ASML前員工的“竊密風云”

今年2月，全球光刻機龍頭廠商ASML發(fā)布的2021年度報告，其中提到“2021年經(jīng)相關(guān)報道了解到，因竊密而被判賠償?shù)腦TAL公司的相關(guān)公司——東方晶源可能正積極地在中國銷售侵犯ASML知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品”。ASML還表示，已經(jīng)聯(lián)系了部分客戶要求暫停與XTAL有關(guān)聯(lián)的東方晶源的業(yè)務(wù)往來，并已告知中國政府相關(guān)情況。ASML稱，其正在“密切關(guān)注這一情況，并準備在適當?shù)臅r候采取法律行動”。

隨后，東方晶源發(fā)布聲明回應(yīng)稱，“關(guān)注到近期在網(wǎng)絡(luò)媒體上出現(xiàn)大量與我司有關(guān)、且與事實不符的報道。對于相關(guān)不實信息，我司將保留追究其法律責任的權(quán)利。”

近日，彭博社再度對于ASML與XTAL和東方晶源之間的糾葛進行了報道。

ASML起訴XTAL竊取知識產(chǎn)權(quán)獲勝

據(jù)彭博社報道稱，XTAL 和東方晶源微電子這兩家公司都是由ASML-Brion部門前員工俞宗強（Zongchang Yu）成立于2014年，其中，XTAL主要設(shè)計和制造半導體設(shè)備并為行業(yè)提供咨詢服務(wù)，而東方晶源專注于集成電路良率管理。

俞宗強于2012年從ASML離職，并于2014年1月在美國圣何塞國際機場附近的辦公園區(qū)成立了 XTAL。一個月后，他在北京的一個政府資助的工業(yè)區(qū)創(chuàng)立了東方晶源。

ASML 的律師瑞安（Ryan）在 2018年ASML起訴XTAL侵權(quán)的審判中稱，XTAL和東方晶源是俞宗強在中國東方集團董事局主席兼首席執(zhí)行官的韓景遠支持下成立的。

據(jù)跟蹤中國公司所有權(quán)的荷蘭達特納公司（Datenna）稱，截至2019年，東方集團通過其子公司持有東方晶源50%以上的股份。Datenna表示，自那以后，隨著其他投資者的加入，該公司已出售了其所持股份。

Ryan當時也表示， XTAL和東方晶源兩家公司是為了同一個目標攜手合作，那就是獲取ASML的技術(shù)，并將其轉(zhuǎn)移到中國公司，當時中國也正在大力發(fā)展自己的半導體產(chǎn)業(yè)。

雖然ASML最初被告知XTAL的業(yè)務(wù)不包括計算光刻，但實際上，XTAL的業(yè)務(wù)不僅包括了計算光刻，而且被認為非法利用ASML-Brion在該領(lǐng)域的相關(guān)技術(shù)。在XTAL公司成立一年后，就搶下了ASML的多個大客戶，包括電子巨頭三星公司。

隨后，在2016年ASML公司對XTAL公司發(fā)起了訴訟。ASML指控其美國子公司的幾名前員工竊取了公司機密，包括OPC軟件、源代碼、公司定價策略和供內(nèi)部使用的設(shè)備手冊，并將這些機密傳給了XTAL公司。

根據(jù)庭審證詞，2016年1月，XTAL與韓國三星電子有限公司（Samsung Electronics Co.）簽訂了一份價值2700萬美元的合同，該公司是ASML的長期客戶，ASML負責向其提供OPC軟件。僅在兩年的時間里，XTAL就復(fù)制了這一項技術(shù)。

ASML律師Ryan指控稱，正是因為通過使用ASML被盜數(shù)據(jù)作為路線圖，XTAL才縮短了開發(fā)該軟件所需的時間。

ASML表示，他們花了1億美元和10年的時間才開發(fā)出了OPC技術(shù)。 

作為全球最大的光刻機廠商，ASML擁有著極高的市場份額。根據(jù)研究公司Gartner的數(shù)據(jù)顯示，截至2021，ASML控制了全球171億美元光刻設(shè)備市場90%以上的份額。同時，ASML也是全球唯一的EUV光刻機供應(yīng)商。一臺EUV光刻機足有一座小房子那么大，售價超過1億美元。

雖然OPC軟件只占ASML營收不到1%，但是如果沒有它，光刻機就無法準確地光刻出微小的電路。 

據(jù)ASML高管、開發(fā)該軟件部門的總經(jīng)理Yu Cao證實：“如果你沒有進行任何OPC，那么芯片上的圖案就完全被破壞了，這將是一個無法工作的芯片。” 

