日前,安徽承禹半導(dǎo)體材料科技有限公司(簡稱“承禹新材”)獲得中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所關(guān)于第三代前沿半導(dǎo)體材料碲鋅鎘單晶棒及晶片的檢測檢驗(yàn)報(bào)告。其結(jié)論和數(shù)據(jù)顯示,承禹新材制造的碲鋅鎘單晶棒及晶片,在紅外透過率等綜合參數(shù)性能、產(chǎn)品良率、晶棒及晶片尺寸規(guī)格、尤其是3英寸的全單晶圓片等幾項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)方面,均處于國內(nèi)同行業(yè)中遙遙領(lǐng)先、名列前茅的位階,部分指標(biāo)追平甚至領(lǐng)先國際技術(shù)水平。
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承禹新材碲鋅鎘單晶棒及晶片檢測檢驗(yàn)報(bào)告部分圖譜(說明:以上圖片版權(quán)歸承禹新材所有,侵權(quán)必究)
中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是中國國務(wù)院直屬事業(yè)單位,是集半導(dǎo)體物理、材料、器件及其應(yīng)用于一體的半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的綜合性研究機(jī)構(gòu),在國內(nèi)具有很高的權(quán)威性,被稱為“引領(lǐng)我國半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)發(fā)展的火車頭”。
“承禹新材此次順利獲得中科院半導(dǎo)所的產(chǎn)品檢測報(bào)告,既彰顯出該公司在碲鋅鎘半導(dǎo)體材料制備技術(shù)方面具有雄厚的實(shí)力,也可以看出該公司未來巨大的發(fā)展?jié)摿Α!币晃毁Y深業(yè)內(nèi)人士表示。
碲鋅鎘,英文名稱cadmium zinc telluride,簡寫為CZT。自然界中并不現(xiàn)存有該物質(zhì),它是人工用碲、鋅及鎘三種單質(zhì)(包含其它微量添加物質(zhì))化合生長而成單晶體,是屬于第三代前沿戰(zhàn)略性的半導(dǎo)體材料,是當(dāng)前國際國內(nèi)制造室溫中紅外探測、X射線探測、γ射線探測、核輻射及高能射線等探測器最為先進(jìn)、優(yōu)異的材料。
碲鋅鎘半導(dǎo)體材料在軍事用途上,主要是大幅提升武備的紅外探測性能及其成像清晰度,而當(dāng)前國際上武備九成以上均是以紅外探測方式搜尋和發(fā)現(xiàn)目標(biāo)的。在民用領(lǐng)域,未來主要應(yīng)用于核醫(yī)療、放射源檢測、無破損檢測、核輻射探測、探溫探源檢測及夜視等領(lǐng)域、行業(yè)的設(shè)備、儀器的制造。其核心作用與意義在于更新迭代前述行業(yè)的設(shè)備、儀器的工藝、功能及性能,提升產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu),助力國內(nèi)這些行業(yè)同代等差參與國際競爭。更主要的是,碲鋅鎘半導(dǎo)體材料及器件可以提高核醫(yī)療、核輻射劑量、安檢等設(shè)備儀器(如CT機(jī)、X光機(jī)、安檢儀器等)功能與性能,降低放射源劑量,廣泛惠及民眾的醫(yī)療水平及健康。
正因該材料在軍事及民用領(lǐng)域具有上諸多述革新、顛覆性的功能與性能,國際上少數(shù)幾個(gè)能生產(chǎn)制造的先進(jìn)國家都將其列為戰(zhàn)略性、管制性的產(chǎn)品,對(duì)我國進(jìn)行技術(shù)與產(chǎn)品的雙封鎖。
“而位于安徽省蚌埠市的承禹新材生產(chǎn)的綜合質(zhì)量參數(shù)優(yōu)良、高良率、大尺寸的碲鋅鎘單晶棒及其晶片(包括全單晶圓片,這是屬于首創(chuàng)性的高難度技術(shù)工藝,必將改變未來相關(guān)產(chǎn)業(yè)工藝),必將有力打破這種掣肘,實(shí)現(xiàn)國內(nèi)供給,助推國內(nèi)諸多相關(guān)行業(yè)設(shè)備、產(chǎn)品的更新升級(jí),其意義重大、前景廣闊,是國人創(chuàng)新與研發(fā)能力的一個(gè)有力例證。”半導(dǎo)體領(lǐng)域一權(quán)威人士說道。
