新冠時(shí)期的愛情：噪聲測(cè)試黃金系統(tǒng)牽手AI

日前，中國(guó) EDA 領(lǐng)軍企業(yè)概倫電子科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱為“概倫電子”）宣布旗下兩款業(yè)界領(lǐng)先的半導(dǎo)體器件測(cè)試產(chǎn)品，業(yè)界低頻噪聲測(cè)試黃金系統(tǒng) 9812DX 和源自前博達(dá)微團(tuán)隊(duì)的 AI 驅(qū)動(dòng)的一體化參數(shù)測(cè)試系統(tǒng) FS-Pro 完成重要產(chǎn)品升級(jí)，兩個(gè)產(chǎn)品不但功能更加完整，性能也都有大幅提升。這也是在概倫電子去年底完成對(duì)博達(dá)微收購(gòu)后由整合團(tuán)隊(duì)第一次發(fā)布聯(lián)合研發(fā)技術(shù)成果，是算法與多年前沿領(lǐng)先工程經(jīng)驗(yàn)融合的結(jié)晶。

9812 系列自推出以來一直被所有世界領(lǐng)先的半導(dǎo)體代工廠、頂尖的 IDM 公司和無(wú)晶圓集成電路設(shè)計(jì)公司作為標(biāo)準(zhǔn)噪聲測(cè)試系統(tǒng)所采用，也是國(guó)內(nèi)各大半導(dǎo)體廠商的標(biāo)配。特別是最新推出的 9812DX，針對(duì) 14/10/7/5nm 及以下工藝節(jié)點(diǎn)的開發(fā)和日益復(fù)雜化的高端芯片設(shè)計(jì)的需求，可以用單一系統(tǒng)滿足不同工藝種類、器件類型和不同測(cè)試條件下的測(cè)試要求，實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)最高精度下的最高測(cè)試帶寬并大幅提升了測(cè)試速度。

在這次產(chǎn)品升級(jí)中，9812DX 無(wú)縫集成了 FS-Pro 團(tuán)隊(duì)提供的智能供電測(cè)試單元（SMU），提供了從直流參數(shù)到噪聲特性的完整測(cè)量解決方案，用戶不再需要自行配置昂貴的 SMU，而且內(nèi)建的智能 SMU 還把噪聲測(cè)試速度提升了近一倍。不僅對(duì)新用戶，所有 9812 的老用戶都可以選擇升級(jí)進(jìn)行測(cè)試速度的提升。

對(duì)此，從事 9812 噪聲產(chǎn)品開發(fā)多年的技術(shù)總監(jiān)張冀昭先生評(píng)價(jià)說：“跟傳統(tǒng)的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀相比，F(xiàn)S-Pro 的特點(diǎn)是小、快、靈。新冠疫情期間我們克服了很多困難，9812 和 FSPro 團(tuán)隊(duì)緊密協(xié)作進(jìn)行了大量的工程實(shí)驗(yàn)和軟硬件調(diào)試，現(xiàn)在 9812 系統(tǒng)及 NoiseProPlus 軟件可以無(wú)縫調(diào)用 FS-Pro 作為內(nèi)建 SMU，使整體測(cè)試速度提升 2~5 倍！”?