賓夕法尼亞州半導體研究公司Information Network總裁羅伯特·卡斯特拉諾（RobertCastellano）表示，中國正在開發(fā)自己的光刻機，但要趕上ASML可能需要數(shù)年的時間。他說，掌握OPC軟件可以縮小一些差距，讓中國制造商改進這些機器，并在他們生產(chǎn)的芯片上封裝更多晶體管。 

Ryan告訴陪審團：“XTAL（有了ASML OPC技術(shù)機密）不必走死胡同，因為它知道哪些是死胡同，它知道哪些是通向榮耀、快速發(fā)展和金錢的道路。”

2018年11月28日，在美國加州圣克拉拉聯(lián)邦法院、陪審團做出本案的初步裁決，裁定XTAL盜竊知識產(chǎn)權(quán)的行為屬于惡意，ASML對XTAL提出的所有五項罪名成立，可依法獲得懲罰性賠償。這五項罪名包括：誘使ASML前雇員違反合同、協(xié)助和教唆前雇員違反其誠信義務(wù)，以及多次違反加州的計算機數(shù)據(jù)訪問和欺詐法案。

但一個月后，XTAL公司申請破產(chǎn)，造成美國加州圣克拉拉市法院只能延遲判決，直到破產(chǎn)法院的程序結(jié)束后，最終于2019年5月3日發(fā)出最終判決結(jié)果，ASML獲得勝訴，XTAL需賠償ASML 8.45億美元賠償（因XTAL已破產(chǎn)因此無法支付），ASML接手了已破產(chǎn)的XTAL的大部分知識產(chǎn)權(quán)。

三星當時表示，與XTAL或東方晶源已沒有關(guān)系。三星指出，ASML此前已經(jīng)發(fā)表聲明稱，三星沒有參與“針對ASML的任何惡意行動”，這家荷蘭公司沒有失去任何業(yè)務(wù)，因為在竊秘案被發(fā)現(xiàn)時，三星與XTAL之間的合作就已經(jīng)“受阻”。 

兩位前員工被判有罪

根據(jù)當時的審判證詞稱，俞宗強在成立XTAL和東方晶源之后，就從ASML 招募了多位從事光學鄰近校正 (OPC) 軟件的工程師。當時，離職的員工向他們的經(jīng)理保證，他們離職后將從事與ASML技術(shù)無關(guān)的工作。

然而，當ASML工程總監(jiān)Song Lan于 2015 年 8 月辭職后，ASML檢查了他的電腦。根據(jù)XTAL在破產(chǎn)程序中的申請資料顯示，Song Lan同時在為 XTAL和東方晶源這兩家公司工作。Song Lan在離開ASML前，已將ASML的相關(guān)文件下載到硬盤中，隨后將其帶到了新雇主的手中。

據(jù)文件顯示，成為XTAL工程副總裁的Song Lan獲取的數(shù)據(jù)包括ASML OPC軟件的源代碼。Song Lan在作證辯稱，他在備份自己的ASML電子郵件以保存?zhèn)€人數(shù)據(jù)時，無意中使用了該代碼。代碼在一封電子郵件的附件中，Song Lan說他從未打開過。

△Source: Santa Clara County District Attorney's Office

ASML的律師表示，他們無法了解Song Lan的全部活動。根據(jù)文件，在ASML告知XTAL其起訴意圖后，Song Lan在硬盤上使用了一個刪除程序，擦除了多達61GB的數(shù)據(jù)。Song Lan沒有在證詞中提及刪除，因為XTAL的律師反對就此提出問題。

根據(jù)ASML專家的證詞，另一名ASML前員工Wanyu Li 在離職前將 ASML 的 OPC 軟件的全部 200 萬行源代碼下載到硬盤上，然后加入了XTAL并擔任IT 主管。

調(diào)查人員發(fā)現(xiàn)，有證據(jù)表明，Wanyu Li 在加入XTAL之后，立即在XTAL使用了該軟件，并將部分代碼上傳到GitHub服務(wù)器，XTAL和東方晶源的大約30名工程師可以訪問該軟件。 

根據(jù)庭審記錄，法官告知陪審團，Wanyu Li承認銷毀了證據(jù)，他將硬盤摔成碎片，然后在庭審前夕將其交給了XTAL的律師。

XTAL的律師唐納德·普特曼（Donald Putman）承認，Wanyu Li取了源代碼并損壞了硬盤。普特曼在法庭上表示：“Wanyu Li的所作所為沒有粉飾”，“你不能這么做，這是錯誤的，這是非法的，不合常規(guī)的。”

