi)收杭州科百特，估計(jì)科百特老板也不樂(lè)意被收，不然英特格又要制霸一個(gè)領(lǐng)域了………………

以上故事告訴我們，英特格經(jīng)過(guò)多年修煉達(dá)到現(xiàn)在隱藏大boss的階段，是一步步整合上下游資源過(guò)來(lái)的，然后越做越大，越做越強(qiáng)，堪稱(chēng)收并購(gòu)方面的經(jīng)典案例。

各位大A的同行們學(xué)著點(diǎn)，我現(xiàn)在去和上市公司老板聊，但凡這老板沒(méi)想明白這其中的奧秘，也不懂如何操作，格局沒(méi)有打開(kāi)的，這家公司在我心里直接劃X，我是絕對(duì)不考慮買(mǎi)的。

國(guó)產(chǎn)2.0時(shí)代就是一個(gè)并購(gòu)整合的年代，你還想茍住自己的小天地慢慢發(fā)育？

你問(wèn)問(wèn)你同行給你這個(gè)機(jī)會(huì)了沒(méi)有？

別說(shuō)我是外行指導(dǎo)內(nèi)行，“你教上市公司老板如何發(fā)展”，呵呵，被時(shí)代淘汰的時(shí)候，哭都來(lái)不及。

回到重點(diǎn)上， 那么對(duì)目前FAB而言，英特格最重要的業(yè)務(wù)是啥業(yè)務(wù)？

個(gè)人認(rèn)為是清洗液業(yè)務(wù)。

因?yàn)閹缀趺繋撞焦に囍?，都需要清洗，特別是光刻膠去膠剝離及清洗、CMP后清洗、刻蝕后清洗以及薄膜沉積后清洗并稱(chēng)四大清洗制程。除了光刻膠去膠有干濕法兩種之外，其他基本都是以濕法為主。

為什么清洗制程如此重要？

幾乎每次顯影、刻蝕、CMP拋光、薄膜沉積等工藝之后，清洗成為必不可少的流程。

因?yàn)槿绻逑床粔驈氐祝瑆afer表面留有雜質(zhì)，哪怕一只有一顆雜質(zhì)也會(huì)毀了芯片，拉低良率，而良率就是晶圓廠的生命線，畢竟每1%的良率就影響一個(gè)先進(jìn)邏輯晶圓廠的1.5億美金的利潤(rùn)，影響3D NAND晶圓廠1.1億美金的利潤(rùn)！誰(shuí)敢和錢(qián)過(guò)不去？

同時(shí)清洗后，不能破壞已有的表面薄膜材料所以清洗效果的好壞，非常影響下一道工藝的良率，務(wù)必要把這些看似不起眼的但是實(shí)際非常關(guān)鍵的清洗工藝做到足夠完美。

清洗液和清洗工藝有多復(fù)雜？

如果從清洗的對(duì)象上區(qū)分，清洗要去除殘留在晶圓表面的包括微塵顆粒、有機(jī)物、無(wú)機(jī)物、金屬離子、氧化物等雜質(zhì)。由于清洗對(duì)象不同，所用的化學(xué)品也不同，比如鹽酸可以溶解金屬離子類(lèi)似鋁、鐵、鎂之類(lèi)，硫酸+過(guò)氧化氫可以用來(lái)清洗有機(jī)物，稀釋過(guò)的氫氟酸可以用來(lái)去除氧化物，每次都需要不同的化學(xué)品來(lái)完成這些頗具挑戰(zhàn)的工作。

同時(shí)清洗的時(shí)候還要考慮各種材料問(wèn)題，比如晶圓上的介質(zhì)材料有SiO2，也有Si3N4，還有各種low-k dielecrtrics以及High-K metal gate等 ；互聯(lián)材料有Cu（銅）、Al（鋁）、W（鎢）、Co（鈷）等；CVD的barriers 有Ta（鉭），Ru（釕），Mn（錳）等。

如何在清洗某種材料的時(shí)候不影響其他材料？這是真的是令人頭疼的問(wèn)題。

清洗化學(xué)品從成分又分成三大類(lèi)：?jiǎn)嗡釅A類(lèi)、溶劑類(lèi)、配方類(lèi)。

單酸類(lèi)：常見(jiàn)的包括硫酸、氫氟酸、硝酸、鹽酸、磷酸、以及氟化銨等；

單堿類(lèi)：常見(jiàn)的包括氫氧化鈉、氫氧化銨、氫氧化鉀、TMAH（四甲基氫氧化銨）等；

溶劑類(lèi)：常見(jiàn)的包括去離子水、雙氧水、乙醇、IPA（異丙醇）、丙酮、TCE（三氯乙烯）等；

配方型溶液：常見(jiàn)的包括刻蝕液、清洗液、電鍍液、剝離液、顯影液等；

英特格的強(qiáng)項(xiàng)不在制造這些單酸單堿物質(zhì)，而是混配出特殊配方型溶液。雖然都是化學(xué)品，都是作為清洗劑使用，但是兩者邏輯完全不同。

