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學員問：在晶圓清洗后，我們?nèi)绾螠y量晶圓表面的金屬離子是否洗干凈？金屬離子濃度為什么要嚴格控制？金屬離子在電場作用下容易發(fā)生遷移。如Li?，Na?、K?等可遷移到柵氧化層，導致閾值電壓下降。

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11/25 09:15

晶圓檢測

學員問：在裸晶圓上，顆粒的檢測是如何實現(xiàn)的？比較經(jīng)典的顆粒檢測機臺有哪些？顆粒檢測用什么光源？激光。激光束掃描旋轉(zhuǎn)中的晶圓表面，在無顆粒的光滑表面上，激光束發(fā)生鏡面反射，當激光遇到顆粒時，部分入射光線會向各個方向散射。在暗場照明中，散射光可以直接檢測；在明場照明中，可以通過檢測鏡面反射光強度的變化來表示。

TOM聊芯片智造

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11/20 09:25

晶圓晶圓檢測

蘇試宜特，芯片電路修改能力達到5nm制程

集成電路作為現(xiàn)代電子設備的核心，其質(zhì)量和性能直接關(guān)系到電子產(chǎn)品的可靠性和穩(wěn)定性。全球半導體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，離不開集成電路檢測行業(yè)的支持，第三方檢測機構(gòu)以其專業(yè)化服務、技術(shù)中立性等優(yōu)勢，逐漸成為產(chǎn)業(yè)鏈中不可或缺的一環(huán)。 2024年6月5日-6月7日，在2024世界半導體大會暨南京國際半導體博覽會上，本土集成電路第三方檢測公司蘇試宜特展示了其眾多解決方案，包括加速客戶產(chǎn)品上市的失效分析整合服務、集成電

史德志

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06/14 18:06

晶圓檢測

微崇半導體董事長黃崇基：半導體量檢測新方式探索——二諧波晶圓檢測

半導體質(zhì)量控制貫穿于半導體制造的全過程，保障著芯片性能與生產(chǎn)良率。隨著制程不斷先進，工藝環(huán)節(jié)也逐漸復雜，對質(zhì)量控制提出了更高的要求，對量測設備與檢測設備的需求量倍增。微崇半導體成立于2021年3月，立足于非線性光學晶圓檢測技術(shù)領域，致力于研發(fā)先進的半導體檢測技術(shù)與半導體檢測設備。目前，微崇半導體在開發(fā)二諧波檢測技術(shù)方面積累了豐富的經(jīng)驗。

芯謀研究

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2023/10/31

半導體檢測設備晶圓檢測

微崇半導體CEO黃崇基：二諧波晶圓檢測新技術(shù)賦能半導體制造

做半導體工藝的眼睛

芯謀研究

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2023/01/05

晶圓檢測二次諧波

半導體制程不斷微縮挑戰(zhàn)下，本土光學檢測設備如何從后道封裝走進前道FAB？

隨著半導體制程不斷向下微縮，內(nèi)部結(jié)構(gòu)的復雜度也在不斷提高，檢測測試行業(yè)面臨越來越多的挑戰(zhàn)。