據(jù)報(bào)道,近日,新加坡科學(xué)技術(shù)研究局 (A * STAR) 下屬研究機(jī)構(gòu)微電子研究所 (IME) 與德國擴(kuò)散及退火設(shè)備供應(yīng)商centrotherm International AG就8英寸SiC技術(shù)達(dá)成合作,IME的8英寸開放式R&D SiC試產(chǎn)線將與centrotherm的擴(kuò)散及退火設(shè)備相結(jié)合,為SiC材料制備環(huán)節(jié)提供解決方案。