半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)對(duì)單酸單堿以及溶劑類(lèi)的要求就是純度高，因此制造這些產(chǎn)品的核心技術(shù)是如何提純，所以這些公司需要建設(shè)巨大的純化系統(tǒng)，來(lái)滿足7N，8N，甚至9N的高純度標(biāo)準(zhǔn)。

而配方型溶液的核心技術(shù)則是，一、配方是什么；二、工藝是怎么配？三、用誰(shuí)家的基礎(chǔ)原料來(lái)配？

這是核心商業(yè)機(jī)密，也是核心技術(shù)，然后為了保守這個(gè)秘密，公司整了一大堆花活，常見(jiàn)就是三個(gè)部門(mén)的三撥人分別掌握這三個(gè)秘密。

你跳槽出來(lái)創(chuàng)業(yè)說(shuō)掌握核心配方?jīng)]用，因?yàn)槟悴恢拦に囀窃趺磳?shí)現(xiàn)的，就算你知道工藝是怎么做的也不夠，因?yàn)槟悴恢涝牧鲜悄募业?，掐頭去尾了什么。

這個(gè)套路在化學(xué)品耗材，半導(dǎo)體零部件行業(yè)非常常見(jiàn)，所以投這行創(chuàng)業(yè)公司，你作為投資人不能光聽(tīng)他吹掌握核心配方就夠了。

以CMP拋光液為例，其中70%左右是水，29%是二氧化硅、氧化鋁、氧化鈰之類(lèi)顆粒，1%的核心配方。

然而這1%的配方就是CMP拋光液最核心的東西，這就是核心技術(shù)。

其實(shí)CMP拋光液混配工藝和那些提純工藝相比并不復(fù)雜，但是這1%的配方是什么？就和一層窗戶紙一樣，捅不破就是捅不破，就和可口可樂(lè)的秘方一樣你永遠(yuǎn)猜不到。清洗液也類(lèi)似，基本就是幾樣基礎(chǔ)化學(xué)品掐頭去尾，按照比例配出來(lái)的。但是比例是多少，要加入哪些東西，去掉哪些東西？為什么這么配效果就好？這就是技術(shù)難點(diǎn)。

這需要你對(duì)化學(xué)材料和工藝非常深刻的理解和基礎(chǔ)，應(yīng)特格之所以能成為這個(gè)領(lǐng)域的佼佼者，和它深厚的功底離不開(kāi)關(guān)系。

wafer表面的ESD系數(shù)是多少？會(huì)不會(huì)形成靜電屏蔽？形成的是親水表面還是疏水表面？多長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)會(huì)有氧化物產(chǎn)生？窗口時(shí)間是多少？如何讓后面的工藝中在二氧化硅和氮化硅上進(jìn)行有選擇性的去除？需要多少化學(xué)品和水，消耗量是不是過(guò)大？

有無(wú)數(shù)的細(xì)節(jié)問(wèn)題，在等著考驗(yàn)。因此負(fù)責(zé)清洗工藝的團(tuán)體必須要站在一個(gè)很高的全局角度來(lái)考慮前后工藝過(guò)程中的各種細(xì)節(jié)問(wèn)題，僅僅做好自己是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。

在2016年收購(gòu)ATMI后，英特格就變成化學(xué)品領(lǐng)域的巨頭之一，特別是在清洗制程方面，絕對(duì)遙遙領(lǐng)先。

研磨后清洗液的市占率，這個(gè)是2019年的數(shù)據(jù)

刻蝕后清洗液市占率，也是2019年的數(shù)據(jù)

2016年英特格就發(fā)布了PlanarClean?AG系列產(chǎn)品解決CMP后清洗，至今英特格的CMP清洗液以及刻蝕后清洗液大量使用在8-12英寸各種制程和產(chǎn)品上，特別是在28nm以下的高階制程中，處于領(lǐng)先地位。

包括巴斯夫、陶氏杜邦等化工巨頭都要在英特格面前俯首稱(chēng)臣。

國(guó)內(nèi)大大小小這么多半導(dǎo)體化學(xué)品公司，目前沒(méi)有一家公司能達(dá)到英特格的綜合實(shí)力，這個(gè)領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)化長(zhǎng)路漫漫。

當(dāng)然大家也不用太緊張，現(xiàn)在是2024年，不是2016年，這些年還是做了很多本土化工作。

我曾經(jīng)問(wèn)過(guò)“劉華強(qiáng)哥”這個(gè)問(wèn)題，英特格真斷供我們?cè)趺崔k？

他說(shuō)都有本土化平替方案，反正你別管，就是有辦法的。

所以今天這個(gè)所謂英特格斷供也沒(méi)想這么嚴(yán)重，大家都莫慌，再說(shuō)了，這個(gè)事關(guān)普通人啥事？著急也是各大FAB管供應(yīng)鏈的人著急。

一下午N個(gè)人問(wèn)我怎么看？我能怎么看？

各位該吃吃，該喝喝，別老先天下之憂而憂，搞的你們都是范仲淹似的……

都滾去，回家播種！