圖 1 低頻噪聲測(cè)試系統(tǒng) – 9812DX

FS-Pro 系列半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)是業(yè)界首創(chuàng)的基于人工智能算法驅(qū)動(dòng)的 IV, CV，1/f 噪聲一體化測(cè)試解決方案，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體典型器件、LED 材料、二維器件、金屬材料、新型先進(jìn)材料與器件的測(cè)試。FS-Pro 可支持上百個(gè)通道， 在通用性、可拓展性和測(cè)試速度等方面有顯著優(yōu)勢(shì)。FS-Pro 目前已經(jīng)被多家全球領(lǐng)先的設(shè)計(jì)公司、半導(dǎo)體代工廠、IDM，以及數(shù)十所大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)所采用。在這次產(chǎn)品升級(jí)中，受益于 9812 團(tuán)隊(duì)在低頻噪聲測(cè)量上多年的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，特別是在先進(jìn)工藝中的獨(dú)到技術(shù)，F(xiàn)S-Pro 低頻噪聲測(cè)試能力得到了質(zhì)的飛躍，在其標(biāo)稱頻率范圍內(nèi)與 9812 系列進(jìn)行了全面的校準(zhǔn)和比對(duì)，通過本次升級(jí)，F(xiàn)S-Pro 可以一站式解決幾乎所有低頻下半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試需求。對(duì)此，概倫電子首席科學(xué)家和 FS-Pro 產(chǎn)品負(fù)責(zé)人李淼先生表示，F(xiàn)S-Pro 的定位是提供以算法為競(jìng)爭(zhēng)力的快速和一體化半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試解決方案，我們的優(yōu)勢(shì)是算法，在依托先驗(yàn)經(jīng)驗(yàn)基礎(chǔ)上的預(yù)測(cè)和數(shù)據(jù)恢復(fù)上有著多年的經(jīng)驗(yàn)，加入概倫電子進(jìn)一步提升了我們對(duì)先進(jìn)工藝的先驗(yàn)經(jīng)驗(yàn)，我特別感謝疫情期間劉志宏董事長(zhǎng)在北京親自指導(dǎo)我的團(tuán)隊(duì)，把他 20 多年的測(cè)試經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)毫無(wú)保留地與我和團(tuán)隊(duì)分享，讓我們對(duì)測(cè)試技術(shù)的理解有了質(zhì)的飛躍。

圖 2 多功能半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng) – FS-Pro

此次產(chǎn)品融合升級(jí)恰逢新冠疫情全球肆虐，從春節(jié)至今，概倫電子團(tuán)隊(duì)克服無(wú)法面對(duì)面交流討論，實(shí)驗(yàn)室封閉和供應(yīng)鏈幾乎停頓的巨大困難，把居室當(dāng)實(shí)驗(yàn)室，把網(wǎng)絡(luò)當(dāng)會(huì)議室， 采取廢物再利用等方法，完成了大量的原型開發(fā)和實(shí)測(cè)校準(zhǔn)工作。

概倫電子董事長(zhǎng)劉志宏博士是業(yè)界黃金標(biāo)準(zhǔn)噪聲測(cè)試儀器 9812 系列的開發(fā)者和多項(xiàng)專利技術(shù)的發(fā)明人。對(duì)于此次產(chǎn)品升級(jí)，劉志宏博士評(píng)價(jià)說：“新冠疫情期間概倫測(cè)試團(tuán)隊(duì)的緊密協(xié)作和努力拼搏讓我十分感動(dòng)。我對(duì)團(tuán)隊(duì)的多元化基因和創(chuàng)新潛力十分期待，F(xiàn)S-Pro 豐富了概倫電子的測(cè)試產(chǎn)品線。1/f 噪聲作為非破壞性的測(cè)試表征手段特別適用于新器件和新材料科研，在一臺(tái)全功能的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀內(nèi)集成 1/f 噪聲功能是一個(gè)創(chuàng)舉。FS-Pro 在超低頻的噪音測(cè)試能力和其完整的 IV、CV 表征功能完美地適應(yīng)了科研和工程技術(shù)的需求。我認(rèn)為 FS-Pro 將會(huì)成為大學(xué)和科研院所開展半導(dǎo)體科研的標(biāo)配。9812 系列作為業(yè)界的黃金 1/f 噪聲測(cè)試解決方案已經(jīng)二十多年了，不斷演進(jìn)的工藝和更加嚴(yán)苛的設(shè)計(jì)要求，驅(qū)動(dòng)我們不斷提升測(cè)試精度和速度。通過整合 FS-Pro 的低噪聲 SMU，概倫電子提供了不依賴于第三方的更加完整和高效的一體化噪聲測(cè)試解決方案，未來我們也將繼續(xù)融合 9812 和 FS-Pro 的各自優(yōu)勢(shì)，陸續(xù)推出精度更高、速度更快和功能更強(qiáng)大的噪聲及通用參數(shù)測(cè)試產(chǎn)品，滿足先進(jìn)半導(dǎo)體公司日益增加的測(cè)試精度和速度需求。