建一家Fab新廠，需要哪些機臺設備？

知識星球的伙伴提出了題目的問題。一家Fab廠的設備種類與數(shù)量與該廠的產能，工藝節(jié)點，產品類型，自動化程度等有關，那么我們今天就來詳細介紹下常規(guī)的所需機臺。設備我這里將其分為工藝設備，檢測與量測設備和廠務設備。

工藝設備：包括濕法，干法，光刻。濕法包括：晶圓電鍍機，清洗機，濕法刻蝕機，cmp，濕法去膠機，甩干機等

干法設備

鍍膜：蒸發(fā)鍍膜機（Evaporation），濺射機（Sputtering），脈沖激光沉積（PLD）等，等離子體增強CVD（PECVD）,低壓CVD（LPCVD）,金屬有機CVD（MOCVD）,MPCVD，Laser CVD，APCVD，HT-CVD，UHV CVD等干法刻蝕：離子束刻蝕（IBE），ICP-RIE,CCP-RIE,ECR-RIE,DRIE，干法去膠機等。外延機臺離子注入機臺

退火：爐管退火設備，快速熱退火設備，激光退火設備，等離子體退火設備擴散：爐管設備

光刻設備：光刻機，勻膠機，顯影機等

檢測與量測設備

光學顯微鏡，掃描電子顯微鏡（SEM），原子力顯微鏡（AFM），橢圓偏振儀，Probe，AOI，XRD，F(xiàn)IB，XPS，SIMS，TEM，四探針等等。

廠務設備

過濾系統(tǒng)：高效微?？諝?a class="article-link" target="_blank" href="/baike/1571093.html">過濾器（HEPA）和超高效微?？諝膺^濾器（ULPA），溫濕度控制系統(tǒng)：除濕機，加濕器，冷水機組，熱交換器，冷卻塔等氣體供應系統(tǒng)：空壓機，制氮機等廢氣處理系統(tǒng)：干/濕式洗滌塔，燃燒塔，催化塔水處理系統(tǒng)：高純水機及廢水處理系統(tǒng)消防系統(tǒng)：自動滅火系統(tǒng)，煙霧探測器和報警系統(tǒng)晶圓搬運系統(tǒng)：OHT，AGV，RGV等

存儲系統(tǒng)：Stockers，Buffers等

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