粵芯之后，大灣區(qū)將迎來這些12英寸晶圓廠！

近日，粵芯半導(dǎo)體完成數(shù)億元B輪戰(zhàn)略融資，其背后的政府產(chǎn)業(yè)基金投資陣容再度讓業(yè)界見識到大灣區(qū)補足造芯短板的決心。

在外界的印象中，大灣區(qū)的集成電路產(chǎn)業(yè)遠不如長三角地區(qū)。這不僅因為從產(chǎn)業(yè)規(guī)模上，長三角地區(qū)占據(jù)了全國近半壁江山，還因為在產(chǎn)業(yè)鏈完整程度上，長三角擁有最完整的芯片產(chǎn)業(yè)鏈，而大灣區(qū)的集成電路產(chǎn)業(yè)布局極其不均衡——芯片設(shè)計見長，而芯片制造和設(shè)備、材料方面的短板明顯。

不過，粵芯半導(dǎo)體的突圍已經(jīng)率先打響了大灣區(qū)追趕的第一槍，并且這種產(chǎn)業(yè)失衡的局面有望在未來幾年被打破，據(jù)芯師爺梳理，未來幾年，大灣區(qū)至少將迎來三座更高規(guī)格的12英寸晶圓廠?？梢哉f，大灣區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的明天，值得期待。

大灣區(qū)在建/籌備中的12英寸晶圓廠

粵芯半導(dǎo)體12英寸晶圓廠

2019年9月廣州粵芯半導(dǎo)體一期月產(chǎn)4萬片12英寸晶圓生產(chǎn)線實現(xiàn)量產(chǎn)。作為大灣區(qū)首個并且是目前唯一進入12 英寸芯片量產(chǎn)的晶圓制造廠，粵芯半導(dǎo)體的發(fā)展速度驚人，僅僅用了18個月就實現(xiàn)從無到有到量產(chǎn)的突破，完成了廠房建設(shè)、設(shè)備調(diào)試、投片、工藝平臺開發(fā)、可靠性驗證、爬坡量產(chǎn)等整套流程。

據(jù)悉，粵芯半導(dǎo)體項目計劃分為三期進行，計劃總投資約370億元，一、二期主要技術(shù)節(jié)點為180-55nm制程，三期技術(shù)節(jié)點為180-90nm制程。

目前粵芯半導(dǎo)體一期、二期項目已先后量產(chǎn)，三期項目則于今年8月中旬正式啟動建設(shè)，總投資162.5億元，將新建產(chǎn)能4萬片/月的12英寸集成電路模擬特色工藝生產(chǎn)線，力爭在2024年建成投產(chǎn)，預(yù)計到2025年粵芯半導(dǎo)體將實現(xiàn)月產(chǎn)能12萬片。

按照規(guī)劃，三期項目規(guī)劃打造工業(yè)級和車規(guī)級模擬特色工藝平臺，主要應(yīng)用于電力電子、服務(wù)器/5G基站及汽車電子的功率器件芯片、信號鏈芯片、電源管理芯片、微控制器芯片及圖像傳感器等多種產(chǎn)品。

中芯國際12英寸晶圓廠

據(jù)廣東省發(fā)展改革委公布的《廣東省2022年重點建設(shè)項目計劃表》，中芯國際將在深圳建設(shè)一條月產(chǎn)能為4萬片/月的12英寸集成電路生產(chǎn)線，總投資153億元，聚焦28納米及以上工藝節(jié)點的生產(chǎn)，產(chǎn)線建設(shè)起止年限為2021-2025。其中，2022年計劃投資30億人民幣，投資建設(shè)內(nèi)容包括土建和設(shè)備安裝。

另外根據(jù)深圳市坪山區(qū)投資推廣服務(wù)署去年發(fā)布的公告，中芯國際12英寸晶圓代工生產(chǎn)線主要規(guī)劃進行55nm高壓大屏驅(qū)動，0.15μm電源驅(qū)動以及40/28nm高壓大屏驅(qū)動芯片的量產(chǎn)生產(chǎn)，以顯示驅(qū)動、圖像傳感以及電源管理產(chǎn)品為切入口，預(yù)留其他類型產(chǎn)品兼容性。

華潤微電子12英寸晶圓廠

華潤微電子深圳12英寸集成電路生產(chǎn)線選址深圳市寶安區(qū)，并于今年10月底正式開工建設(shè)。

據(jù)公開報道，該項目一期總投資220億元，聚焦40納米以上模擬特色工藝，項目建成后將形成年產(chǎn)48萬片12英寸功率芯片的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品主要應(yīng)用于汽車電子、新能源、工業(yè)控制、消費電子等領(lǐng)域。

