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外延是半導(dǎo)體工藝當(dāng)中的一種。在bipolar工藝中,硅片最底層是P型襯底硅(有的加點(diǎn)埋層);然后在襯底上生長(zhǎng)一層單晶硅,這層單晶硅稱為外延層;再后來(lái)在外延層上注入基區(qū)、發(fā)射區(qū)等等。最后基本形成縱向NPN管結(jié)構(gòu):外延層在其中是集電區(qū),外延上面有基區(qū)和發(fā)射區(qū)。外延片就是在襯底上做好外延層的硅片。因有些廠只做外延之后的工藝生產(chǎn),所以他們買別人做好外延工藝的外延片來(lái)接著做后續(xù)工藝。
外延是半導(dǎo)體工藝當(dāng)中的一種。在bipolar工藝中,硅片最底層是P型襯底硅(有的加點(diǎn)埋層);然后在襯底上生長(zhǎng)一層單晶硅,這層單晶硅稱為外延層;再后來(lái)在外延層上注入基區(qū)、發(fā)射區(qū)等等。最后基本形成縱向NPN管結(jié)構(gòu):外延層在其中是集電區(qū),外延上面有基區(qū)和發(fā)射區(qū)。外延片就是在襯底上做好外延層的硅片。因有些廠只做外延之后的工藝生產(chǎn),所以他們買別人做好外延工藝的外延片來(lái)接著做后續(xù)工藝。收起
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