中國首條12英寸先進傳感器研發(fā)中試線成功通線

與非網(wǎng)7月1日訊 由國家智能傳感器創(chuàng)新中心（簡稱“創(chuàng)新中心”）建設(shè)的國內(nèi)首條12英寸先進傳感器中試線成功通線。該中試線以國產(chǎn)設(shè)備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術(shù)的核心工藝能力，同時為國產(chǎn)裝備提供驗證平臺，加速先進傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化，實現(xiàn)自主可控。

面向新興技術(shù)發(fā)展和市場應(yīng)用需求，創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點突破光學、聲學、力學、生物等先進傳感器的核心工藝，并推動相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化。

12英寸中試線位于上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園內(nèi)，產(chǎn)業(yè)園以智能傳感器為核心，以創(chuàng)新平臺和龍頭企業(yè)為支撐，伴有精準的政策助力，發(fā)展傳感器特色工藝，積極培育和引進領(lǐng)先的智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈領(lǐng)軍企業(yè)，促進產(chǎn)業(yè)集聚和協(xié)同發(fā)展，力爭將上海嘉定打造成國內(nèi)傳感器領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)高地。

國家智能傳感器創(chuàng)新中心致力于先進傳感器技術(shù)創(chuàng)新，以關(guān)鍵共性技術(shù)的研發(fā)和中試為目標，聯(lián)合中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟1000+ 家產(chǎn)業(yè)鏈各領(lǐng)域的代表企業(yè)開展共性技術(shù)研發(fā)，形成“產(chǎn)、學、研、用”協(xié)同創(chuàng)新機制，加速我國先進傳感器及其相關(guān)應(yīng)用的核心技術(shù)發(fā)展，推動智能傳感、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能的生態(tài)體系建設(shè)。

資料顯示，國家智能傳感器創(chuàng)新中心，在工業(yè)和信息化部的指導(dǎo)下，于2018年6月成立，致力于先進傳感器技術(shù)創(chuàng)新，以關(guān)鍵共性技術(shù)的研發(fā)和中試為目標，聯(lián)合傳感器上下游及產(chǎn)業(yè)鏈龍頭企業(yè)開展共性技術(shù)研發(fā)，專注傳感器設(shè)計集成技術(shù)、先進制造及封測工藝，布局傳感器新材料、新工藝、新器件和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用方案等領(lǐng)域，形成“產(chǎn) 學 研 用”協(xié)同創(chuàng)新機制，打造世界級智能傳感器創(chuàng)新中心。依托中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟已有近1000家產(chǎn)業(yè)鏈各領(lǐng)域的代表企業(yè)，發(fā)揮產(chǎn)學研資源優(yōu)勢，加速我國物聯(lián)網(wǎng)核心技術(shù)的發(fā)展，推動智能傳感、大數(shù)據(jù)、人工智能的生態(tài)體系建設(shè)。