精測(cè)電子：向中芯國(guó)際出售半導(dǎo)體設(shè)備，包括國(guó)內(nèi)唯一Review SEM設(shè)備

7月13日，精測(cè)電子接受機(jī)構(gòu)調(diào)研，據(jù)機(jī)構(gòu)問(wèn)道：“簡(jiǎn)單介紹下上海 精測(cè)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司在2021年7月13日設(shè)備出機(jī)的相關(guān)情況？”

對(duì)此，據(jù)精測(cè)電子回復(fù)表示，本次出機(jī)兩款產(chǎn)品為獨(dú)立式光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備（OCD）及電子束缺陷復(fù)查設(shè)備（Review-SEM），客戶為中芯國(guó)際。OCD設(shè)備除具有全自動(dòng)光學(xué)膜厚測(cè)量能力外，還可以進(jìn)行顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側(cè)壁角度（SWA）、高度/深度等關(guān)鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測(cè)量，具有高速、準(zhǔn)確和非破壞性等特點(diǎn)，是半導(dǎo)體前道檢測(cè)的關(guān)鍵設(shè)備之一；Review-SEM 是先進(jìn)的全自動(dòng)晶圓在線電子束缺陷復(fù)查和分類設(shè)備，對(duì)光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備的結(jié)果進(jìn)行高辨率復(fù)查、分析和分類。

上海精測(cè)主要聚焦半導(dǎo)體前道檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，致力于半導(dǎo)體前道量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)及生產(chǎn)，現(xiàn)已形成了膜厚/OCD 量測(cè)設(shè)備、電子束量測(cè)設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備三大產(chǎn)品系列。上海精測(cè)膜厚產(chǎn)品（含獨(dú)立式膜厚設(shè)備）已取得國(guó)內(nèi)一線客戶的批量重復(fù)訂單、OCD 量測(cè)設(shè)備已取得訂單并已實(shí)現(xiàn)交付，半導(dǎo)體電子束檢測(cè)設(shè)備 eViewTM全自動(dòng)晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備已正式交付國(guó)內(nèi)客戶。其余儲(chǔ)備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認(rèn)證以及拓展的過(guò)程中。

據(jù)上海精測(cè)公眾號(hào)表示，12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測(cè)量機(jī)臺(tái)(OCD)是該類型的國(guó)內(nèi)首臺(tái)機(jī)臺(tái)，主要用于45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測(cè)，并可以延伸支持上述先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的快速線寬測(cè)量。EPROFILE 300FD測(cè)量系統(tǒng)擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，包括寬譜全穆勒橢偏測(cè)頭、對(duì)焦對(duì)位系統(tǒng)、系統(tǒng)軟件等核心零部件均為自主研發(fā)，是真正意義上的高端國(guó)產(chǎn)化機(jī)臺(tái)。

配套EPROFILE 300FD, 上海精測(cè)還同時(shí)發(fā)布了新一代電磁場(chǎng)仿真建模工具J_ProfilerTM V3.0;該款軟件允許用戶在數(shù)百核的高速建模運(yùn)算服務(wù)器上進(jìn)行OCD建模與庫(kù)匹配，可以在獲取復(fù)雜三維納米結(jié)構(gòu)光譜變化信息后，實(shí)時(shí)高速的對(duì)于納米結(jié)構(gòu)的各個(gè)維度精確值進(jìn)行計(jì)算。

而12寸全自動(dòng)電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（Review SEM）是上海精測(cè)半導(dǎo)體的另一項(xiàng)主力產(chǎn)品。公司從底層開發(fā)做起，掃描電子顯微鏡、配套掃描成像電路等關(guān)鍵核心部件均為自主設(shè)計(jì)，自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，并用了近兩年的時(shí)間打通了電子顯微鏡核心零部件加工的國(guó)產(chǎn)化供應(yīng)鏈。

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