與非網 9 月 2 日訊,盡管日本政府正式將韓國移出了對外貿易白名單,管制對韓國公司出口光刻膠、氟化聚酰亞胺和氟化氫等重要材料,但是日本方面最近也審批了新的對韓出口,光刻膠、氟化氫兩種產品都批準出口了。
高純度的電子級氟化氫是氟精細化學品的一種,在半導體制造工藝中主要用于去除膜沉積后粘附在化學氣相沉積爐內的不必要化學物質、等離子刻蝕、光刻膠圖案化之后的蝕刻細槽或孔等流程,是一種半導體生產中非常重要的原材料,日本公司在這個領域占據(jù)主要份額。
但是日本的制裁使得韓國公司對日本供應鏈產生了警惕,即便可以進口,三星、SK 海力士及 LG 等公司還是會替換日本材料。日前韓國媒體報道稱,LG 旗下的 LG Display 公司已經測試成功了韓國產氟化氫,并開始應用于工業(yè)生產,這比原先預計的時間提早了一個月多。
據(jù)業(yè)內消息人士稱,LG 顯示最近完成了一家韓國公司提供的高純度氟化氫的最終測試,并開始在生產線上使用。根據(jù)測試報告,自制的氟化氫符合產量和成本要求。據(jù)報道,LG 顯示將韓國氟化氫應用于有機發(fā)光二極管(OLED)面板等旗艦面板生產線。
此外,預計三星顯示也將在 9 月內完成韓國高純氟化氫的測試。目前來看,測試中還未發(fā)現(xiàn)任何關鍵問題,本地產品很可能在最終測試后立即用于批量生產。此前,三星顯示使用日本和韓國材料公司的氟化氫。
與使用納米級工藝的半導體生產線不同,顯示板生產不需要純度為 99.9999999999%的超高純度的氟化氫。氟化氫主要用于濕法蝕刻以去除有缺陷的涂層并清潔和去除顯示板表面上的有機物質和氧化物。
從日韓的對立情況來看,兩國的關系不太可能在短時間內修復,日本還會繼續(xù)通過管制措施制裁韓國,但是韓國在重要材料上也決定轉向國產自主,預計在未來 5 年里投入 5 萬億韓元(約合 295 億人民幣)實現(xiàn) 100 多種重要材料及裝備的國產化。
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