華潤微電子是華潤集團旗下在國內(nèi)最早布局特色工藝平臺技術(shù)研發(fā)的綜合性半導(dǎo)體企業(yè)。2022年1月，華潤微電子在深圳寶安區(qū)設(shè)立集高端制造運營、投資孵化、科研創(chuàng)新、銷售一體化等職能為主的華潤微南方總部暨全球創(chuàng)新中心，并開始啟動12英寸特色工藝集成電路生產(chǎn)線項目。

增芯科技12英寸晶圓廠

據(jù)廣州市發(fā)展和改革委員會公布的《廣州市2022年重點建設(shè)項目計劃》，廣州增芯科技有限公司將打造12英寸先進MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線，總投資370億，預(yù)期一期第一階段達產(chǎn)后產(chǎn)能2萬片/月；一期第二階段達產(chǎn)后產(chǎn)能擴至6萬片/月。

據(jù)廣州增芯科技有限公司官方平臺介紹，其致力于建設(shè)國內(nèi)第一家專業(yè)定制化 12英寸智能傳感器芯片制造企業(yè)，產(chǎn)品主要以力學(xué)、聲學(xué)、微流控、生物等傳感器件及配套 ASIC 芯片為主，著力面向粵港澳大灣區(qū)這一全球傳感器最大的應(yīng)用市場，快速構(gòu)建傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，助力大灣區(qū)成為全球傳感器產(chǎn)業(yè)中心的核心支撐和引領(lǐng)平臺。

大灣區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)的進擊之路

雖然大灣區(qū)發(fā)力晶圓制造較晚，但是決心與行動都不容置疑，尤其近兩年動作頻頻。

資金方面，由國家發(fā)展改革委主管的中國經(jīng)濟改革研究基金會聯(lián)合中央企業(yè)、科技龍頭企業(yè)、地方政府共同發(fā)起的粵港澳大灣區(qū)科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)投資基金于2021年11月正式成立，基金總規(guī)模1000億元，首期規(guī)模200億元，重點投向粵港澳大灣區(qū)科技創(chuàng)新關(guān)鍵領(lǐng)域，其中就包括集成電路領(lǐng)域。

政策端，2020年9月，廣東省工業(yè)和信息化廳發(fā)布了《廣東省培育半導(dǎo)體及集成電路戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2021—2025年）》（《以下簡稱“計劃”》）。

《計劃》在直面廣東芯片制造環(huán)節(jié)短板明顯，實現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)的12英寸晶圓線匱乏等問題的基礎(chǔ)上，提出要大力支持技術(shù)先進的IDM（設(shè)計、制造及封測一體化）企業(yè)和晶圓代工企業(yè)布局研發(fā)、生產(chǎn)和運營中心的規(guī)劃，此外，《計劃》還提及要重點推動12英寸晶圓線及8英寸硅基氮化鎵晶圓線等項目建設(shè)的重點工程構(gòu)想。

值得注意的是，《計劃》中特別指出，廣東集成電路產(chǎn)業(yè)要走差異化的發(fā)展道路，本著錯位發(fā)展的原則，重點在特色工藝制程和已有一定基礎(chǔ)的功率器件、第三代半導(dǎo)體方面發(fā)力......重點發(fā)展模擬芯片、功率器件和第三代半導(dǎo)體器件等。這也與上述幾家即將落地的12英寸晶圓制造廠的產(chǎn)線方向相互呼應(yīng)。

此外，大灣區(qū)各城市也陸續(xù)出臺了相關(guān)鼓勵政策。比如今年6月，廣州南沙發(fā)布了《廣州南沙新區(qū)（自貿(mào)片區(qū)）促進半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展扶持辦法》，從重大項目落戶、企業(yè)融資、完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈、補貼企業(yè)生產(chǎn)型用電等九個方面對集成電路產(chǎn)業(yè)進行扶持。

幾乎同一時間，深圳發(fā)布了《深圳市培育發(fā)展半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2022—2025年）》，其中提到，到2025年，產(chǎn)業(yè)營收突破2500億元，形成3家以上營收超過100億元和一批營收超過10億元的設(shè)計企業(yè)，引進和培育3家營收超20億元的制造企業(yè)，集成電路產(chǎn)業(yè)能級明顯提升，產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)更加合理。此外，佛山、東莞等城市也在日前發(fā)布了2022-2025年半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展行動方案，引導(dǎo)、鼓勵集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

誠然，集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展并不是一蹴而就的事情，人才培育、技術(shù)積累、產(chǎn)業(yè)氛圍都需要久久為功。不過，從大灣區(qū)奮力追趕的勢頭來看，集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展第三極的崛起，應(yīng)該不會是太遙遠的事情。