但是，普特曼表示，XTAL沒有人知道Wanyu Li擁有ASML被盜的OPC軟件代碼。“XTAL從未真正使用過它”，他說，“XTAL從來沒（利用該軟件代碼）賺過一分錢。”

根據(jù)法院文件顯示，ASML于2019年4月向美國圣克拉拉縣地方檢察官辦公室提起了針對其前員工俞宗強、Song Lan、Wanyu Li的刑事指控，指控他們竊取商業(yè)機密。

△Song Lan, WanyuLi and Zongchang Yu were charged in California with stealing trade secrets from the Dutch firm ASML.   Source: Santa Clara County District Attorney’s Office

據(jù)檢察官埃林·韋斯特（ErinWest）稱，56歲的Wanyu Li和48歲的Song Lan分別承認了一項重罪指控和輕罪指控，二者均因非法獲取計算機數(shù)據(jù)而被判有罪。Wanyu Li被判處7個月的電子監(jiān)控刑期，Song Lan被判處90天的社區(qū)服務(wù)。美國當局在 2019 年 5 月宣布逮捕這三人時，俞宗強已經(jīng)前往中國。

ASML的律師指控俞宗強策劃了這起竊取商業(yè)機密案。根據(jù)ASML專家的證詞，俞宗強的員工在電子郵件中討論了使用ASML公司的源代碼來加速XTAL的軟件開發(fā)。他們作證說，他還擁有ASML機密技術(shù)手冊的副本，并通過電子郵件發(fā)送給了他的員工。

俞宗強作證說，當時他認為使用一些ASML內(nèi)部材料來幫助指導XTAL的工作沒有問題。

俞宗強在一封電子郵件中寫道：“這對我們的建模工作是一個很好的參考。”

ASML反對炒作中國威脅，但仍對可能存在的侵權(quán)表示擔憂

在ASML與XTAL官司勝訴后，荷蘭《Financieele Dagblad》發(fā)表了一篇報道，聲稱ASML美國子公司研發(fā)部門的六名中國籍員工參與竊取相關(guān)技術(shù)，并與XTAL分享了ASML軟件流程的信息，這違反了他們的雇傭合同。并熱炒這些中國籍員工是中國間諜。此外，報道還稱，經(jīng)調(diào)查發(fā)現(xiàn)，XTAL的中國母公司是東方晶源。

隨后，ASML反駁了這一說法。ASML CEO Peter Wennink表示，“報道中有很多失實的地方，這一報道試圖扭曲事實，竊取知識產(chǎn)權(quán)的不僅僅有中國公民，也有其他國家的，卻被有意的進行扭曲。”“這些員工來自于不同國家，他們竊取了ASML產(chǎn)品和服務(wù)的一小部分，將其出售給了ASML位于韓國的客戶。此外，XTAL是一家有韓國和中國資金支持的公司。”

此外，ASML在2019年4月的一份新聞稿中表示：“關(guān)于政府指使‘陰謀’竊取我們的知識產(chǎn)權(quán)和商業(yè)機密的廣泛猜測正是如此：廣泛猜測。”并表示，“認為我們是國家陰謀的受害者的說法是錯誤的。”他說：“事實是，我們被少數(shù)硅谷員工搶劫，他們?yōu)榱酥赂欢`法。

然而，在這之前的幾個月，ASML的律師曾試圖直接將俞宗強的中國公司與中國的技術(shù)野心聯(lián)系在一起。ASML律師安德魯·懷恩特魯布（AndrewWinetroub）向法庭表示：“這符合中國政府正在采用的更廣泛戰(zhàn)略。”他辯稱，ASML有證據(jù)表明，東方晶源正在接受中國政府的資金，“XTAL也與此密切相關(guān)”。

ASML首席律師Ryan稱：“他們想成為中國的ASML，竊取我們的軟件是朝著正確方向邁出的一步。” 

ASML律師表示將提供支持這些指控的證據(jù)。

當時XTAL的律師普特曼（Putterman）稱，這相當于是對中國“后門偏見語調(diào)”的“重復(fù)努力”。隨后，法官也指示 ASML應(yīng)該專注于僅限于對美國公司 XTAL 的指控。

