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硅基材料

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以硅材料為基礎(chǔ)發(fā)展起來(lái)的新型材料。包括絕緣層上的硅材料、鍺硅材料、多孔硅、微晶硅以及以硅為基底異質(zhì)外延其他化合物半導(dǎo)體材料等。

以硅材料為基礎(chǔ)發(fā)展起來(lái)的新型材料。包括絕緣層上的硅材料、鍺硅材料、多孔硅、微晶硅以及以硅為基底異質(zhì)外延其他化合物半導(dǎo)體材料等。收起

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