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光刻

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光刻是平面型晶體管和集成電路生產(chǎn)中的一個主要工藝。是對半導(dǎo)體晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)進(jìn)行開孔,以便進(jìn)行雜質(zhì)的定域擴散的一種加工技術(shù)。

光刻是平面型晶體管和集成電路生產(chǎn)中的一個主要工藝。是對半導(dǎo)體晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)進(jìn)行開孔,以便進(jìn)行雜質(zhì)的定域擴散的一種加工技術(shù)。收起

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    對話北京理工大學(xué)特聘教授李艷秋:歐、美、日光刻技術(shù)研發(fā)均由政企研學(xué)聯(lián)合促進(jìn)
    芯片生產(chǎn)主要包括沉積、光刻、蝕刻等步驟,其中光刻是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中最關(guān)鍵一環(huán),主要負(fù)責(zé)把芯片設(shè)計圖案通過光學(xué)顯影技術(shù)轉(zhuǎn)移到芯片表面,進(jìn)而實現(xiàn)在半導(dǎo)體晶片表面上制造微小結(jié)構(gòu)。光刻機生產(chǎn)具備高技術(shù)門檻,需要高度精度設(shè)備和嚴(yán)格的控制流程,以達(dá)到所需的制造精度。而先進(jìn)的芯片制程工藝需要先進(jìn)的、高分辨率的光刻機,因此光刻機直接影響芯片的工藝制程與性能。
  • 攻克關(guān)鍵技術(shù) 東方晶源ILT技術(shù)劍指先進(jìn)制程
    攻克關(guān)鍵技術(shù) 東方晶源ILT技術(shù)劍指先進(jìn)制程
    計算光刻作為現(xiàn)代芯片制造光刻環(huán)節(jié)的核心技術(shù)之一,其發(fā)展經(jīng)歷了從規(guī)則導(dǎo)向到模型驅(qū)動的轉(zhuǎn)變。然而,隨著制程邁向7nm乃至5nm節(jié)點,傳統(tǒng)方法因規(guī)則局限、優(yōu)化自由度不足等制約,難以滿足復(fù)雜芯片設(shè)計的高要求。在此背景下,反向光刻技術(shù)(ILT)以其獨特的優(yōu)化思路應(yīng)運而生。 ILT即從目標(biāo)芯片圖案出發(fā),逆向推導(dǎo)獲得最優(yōu)化掩模圖案,極大地提升優(yōu)化的靈活性和精準(zhǔn)度,更能滿足先進(jìn)制程對圖形精度的苛刻需求。因此,在探
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    日前,第49屆SPIE Advanced Lithography + Patterning會議在美國加州圣何塞拉開帷幕。作為半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)于光刻和圖形成型技術(shù)最具影響力的國際會議,本屆大會吸引了來自全球各地的專家、學(xué)者,帶來近600篇論文,涉及極紫外光刻、新型圖形技術(shù)、微光刻的計量、檢驗和過程控制等六大領(lǐng)域。 SPIE(International Society for Optical Engine
  • 深入光刻領(lǐng)域:揭秘芯片制造行業(yè)的職業(yè)新機會
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    多年以后,當(dāng)每一個ICer站在職業(yè)生涯的路口,將會想起2023這一載入半導(dǎo)體行業(yè)史冊的一年。“裁員”、“降薪”、“解散”成了今年的主旋律,而過去幾年隨著芯片設(shè)計從業(yè)者的快速增加,內(nèi)卷似乎也越來越嚴(yán)重。當(dāng)芯片行業(yè)的種種亂象接踵而至?xí)r,我們也應(yīng)該仔細(xì)審視,到底什么才是這個行業(yè)真正需要的?到底什么才是有價值的?IC設(shè)計是不是畢業(yè)生唯一的出路?想逃離內(nèi)卷,我還能在芯片行業(yè)挖掘到哪些新的職業(yè)機會?
  • 光刻
    光刻是一種關(guān)鍵的微制造技術(shù),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、集成電路制造、光學(xué)元件制備等領(lǐng)域。通過利用光照、顯影和蝕刻等步驟,在光敏性材料上形成復(fù)雜的圖案和結(jié)構(gòu)。
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