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成果簡介
飛秒激光雙光子聚合系統(tǒng)將飛秒激光雙光子聚合技術(shù)與逐點(diǎn)3D打印工作方式相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)亞微米級空間分辨率的打印精度。該系統(tǒng)適合對于多種結(jié)構(gòu)器件進(jìn)行增材制造，適用于高等院校及科研院所進(jìn)行微納光學(xué)、集成光學(xué)、微機(jī)械、微流控以及生物兼容性器件等方向研究。
吉林大學(xué)超快激光精密加工團(tuán)隊(duì)獲省部級科學(xué)技術(shù)一等獎3項(xiàng)，國家自然科學(xué)二等獎1項(xiàng)（2020年）。研究團(tuán)隊(duì)依托集成光電子學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，已完成《超快激光與材料相互作用多尺度理論與觀測》，《面向跨尺度飛秒激光加工的微區(qū)形態(tài)性能原位監(jiān)測與分析系統(tǒng)研制》《飛秒激光高速、大視場微納制造的新方法及其機(jī)理研究》等科技部或國家自然基金委重大研發(fā)項(xiàng)目。研究團(tuán)隊(duì)擁有近20年飛秒激光加工技術(shù)累積，對軟材料SU8光刻膠，硬質(zhì)材料包括玻璃、藍(lán)寶石、石英、硅、金剛石、硫化鋅等有雄厚的加工技術(shù)積淀。
應(yīng)用領(lǐng)域
微納光學(xué)、集成光學(xué)、微機(jī)械、微流控以及生物兼容性器件等方向研究。
知識產(chǎn)權(quán)情況
已申請發(fā)明專利8項(xiàng)，獲批3項(xiàng)。
成果圖片