歷史性落地蚌埠,創(chuàng)造新高度新速度新水平
據(jù)了解,2021年,蚌埠市水利局領(lǐng)導(dǎo)及蚌埠水利建設(shè)投資有限公司高層在對(duì)該項(xiàng)目經(jīng)過多輪科學(xué)、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)那笞C、考查之后,果斷決策、高效執(zhí)行,最終力促碲鋅鎘單晶半導(dǎo)體材料項(xiàng)目花落珠城蚌埠。2021年8月,蚌埠水利建設(shè)投資有限公司與合肥達(dá)識(shí)新材料技術(shù)開發(fā)有限公司共同合作投資成立安徽承禹半導(dǎo)體新材料科技有限公司。該公司現(xiàn)已成為國內(nèi)首批進(jìn)行純企業(yè)化、大規(guī)模化量產(chǎn)碲鋅鎘半導(dǎo)體材料的領(lǐng)跑者。
承禹新材碲鋅鎘單晶棒產(chǎn)品(技術(shù)工藝源于合肥達(dá)識(shí)公司)
承禹新材有關(guān)負(fù)責(zé)人表示,公司計(jì)劃兩年內(nèi)投資4億元,建設(shè)具有國際先進(jìn)水平與規(guī)模的碲鋅鎘半導(dǎo)體單晶材料、晶片及其衍生應(yīng)用系列產(chǎn)品的完整生產(chǎn)線。核心產(chǎn)品包括碲鋅鎘單晶棒、晶片、芯片及各類探測器模塊化部件的產(chǎn)品。其中,3英寸、4英寸的晶片規(guī)劃年產(chǎn)量4萬片以上,年產(chǎn)值20億元以上;芯片、探測器部件等系列衍生產(chǎn)品投產(chǎn)后,保守估計(jì)年總產(chǎn)值預(yù)計(jì)在30億元以上。
承禹新材一期一階段碲鋅鎘半導(dǎo)體材料項(xiàng)目從2021年月簽約落地,至同年12月7日首批產(chǎn)品出爐出產(chǎn),僅歷時(shí)100天。2021年12月31日,公司斬獲國內(nèi)兩大不同的重點(diǎn)裝備科研單位的訂單。2022年1月26獲得國家權(quán)威機(jī)構(gòu)檢測檢驗(yàn)的報(bào)告。至此,總共歷時(shí)150多天。如此成果和效效率,在業(yè)內(nèi)可謂鳳毛麟角,生動(dòng)體現(xiàn)了“承禹水平”和“承禹速度”。
目前,承禹新材正在籌建兩級(jí)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室,計(jì)劃兩年內(nèi)通過省級(jí)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室的驗(yàn)收,力爭三年內(nèi)通過國家級(jí)實(shí)驗(yàn)室標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定和冠名。未來2年內(nèi),該公司還計(jì)劃建設(shè)碲鋅鎘單晶芯片和探測器部件生產(chǎn)線。
產(chǎn)品性能優(yōu)勢突出,廣泛應(yīng)用于軍民兩域
業(yè)內(nèi)人士表示,承禹新材生產(chǎn)的碲鋅鎘單晶材料及晶片是制造室溫X射線、γ射線、核輻射等探測器最為優(yōu)異、先進(jìn)的半導(dǎo)體材料,它具有噪聲低、暗電流低、熱穩(wěn)定性好、電阻率高、探測射線能量分辨率較高、帶隙寬且可調(diào)、靈敏度高、計(jì)數(shù)率高、能量響應(yīng)率高等諸多突出優(yōu)點(diǎn)。其中,民用領(lǐng)域主要應(yīng)用于核醫(yī)療、放射性安檢、夜視、紅外探測、核輻射探測、災(zāi)難搜救、探溫探源、空間天文研究等設(shè)備、儀器上,軍用領(lǐng)域可應(yīng)用于導(dǎo)彈、衛(wèi)星、戰(zhàn)機(jī)、雷達(dá)、艦船、坦克、步兵戰(zhàn)車、單兵作戰(zhàn)等各類武器裝備紅外探測器及成像的材料。
承禹新材碲鋅鎘單晶圓片(3英寸)照片(說明:圖片版權(quán)所有,侵權(quán)必究)
