薄膜集成電路是指將導(dǎo)電薄膜材料和其他基礎(chǔ)材料構(gòu)成的器件結(jié)構(gòu)緊密地密封在一起,形成多個互相連接的功能電路。該技術(shù)具有高度集成化、體積小、功耗低、制造成本低等優(yōu)點,被廣泛應(yīng)用于電子設(shè)備制造領(lǐng)域。
1.薄膜集成電路簡介
薄膜集成電路(Thin Film Integrated Circuit, TFIC)是一種采用導(dǎo)電薄膜材料以及其他包括絕緣材料、金屬層、金屬聯(lián)系線等基礎(chǔ)材料組成的一種半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)。TFIC利用光刻、交替沉積及重復(fù)熱處理等工藝得到最終的功能電路芯片,其精度和穩(wěn)定性可以達(dá)到近乎晶體管器件水平。目前,TFIC已經(jīng)廣泛應(yīng)用于多種不同的電子產(chǎn)品中。
2.薄膜集成電路的特點
薄膜集成電路具有以下特點:
- 高度集成化:通過TFIC技術(shù),可以實現(xiàn)幾十萬個甚至上百萬個電子器件的集成,使得整個功能電路可以被集成于非常小的面積內(nèi)。
- 體積?。河捎赥FIC采用薄膜材料進(jìn)行制造,因此整個電路的厚度和重量都相對較小。
- 功耗低:TFIC制造過程中,可以使用特殊的材料和工藝使得電路的功耗比其他技術(shù)(例如大規(guī)模集成電路)要低得多。
- 制造成本低:與傳統(tǒng)晶體管半導(dǎo)體工藝相比,TFIC制造成本更低。
3.薄膜集成電路的應(yīng)用領(lǐng)域
薄膜集成電路擁有廣泛而深遠(yuǎn)的應(yīng)用前景,已經(jīng)在多個領(lǐng)域展現(xiàn)出了無限潛力。下面列舉了一些TFIC的應(yīng)用領(lǐng)域: