截止2022年3月31日,大基金二期共宣布投資38家公司,累計(jì)協(xié)議出資790億元;其中投資晶圓制造約594億元,占比75%;投資集成電路設(shè)計(jì)工具、芯片設(shè)計(jì)約81億元,占比10%;投資封裝測(cè)試約21億元,占比2.6%;投資裝備、零部件、材料約75億元,占比10%;應(yīng)用約19億元,占比2.4%。
大基金二期共投資了12家上市公司,總計(jì)投資124億元,沒有一家持股占比超過5%;投資上市公司的參股子公司14家,共計(jì)投資384億元。
大基金二期投資的公司有5家正在IPO路上,思特威已經(jīng)注冊(cè)生效,即將發(fā)行上市;佰維存儲(chǔ)科創(chuàng)板已經(jīng)受理;慧智微、中船派瑞、東科半導(dǎo)體正在上市輔導(dǎo)。
38家公司涉及集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈,包括集成電路設(shè)計(jì)工具、芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封測(cè)、裝備、零部件、材料、應(yīng)用。
大基金二期重點(diǎn)關(guān)注的設(shè)備包括刻蝕機(jī)、薄膜設(shè)備、測(cè)試設(shè)備、清洗設(shè)備等,材料方面則涵蓋大硅片、光刻膠、掩膜板、電子特氣等。
大基金二期創(chuàng)下投資多個(gè)第一:第一家零部件公司鐠芯電子、第一家光掩模公司新銳光掩模、第一家光刻膠供應(yīng)商南大材料、第一家電子特氣供應(yīng)商中船派瑞、第一家CIS公司思特威、第一家MES軟件商上揚(yáng)軟件。
近年日漸嚴(yán)峻的國(guó)際形勢(shì)推動(dòng)著社會(huì)各界重視設(shè)備材料領(lǐng)域,大基金二期通過不斷完善半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,以期未來集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)大發(fā)展。
一、晶圓制造
1、長(zhǎng)江存儲(chǔ)二期
助力長(zhǎng)江存儲(chǔ)二期實(shí)現(xiàn)128層3D NAND產(chǎn)能的擴(kuò)充。
大基金二期在入股中芯國(guó)際的同時(shí),還投資了中芯國(guó)際旗下的中芯南方、中芯京城、中芯深圳、中芯東方等四大公司。
一方面支持中芯南方在FinFET工藝方面的擴(kuò)產(chǎn),同時(shí)大力支持中芯京城、中芯深圳、中芯東方的28納米及以上工藝節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)能擴(kuò)充。
3、睿力集成
助力睿力集成旗下長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)DRAM產(chǎn)品的產(chǎn)能擴(kuò)充,長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)在2021年實(shí)現(xiàn)營(yíng)收較2020年實(shí)現(xiàn)5倍增長(zhǎng)。
4、潤(rùn)西微
助力12英寸功率器件生產(chǎn)線的建設(shè),為華潤(rùn)微轉(zhuǎn)型IDM進(jìn)行加速。
5、士蘭集科
助力士蘭集科12英寸產(chǎn)能擴(kuò)充,新增月產(chǎn)20,000片12英寸高壓集成電路和功率器件芯片產(chǎn)能,快速提升士蘭微在國(guó)際的競(jìng)爭(zhēng)力。
6、富芯半導(dǎo)體
助力矽力杰加速IDM轉(zhuǎn)型,成為我國(guó)高性能模擬芯片生產(chǎn)基地;預(yù)計(jì)2023年第二季度量產(chǎn),2025年底達(dá)產(chǎn)。
7、上揚(yáng)軟件
在4/5/6/8英寸晶圓制造生產(chǎn)線獲得30多家客戶支持。
目前在12英寸晶圓制造生產(chǎn)線也獲得5家客戶訂單。
為國(guó)產(chǎn)晶圓制造生產(chǎn)線提供保障。
二、芯片設(shè)計(jì)
1、紫光展銳
助力紫光展銳成為全球主要的手機(jī)AP、5G通信芯片、泛連接芯片供應(yīng)商。
2、艾派克
