微型壓力傳感器是一種應(yīng)用廣泛的傳感器,主要用于測量微小的壓力變化,具有測量靈敏度高、響應(yīng)時效短等特點。其工作原理是利用微機電系統(tǒng)技術(shù)制造微型壓阻式傳感器,在加壓情況下,導(dǎo)體受到外部力的作用發(fā)生形變,導(dǎo)致電阻值發(fā)生變化,從而實現(xiàn)對壓力的測量。在國內(nèi),知名的微型壓力傳感器廠家有邁瑞醫(yī)療、海斯華、安川電機等。
1.微型壓力傳感器工作原理
微型壓力傳感器是一種利用微機電系統(tǒng)技術(shù)制造出來的壓阻式傳感器,涉及材料科學(xué)、微電子技術(shù)、計算機科學(xué)和自動控制技術(shù)等多個領(lǐng)域。 其主要組成部分包括:微硅片、電阻層、電子導(dǎo)線和薄膜層。微硅片支撐著整個傳感器的結(jié)構(gòu),電阻層是基于芯片表面形成的一層薄膜,電子導(dǎo)線將電荷從電阻層傳遞到芯片的外部。
當(dāng)微型壓力傳感器受到外部壓力作用時,導(dǎo)體中的自由電子會被迫移動,在物理上這相當(dāng)于一個電子密度的變化。微型壓力傳感器將就會產(chǎn)生電阻值的變化,通過與電源串聯(lián)后給出的非常小的電壓信號,即可計算出被測量的壓力值。
2.微型壓力傳感器廠家排名
在中國大陸市場上,邁瑞醫(yī)療是知名的微型壓力傳感器廠家之一,公司以自主創(chuàng)新為核心,在牢固國內(nèi)目標(biāo)市場的同時,致力于拓展海外市場。另外,海斯華也是很有實力的微型壓力傳感器供應(yīng)商之一,其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車制造、智能儀表等工業(yè)領(lǐng)域。日本和德國則是微型壓力傳感器領(lǐng)域相對成熟的國家,其相關(guān)企業(yè)有安川電機、海洋計量等,這些企業(yè)在技術(shù)和制造工藝上較為先進。