在目前使用的CT機(jī)、X光機(jī)等醫(yī)學(xué)檢查中,以閃爍體探測器為核心部件的傳統(tǒng)醫(yī)療成像設(shè)備,相比碲鋅鎘單晶材料做襯底的核醫(yī)療設(shè)備,在成像清晰度、掃描層隔精度、放射元素輻射量、成像時(shí)間等性能指標(biāo)上差距甚大。而在應(yīng)用碲鋅鎘單晶材料制造的X光機(jī)、CT機(jī)等各類核醫(yī)療探測、成像設(shè)備的核心部件中,不僅可實(shí)現(xiàn)從間接成像轉(zhuǎn)向直接成像,而且掃描層隔更精微,成像更清晰,放射性元素劑量可以降低到原來閃爍體探測器劑量的三分之一,檢測時(shí)間可以縮短為原來四、五分之一左右,同時(shí)還可以延展醫(yī)療檢測的群體和適應(yīng)癥范圍。
當(dāng)前,碲鋅鎘單晶體作為第三代半導(dǎo)體前沿材料正在以其優(yōu)異、強(qiáng)大的性能及功能,不斷提升國內(nèi)武備的紅外探測能力和裝備數(shù)量,推動(dòng)國內(nèi)核醫(yī)療設(shè)備、安檢儀器、夜視設(shè)備及諸多無破損檢測設(shè)備的產(chǎn)業(yè)升級(jí)。未來,碲鋅鎘晶體材料及器件在核科學(xué)、空間科學(xué)、材料科學(xué)和生物醫(yī)學(xué)科等領(lǐng)域的應(yīng)用將會(huì)越來越廣。
承禹新材碲鋅鎘單晶方片(說明:圖片版權(quán)所有,侵權(quán)必究)
據(jù)悉,就在2021年12月28日,工業(yè)和信息化部、國家衛(wèi)生健康委、國家發(fā)展改革委等10部門聯(lián)合發(fā)布了《“十四五”醫(yī)療裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》(以下簡稱《規(guī)劃》)。這是國家層面推動(dòng)醫(yī)療裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的首個(gè)規(guī)劃?!兑?guī)劃》將高分辨率X射線光子計(jì)數(shù)探測器列入產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)攻關(guān)行動(dòng)的攻關(guān)關(guān)鍵零部件范疇,同時(shí)強(qiáng)調(diào)要突破多能譜X射線CT、移動(dòng)磁共振成像系統(tǒng)、光子能譜CT、高性能單光子發(fā)射計(jì)算機(jī)斷層掃描(SPECT)系統(tǒng)、三維智能數(shù)字化X射線攝影系統(tǒng)(DR)等影像診斷裝備。而碲鋅鎘晶體探測器正是這些設(shè)備進(jìn)行創(chuàng)新升級(jí)的關(guān)鍵支撐,它的諸多性能優(yōu)勢,對(duì)踐行《規(guī)劃》而言,正是重要的“加分項(xiàng)”,可持續(xù)為醫(yī)療裝備的發(fā)展賦能發(fā)力。
十余年艱辛方磨利劍,今朝出鞘初試鋒芒
涓流無聲,匯聚成江海。承禹新材從開建到投產(chǎn)運(yùn)營,再到產(chǎn)品通過檢測驗(yàn)證,歷時(shí)不足半年。該公司能取得如此令人矚目的業(yè)績并非憑空而就,而是蚌埠水利建設(shè)投資有限公司與合肥達(dá)識(shí)新材料技術(shù)開發(fā)公司(簡稱“合肥達(dá)識(shí)”)雙方積極作為、成人立己、資源互益、精誠合作的結(jié)果,“珠落玉盤”,“娶對(duì)媳婦嫁對(duì)郎”是對(duì)雙方攜手合作的生動(dòng)寫照。
“蚌埠水利建設(shè)投資有限公司是國有政策性投資公司,具有政策及資金方面的資源優(yōu)勢。合肥達(dá)識(shí)則擁有國內(nèi)領(lǐng)先的技術(shù)工藝以及先進(jìn)的經(jīng)營管理水平和優(yōu)秀的市場運(yùn)營能力。雙方真誠攜手,相得益彰,優(yōu)勢互補(bǔ),前景可期。”蚌埠水利建設(shè)投資有限公司冉凡榮董事長如是說。