助力艾派克研發(fā)打印機(jī)芯片、通用微控制器、低功耗藍(lán)牙芯片及工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)SoC-eSE大安全芯片。
3、思特威
助力思特威全球重要的CIS芯片供應(yīng)商。目前思特威連續(xù)多年在安防CIS產(chǎn)品領(lǐng)域全球市場(chǎng)占有率上保持領(lǐng)先。
4、慧智微
助力慧智微成為RF前端芯片主力供應(yīng)商。
慧智微采用全新的“可重構(gòu)”的架構(gòu)、SOI(絕緣硅)+ GaAs(砷化鎵)的方式,規(guī)避國(guó)際大廠的專利。
5、智芯微
智芯微電子是國(guó)家電網(wǎng)“國(guó)網(wǎng)芯”產(chǎn)業(yè)發(fā)展的使命擔(dān)當(dāng)者,實(shí)現(xiàn)電網(wǎng)核心芯片安全自主可控,保障電網(wǎng)安全和企業(yè)網(wǎng)絡(luò)信息安全乃至國(guó)家安全。
6、合見工業(yè)
出資參與EDA公司的融資。
為芯片設(shè)計(jì)公司護(hù)航。
同時(shí)大基金二期參與了格科微、燦勤科技、東芯股份、翱捷科技的戰(zhàn)略配售,并在上市輔導(dǎo)期間入股東科半導(dǎo)體。
三、封測(cè)
1、華天科技
在大基金一期從華天科技子公司華天西安,大基金二期入股上市公司,將失去華天科技的產(chǎn)能擴(kuò)充。
2、沛頓存儲(chǔ)
沛頓存儲(chǔ)一期項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后,預(yù)計(jì)可形成每月10萬片動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)晶圓封裝測(cè)試和2萬片閃存晶圓的存儲(chǔ)封裝產(chǎn)能,以及每月246萬條/月內(nèi)存模組產(chǎn)能。
間接助力長(zhǎng)江存儲(chǔ)和長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)。
四、裝備、零部件、材料
1、鐠芯電子
鐠芯電子科技有限公司持有Compart公司73.11%的股權(quán)
Compart公司是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備所需的零部件供應(yīng)商,也是全球極少數(shù)可完成流量控制領(lǐng)域零組件精密加工全部環(huán)節(jié)的公司之一,產(chǎn)品主要包括氣體輸送零部件、組件、密封件、氣棒總成、質(zhì)量流量控制器(MFC)等,是集成電路行業(yè)中高端MFC組件的領(lǐng)先者。
2、新銳光掩模
聚焦于28-14nm先進(jìn)半導(dǎo)體光掩模的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。
3、南大材料
具備了研制功能單體、功能樹脂、光敏劑等光刻膠材料的能力,實(shí)現(xiàn)從光刻膠原材料到光刻膠產(chǎn)品及配套材料的全部自主化。
建成年產(chǎn)25噸的ArF光刻膠(包含干式及浸沒式)生產(chǎn)線,可以達(dá)到90nm-14nm的集成電路工藝節(jié)點(diǎn)。目前50nm閃存用產(chǎn)品、55nm邏輯用產(chǎn)品通過驗(yàn)證。
4、中船派瑞
主要產(chǎn)品包括三氟化氮、六氟化鎢WF6、高純電子氣體(高純氮?dú)釴5/N6,高純氦氣,六氟乙烷C2F6,八氟丙烷C3F8,八氟環(huán)丁烷C4F8,氯化氫HCl,氟化氫HF,四氟化硅SiF4及10種混合氣體)。
5、興福電子
興福電子提供超高純電子化學(xué)品,包括IC級(jí)化學(xué)品涵蓋電子級(jí)磷酸、硫酸、氫氟酸、雙氧水、蝕刻液。2021年年產(chǎn)3萬噸電子級(jí)磷酸、2萬噸電子級(jí)硫酸、3萬噸電子級(jí)蝕刻液。
目前IC級(jí)硫酸、電子級(jí)雙氧水產(chǎn)品正在擴(kuò)產(chǎn)。
6、深南電路
參與了深南電路的封裝載板增發(fā)項(xiàng)目。
大基金二期還參與北方華創(chuàng)、中微公司、滬硅產(chǎn)業(yè)的增發(fā);并參與投資上市公司旗下長(zhǎng)川智能、至微半導(dǎo)體的項(xiàng)目。
五、應(yīng)用
大基金二期參與佰維存儲(chǔ)的增資,參與中國(guó)電信、國(guó)移動(dòng)的戰(zhàn)略配售。