隨著MOSFET柵極長(zhǎng)度的減小,熱載流子誘發(fā)的退化已成為重要的可靠性問(wèn)題之一。在熱載流子效應(yīng)中,載流子被通道電場(chǎng)加速并被困在氧化物中。這些被捕獲的電荷會(huì)引起測(cè)量器件參數(shù)的時(shí)間相關(guān)位移,例如閾值電壓?(VTH)、跨導(dǎo) (GM)以及線(xiàn)性 (IDLIN) 和飽和 (IDSAT) 漏極電流。隨著時(shí)間的推移,可能會(huì)發(fā)生實(shí)質(zhì)性的器件參數(shù)退化,從而導(dǎo)致器件失效。用于測(cè)量HCI的儀器必須提供以下三個(gè)關(guān)鍵功能: 自