晶圓前道工藝(FEOL)和后道工藝(BEOL)的區(qū)別
在集成電路制造中,前道工藝(FEOL, Front End of Line)和后道工藝(BEOL, Back End of Line)是兩個(gè)密切相關(guān)、但工藝內(nèi)容和目標(biāo)完全不同的階段。要理解它們的區(qū)別,可以將整個(gè)半導(dǎo)體制造過程比喻為建造一座智能大廈:前道工藝相當(dāng)于“建設(shè)基礎(chǔ)與結(jié)構(gòu)框架”,而后道工藝則是“完成內(nèi)部連線與功能集成”。