與非網 10 月 16 日訊,由于日韓兩國之間的貿易糾紛,日本政府于 7 月 4 日加強氟化氫、光阻劑和氟化聚醯亞胺對南韓的出口管制,促使南韓業(yè)者積極尋求減少對日本技術的依賴。
盡管日本之后批準了部分氣態(tài)氟化氫的出口,但液態(tài)氟化氫出口還尚無例外。此前 9 月 2 日有報道稱,LGD 已完成對韓國生產的氟化氫的測試,8 日該公司證實,未來將實現 100%韓國國產原料生產替代。?
不過,LGD 相關人士最近表示,在面板生產中使用的液態(tài)氟化氫,已于最近全部轉換為 (韓國) 國產品。這也意味著 LGD 旗下面板工廠已經完成使用國產氟化氫材料取代日本進口,100%韓國產。
高純度的電子級氟化氫是氟精細化學品的一種,在半導體制造工藝中主要用于去除膜沉積后粘附在化學氣相沉積爐內的不必要化學物質、等離子刻蝕、光刻膠圖案化之后的蝕刻細槽或孔等流程,是一種半導體生產中非常重要的原材料,日本公司在這個領域占據主要份額。
與 LG 相比,三星、SK 海力士也在積極展開日本材料的替換工作,不過這兩家的主力產品是半導體芯片,對日產氟化氫以及另外兩種材料光刻膠、氟化聚酰亞胺的依賴性比 LG 更高,替換起來沒這么容易。
三星旗下面板事業(yè)三星顯示也曾預計在 9 月完成國產高純氟化氫的測試,并很可能在最終測試完成后,立即用于量產面板。
在此之前,三星顯示使用的氟化氫來自日本和南韓企業(yè),但在日本祭出制裁前,該公司已持續(xù)進行氟化氫的國產化試驗。根據三星顯示之前的測試結果,測試中還未發(fā)現任何關鍵問題,本地產品很可能在最終測試后立即用于批量生產。
另外,SK 海力士也將韓國產的氟化氫引入生產過程進行測試。