擴(kuò)散硅壓力傳感器

擴(kuò)散硅壓力傳感器是現(xiàn)代高可靠性、高精度壓力測(cè)量技術(shù)的代表之一，被廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化控制、航空航天、石油化工等領(lǐng)域。

1.什么是擴(kuò)散硅壓力傳感器

擴(kuò)散硅壓力傳感器是在晶體管的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種壓力傳感器，利用硅片的多晶硅擴(kuò)散過(guò)程中材料特性發(fā)生變化的原理實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力信號(hào)的轉(zhuǎn)換和測(cè)量。它主要由感受單元和信號(hào)處理電路兩部分組成，可以將被測(cè)介質(zhì)的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)、傳輸和處理。

2.擴(kuò)散硅壓力傳感器工作原理

擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受單元是由兩個(gè)硅片組成的結(jié)構(gòu)，在兩片硅片中央處形成一個(gè)薄而小的腔室，內(nèi)旁均鍍上金屬電極。壓力通過(guò)液體或氣體的形式加在感受單元頂部，使得擴(kuò)散硅片產(chǎn)生彎曲變形。當(dāng)壓力改變時(shí)，擴(kuò)散硅片發(fā)生位移，從而導(dǎo)致電容和電阻值的變化，最終輸出相應(yīng)的電信號(hào)。

3.擴(kuò)散硅壓力傳感器作用

擴(kuò)散硅壓力傳感器可以廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，例如在汽車(chē)行業(yè)中用于發(fā)動(dòng)機(jī)、燃油系統(tǒng)和空調(diào)系統(tǒng)的壓力測(cè)量，在工業(yè)自動(dòng)化控制中應(yīng)用于液位、流量和液壓控制等方面，同時(shí)也被用于航空航天、醫(yī)療衛(wèi)生以及環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。它具有精度高、響應(yīng)速度快、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。