合肥達(dá)識(shí)新材料技術(shù)開發(fā)有限公司雖是2021年8月份在安徽合肥成立,但其強(qiáng)大的技術(shù)底蘊(yùn)、運(yùn)營能力及團(tuán)隊(duì)資源則發(fā)軔于北京。公司擁有卓爾不群、天賦異稟、志同道合的技術(shù)團(tuán)隊(duì)和運(yùn)營團(tuán)隊(duì)。其核心技術(shù)人員由新材料(化合半導(dǎo)體方向)權(quán)威研究專家學(xué)者、資深技術(shù)專家、研究員、工藝師等組成,在半導(dǎo)體領(lǐng)域建樹和造詣?lì)H深。他們將十幾年來研究的理論成果,以及經(jīng)過艱辛曲折、難計(jì)其數(shù)的試驗(yàn)和驗(yàn)證才掌握到手的第二、第三代化合半導(dǎo)體材料的先進(jìn)生產(chǎn)技術(shù)與工藝,進(jìn)行了深度歸類和有機(jī)整合,逐步有序注入合肥達(dá)識(shí)公司,并進(jìn)行推廣應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)化合作。
該公司目前已擁有以碲鋅鎘單晶為代表的多項(xiàng)先進(jìn)、成熟的第二代、第三代半導(dǎo)體和其它化合材料及芯片的生產(chǎn)制造技術(shù)與工藝,并且具有專利權(quán)、使用權(quán)、受托轉(zhuǎn)讓權(quán)和合作經(jīng)營權(quán)。公司研發(fā)的化合材料包括碲鋅鎘、碳化硅、透明高阻薄膜、銻化鎵、氮化鎵、氟化鋇、氟化鈣、砷化鎵、寶石級(jí)金剛石等。目前,公司已獲得多項(xiàng)相應(yīng)非專利專有技術(shù)和專利技術(shù)。
合肥達(dá)識(shí)公司技術(shù)負(fù)責(zé)人告訴記者,公司雄厚的實(shí)力體現(xiàn)在既擁有打破國外封鎖的先進(jìn)技術(shù),更擁有人有我優(yōu)的產(chǎn)品工藝。合肥達(dá)識(shí)公司所有掌握的碲鋅鎘單晶體材料技術(shù)在同行業(yè)處于先進(jìn)水平,某些指標(biāo)甚至追平或領(lǐng)先國際水平。公司掌握的碳化硅和透明高阻薄膜技術(shù)工藝等則屬于升級(jí)類別,不僅在產(chǎn)品性能質(zhì)量、參數(shù)指標(biāo)等方面顯著領(lǐng)先,而且生產(chǎn)成本也成倍降低。
自勉前行更實(shí)干,襄助蚌埠高質(zhì)量發(fā)展
行遠(yuǎn)自邇,登高自卑。蚌埠市水利局荀異然局長表示,承禹新材今天雖取得不錯(cuò)的業(yè)績,但與國際同行業(yè)相比,在企業(yè)底蘊(yùn)、技術(shù)寬度等方面,依然存在一定的差距。公司需要一如既往地保持低調(diào)、實(shí)干的作風(fēng),繼續(xù)加大技術(shù)投入,同時(shí)加快研發(fā)碲鋅鎘材料的衍生產(chǎn)品,提高企業(yè)的管理水平,爭取獲得更大的成績,為蚌埠市材料產(chǎn)業(yè)乃至國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出實(shí)實(shí)在在的貢獻(xiàn)。
承禹新材碲鋅鎘單晶材料及晶片項(xiàng)目,不僅符合蚌埠市委市政府最新對(duì)蚌埠市產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的決策與規(guī)劃,更是為蚌埠增添了一個(gè)具有國際技術(shù)水平、中國戰(zhàn)略性材料研發(fā)與生產(chǎn)的企業(yè),對(duì)擴(kuò)大蚌埠“材料之都”的高度與影響力具有重要的意義。按照蚌埠市水利局、水投公司的規(guī)劃,在一兩年內(nèi),以承禹新材碲鋅鎘材料及其衍生產(chǎn)品為中心,深化與合肥達(dá)識(shí)公司的戰(zhàn)略合作,逐一落地碳化硅和高阻薄膜等項(xiàng)目,吸引和聚集這幾個(gè)高新材料的上下游的企業(yè),并展開戰(zhàn)略合作。這必將以蚌埠為區(qū)域形成半導(dǎo)體等高新材料產(chǎn)業(yè)群和產(chǎn)業(yè)鏈,對(duì)蚌埠市材料產(chǎn)業(yè)的升級(jí)提質(zhì)、招商引資和上下游產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展起到“聚光”作用。
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