JSR 株式會(huì)社近日公布,已經(jīng)完成對(duì) Inpria Corporation (以下簡(jiǎn)稱(chēng)為:“Inpria 公司”)的增資。此次增加的投資將會(huì)成為 Inpria 公司 C 輪融資的一部分,而此次 C 輪融資是 Inpria 公司以推進(jìn) EUV 極紫外光刻的商業(yè)化為目的而募集的。
根據(jù) JSR 官網(wǎng)報(bào)道,Inpria 公司自成立以來(lái),一直致力于研發(fā)含有非化學(xué)放大類(lèi)的極紫外光刻,現(xiàn)在,以錫氧化物為主要成分的光刻膠在學(xué)會(huì)團(tuán)體的 EUV 曝光中已經(jīng)達(dá)到了全球最高性能的極限分辨率。
通過(guò)此次出資,使得 JSR 與 Inpria 公司在多方面進(jìn)行合作,以加快極紫外光刻的商業(yè)實(shí)用化。
Inpria 公司的發(fā)表內(nèi)容如下(2020 年 2 月 20 日公布)
「EUV Photoresist Pioneer Inpria Raises $31 Million in Series C Funding Led by JSR Corporation - Expanded Investor Group Reflects Growing Industry Support-」
【Inpria 公司的概要】
公司名:Inpria Corporation
所在地:美國(guó)俄勒岡州科瓦利斯(Oregon State Corvallis)
公司代表:Andrew Grenville
業(yè)務(wù)內(nèi)容:研發(fā)含有金屬的 EUV Resist(極紫外光刻)
成立時(shí)間: 2007 年