Advanced Energy 的4100T光纖溫度計可確保先進(jìn)半導(dǎo)體工藝的溫度更準(zhǔn)確以及更容易控制工藝流程

Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力于開發(fā)各種先進(jìn)的高精度電源轉(zhuǎn)換、測量和控制系統(tǒng)等解決方案，這方面的技術(shù)更一直領(lǐng)先全球。該公司宣布推出一款名為Sekidenko 4100T 的高溫計。這款4100T光纖溫度計采用即插即用的設(shè)計，只要輕輕一插便可取代 Advanced Energy 一直領(lǐng)先市場的OR4000T，而且4100T的溫度測量準(zhǔn)確度特別高，溫度范圍也較寬廣，加上內(nèi)置的多條通道可同時進(jìn)行讀取，讓讀取速度可以提升至最高水平，因此極適用于先進(jìn)半導(dǎo)體和相關(guān)的薄膜應(yīng)用。

Advanced Energy 關(guān)鍵檢測技術(shù)及控制系統(tǒng)市場營銷及應(yīng)用副總裁 Jeff Hebb 表示：「Advanced Energy 的高溫計性能卓越，技術(shù)領(lǐng)先同業(yè)，一直獲多家頂尖的半導(dǎo)體OEM大廠采用。這款4100T高溫計的許多功能都比原先一直領(lǐng)先同業(yè)的 Advanced Energy OR4000T 有進(jìn)一步的改善，新功能也很多，讓我們的客戶可將工藝控制能力和生產(chǎn)力提升至無與倫比的高水平。功能齊備的4100T是一款可輕易取代OR4000T的替代品，讓我們現(xiàn)有的客戶可以輕易為系統(tǒng)換代更新。此外，這款高溫計也可支持EtherCAT、串行和USB通信接口?！?/p>

由于使用4100T的用戶可以同時測量多達(dá)4個不同位置的溫度，因此執(zhí)行多點控制功能所不能缺少的控制箱可以進(jìn)一步減少，這樣有助于縮小方案大小，也可節(jié)省系統(tǒng)成本。此外，每一通道的讀取速度可以高達(dá)1kHz，因此熱反應(yīng)會更快，讓溫度可以更易受控，并確保先進(jìn)應(yīng)用的溫度更加一致，相關(guān)的應(yīng)用包括快速熱處理、激光退火、原子層沉積以及其他先進(jìn)的沉積技術(shù)。

這款多通道的光纖溫度計可按照特殊應(yīng)用發(fā)射可配置波長，因此其準(zhǔn)確度、可重復(fù)性和可靠性都特別高，而且讀取速度也較快，適用于要求極為嚴(yán)格的溫度測量工作。傳統(tǒng)的熱電偶和其他接觸式的傳感器測量方法有時并不十分適用，例如直接接觸會令晶圓受損，也會產(chǎn)生污垢或因為受到熱轉(zhuǎn)移效應(yīng)的影響以致出現(xiàn)測量誤差。4100T光纖溫度計可以無需接觸相關(guān)物體而直接在現(xiàn)場測量溫度，準(zhǔn)確度在 ±1.5°C 之內(nèi)。此外，4100T光纖溫度計不但沒有因直接接觸而可能產(chǎn)生的問題，而且對于某些應(yīng)用來說，例如，正在移動中的晶圓或正以極高溫或較高變溫速率(ramp rate)研磨處理中的晶圓，4100T是個理想的解決方案。