彭博社稱，ASML的案件突顯出許多西方公司在與中國打交道時所面臨的復(fù)雜性。中國是ASML的第三大市場。但自2019年以來，荷蘭政府阻止該公司在那里銷售其最先進的EUV光刻設(shè)備。ASML反對這些限制。

大西洋理事會（Atlantic Council）高級研究員尼克·埃菲米亞德斯（NickEftimiades）表示，中國“將ASML置于非常尷尬的境地”。

追蹤中國知識產(chǎn)權(quán)盜竊和間諜案件的前美國國防部官員埃夫蒂米亞德斯（Eftimiades）表示：“這不是第一次有公司被竊密，并拒絕將其公開。”“許多公司竭盡全力不讓公眾、股東和投資者知道這些事件。”

聯(lián)邦調(diào)查局局長克里斯托弗·賴（Christopher Wry）說：“中國公司經(jīng)常竊取美國的知識產(chǎn)權(quán)，然后用它來與受害的美國公司競爭。”

中國外交部發(fā)表的一份官方聲明稱：“美國的反華政客一直在利用‘知識產(chǎn)權(quán)盜竊’話題抹黑中國”，并將這些指控稱為“惡意炒作”。

值得注意的是，在今年2月發(fā)布的公司財報當中，ASML首度公開提及了對于東方晶源可能侵犯ASML知識產(chǎn)權(quán)一事的擔憂。ASML表示，已經(jīng)聯(lián)系了部分客戶要求暫停與XTAL有關(guān)聯(lián)的東方晶源的業(yè)務(wù)往來，并已告知中國政府相關(guān)情況。

但是，ASML并不是直接指控，而是稱“經(jīng)相關(guān)報道了解到”。因此，東方晶源也直接回應(yīng)稱，

但對于ASML援引的媒體的指控，東方晶源回應(yīng)稱，“關(guān)注到近期在網(wǎng)絡(luò)媒體上出現(xiàn)大量與我司有關(guān)、且與事實不符的報道。對于相關(guān)不實信息，我司將保留追究其法律責任的權(quán)利。”

截至目前，ASML公司也并未發(fā)起所謂的“法律行動”。

快速發(fā)展中的東方晶源

對于俞宗強來說，XTAL的麻煩并沒有減緩東方晶源的崛起。 

根據(jù)資料顯示，東方晶源在2014年成立之后，就確立了以電子束圖像檢測、關(guān)鍵尺寸量測和計算光刻技術(shù)為主攻方向。

2015年，東方晶源與中國科學院微電子研究所簽署了一份研究協(xié)議，該研究所是政府的半導體研究中心。東方晶源與該研究所成立了一家芯片技術(shù)開發(fā)合資企業(yè)。自那以后，東方晶源多次獲得官方授予的榮譽和贊譽。

東方晶源還在2019年被授予了一項范圍廣泛的專利，其中包括OPC軟件。

2021年上半年，東方晶源的CD-SEM成功出機國內(nèi)晶圓代工龍頭企業(yè)，市場地位進一步夯實；02國家重大專項、工業(yè)強基等項目順利推進；成功被評定為第三批國家級專精特新“小巨人”企業(yè)。

此外，在客戶的支持下，東方晶源還一舉拿下多個重要訂單，東方晶源三款核心產(chǎn)品均已在客戶產(chǎn)線驗證并實現(xiàn)訂單，三款產(chǎn)品也因此填補國內(nèi)空白，為中國集成電路制造國產(chǎn)化做出重要貢獻。

2021年9月，東方晶源宣布完成新一輪數(shù)億元股權(quán)融資。該輪融資由賽領(lǐng)資本、深創(chuàng)投領(lǐng)投，眾多知名投資機構(gòu)聯(lián)合投資。

截止目前，東方晶源成功自主研發(fā)了計算光刻軟件（OPC）、納米級電子束檢測裝備（EBI）和關(guān)鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）三款核心產(chǎn)品，填補了多項國內(nèi)市場空白，已經(jīng)成為解決我國集成電路領(lǐng)域“卡脖子”問題的重要力量，對全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控具有重要的戰(zhàn)略價值和意義。

彭博社的報道還提及，在2020年出版的一本《中國科技企業(yè)家訪談錄》當中，俞宗強被描寫為中國半導體發(fā)展的“旗手”。他告訴作者，他最大的夢想之一是幫助中國創(chuàng)建自己的OPC軟件，并“打破外國壟斷”。

對于彭博社的最新報道，ASML 拒絕發(fā)表評論，東方晶源也拒絕發(fā)表評論。

編輯：芯智訊-浪客劍