1.什么叫磁控濺射
磁控濺射是一種利用在真空室中加速離子并讓它們撞擊靶材以產(chǎn)生涂層的技術(shù)。通過施加恒定的磁場,利用磁控管或網(wǎng)格,可以將離子聚焦到極小的區(qū)域內(nèi),并且調(diào)節(jié)離子軌跡以達(dá)到想要的涂層效果。
2.磁控濺射的工作原理
在磁控濺射過程中,先將待涂覆物置于真空室內(nèi),減少其表面吸附的氧化物和水等雜質(zhì),然后向真空室注入某種稀有氣體(如氬氣)。隨后,在真空室內(nèi)通過電極產(chǎn)生低壓放電,將氬氣離子化并加速,最終撞擊靶材形成涂層。
3.磁控濺射的優(yōu)點(diǎn)
與傳統(tǒng)的涂層技術(shù)相比,磁控濺射具有以下優(yōu)點(diǎn):
- 可以在較低的溫度下操作,不會對涂覆物造成損傷;
- 可以選擇不同的靶材和稀有氣體以獲得不同的涂層效果;
- 涂層密實(shí)、致密,附著力強(qiáng),且具有良好的耐腐蝕性能;
- 可以在復(fù)雜形狀的產(chǎn)品表面進(jìn)行涂層,而傳統(tǒng)噴涂技術(shù)則很難實(shí)現(xiàn)。
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