在對半導體工藝和良率的極致追求中，特種化學和先進材料公司Entegris的價值越發(fā)凸顯

“現(xiàn)在的大數(shù)據(jù)、人工智能、IoT，其核心都是數(shù)字化，帶來對更高運算力以及更高存儲力的需求。這些都是對芯片的需求，而伴隨芯片工藝發(fā)展的，是工藝材料上發(fā)生了很多變化，早期芯片可能只用到 4、5 種材料，現(xiàn)在發(fā)展到要用到 40 到 50 種材料?！苯赵?SEMICON China 2019 展會期間接受與非網(wǎng)記者采訪時，業(yè)界領先的特種化學及先進材料解決方案公司 Entegris 先進技術合作總監(jiān)陳柏嘉如是說。

這里陳柏嘉提到了工業(yè) 4.0 時代的兩大技術方向，即數(shù)字化轉(zhuǎn)型和材料科學。其中數(shù)字化過程中伴隨處理器算力的提升，以及對存儲容量的需求，需要邊緣節(jié)點運算，整個集成電路的架構也會因此改變。而材料科學方面，不斷研發(fā)出來的新材料包括納米材料等滿足制造業(yè)的需求。

Entegris 先進技術合作總監(jiān)陳柏嘉

前者數(shù)字化轉(zhuǎn)型帶來芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，可視為 Entegris 所服務的市場，這一市場需求的增長意味著 Entegris 的發(fā)展空間；而后者材料科學則是 Entegris 特長和優(yōu)勢所在，是他們的產(chǎn)品和技術方向。

作為 1966 年成立，迄今已經(jīng)有 50 多年歷史的老牌科技企業(yè)，Entegris 在三個領域有深厚的技術積累和明顯的行業(yè)競爭力，包括微污染控制，即氣體跟液體的關鍵材料，CMP 后晶圓清洗，以及先進材料方面。

技術+服務，Entegris 的生意經(jīng)
上面陳柏嘉提到的，芯片制造工藝中材料的多樣性還在不斷增加，而這帶來的一個結(jié)果是在芯片制造過程中，材料的純度控制越來越具挑戰(zhàn)性。

陳柏嘉解釋，這里提到的材料既包括前道工序涉及到的硅、鍺、氮、鎵等芯片制造材料，也包括后道工序中用到的銅、鈷、釕等導電材料。

隨工藝演進到 28nm 以下，傳統(tǒng)摻雜的制造工藝已經(jīng)過時，現(xiàn)在只能通過一層一層的材料生長來實現(xiàn)。先進工藝污染物控制的難度不斷提升，除了先進材料的導入，還需要檢測方法和配方上的配合；而針對成熟工藝，也面臨不斷提升良率、降低成本的挑戰(zhàn)。在陳柏嘉看來，這些都是 Entegris 公司的優(yōu)勢所在?！拔覀冊谛酒圃祛I域投入了很大心力。”

其中，針對先進制程，Entegris 公司最重視的是研發(fā)，包括開發(fā)新的材料、新的方法，“Entegris 公司每年投入到研發(fā)中的經(jīng)費占營收的 8%，在所有技術為主導的公司中也是很高的比例了；另外，我們也積極的跟學校的老師合作，在美國、中國臺灣都有一些大學教授跟我們一起開發(fā)很前端的材料，我們也希望在大陸可以找到一些教授，跟我們一起來開發(fā)，目前我們正在跟復旦大學、華東理工以及同濟大學的微電子系和材料科學系積極溝通，希望以后可以共同合作一些項目，這將是很先進的方向?！?/p>

針對成熟工藝，陳柏嘉強調(diào)，Entegris 公司更關注在如何降低成本方面?！皩ξ覀儊碇v，重點是如何精進我們的制造技術，用比較低的成本去制造出相同質(zhì)量的產(chǎn)品；同時我們也在精進整個產(chǎn)業(yè)鏈的管理，因為我們的原材料，很多都是來自于供應鏈。要找到更適合的來源，并做好純化的動作?！?br /> ? ?
在技術投入之外，客戶服務同樣重要。這里陳柏嘉指出，Entegris 非?？粗胤盏娜蚧?，“我們希望可以更接近客戶，因為在先進制程當中，跟客戶合作是必要的?？蛻粼谀睦?，我們就要到哪里，可以快速得到客戶反饋，了解客戶遇到的挑戰(zhàn)和他們的需求。我們必須要在現(xiàn)場，每天跟他們溝通，然后一起討論解決問題?！?/p>

對此，陳柏嘉特別提到，在中國大陸，為了支援客戶在技術上的需求，Entegris 公司在上海成立一個中國技術中心，這個技術中心覆蓋微污染控制和化學品檢測、配方以及先進材料三個技術方向?！澳康氖菫閰f(xié)助本地的客戶，可以更快的解決他們的問題。我們在中國投注了相當多的資源，希望可以長期耕耘，陪伴整個中國市場一起茁壯?！?/p>

陳柏嘉也坦言，今年存儲市場的低迷，包括更先進工藝的投入產(chǎn)出比變低會對 Entegris 的生意造成一定影響，但長期來看，他仍看好全球市場對芯片產(chǎn)品的需求增長以及將帶給 Entegris 的業(yè)務增長機會，給出樂觀預期。

良率提升下一步，全供應鏈的品質(zhì)控制
在交流中，陳柏嘉多次強調(diào) Entegris 提供整體解決方案和全供應鏈品質(zhì)控制的重要性，“光靠終端用戶不行，必須整個潔凈化學品的供應鏈都重視起來。所謂化學品都要潔凈，要從源頭就開始潔凈，要做好控制，當然我剛剛提到，所謂“微污染”不只有關鍵材料，還要關注金屬，以及有機物部分。這些因素，都會影響到我們最終的良率和品質(zhì)控制。微污染的影響，雖然最主要是在后端，也讓就是 IC 制造這里。但是污染的來源無所不在，因為如今的半導體工藝演進到納米級后，可能對工藝造成污染的粒子尺寸也在縮小，污染物范圍也成指數(shù)級增長。所以光靠最后這一端的 IC 制造來控制是不足的，即使采用凈化器、過濾器，不斷精進技術，仍然沒辦法做到 100%，而考慮到芯片產(chǎn)品動輒數(shù)十萬甚至更高的產(chǎn)能，在數(shù)字上，哪怕 99.9%的良率數(shù)字也意味著，如果生產(chǎn) 100 萬顆芯片，會有一千顆不合格，這在成本和品質(zhì)上是很難接受的。而要實現(xiàn)良率的極致，整個化學品的供應鏈也必須同步精進?！?/p>

而之所以一再強調(diào)，陳柏嘉解釋，終端用戶現(xiàn)在已經(jīng)意識到全供應鏈品質(zhì)控制的重要性，因為發(fā)生過很多案例，只有通過積極的跟他們的供應商合作，要求上游從過濾器、凈化器等方面一起做升級，才能實現(xiàn)最終產(chǎn)品的品質(zhì)控制。而 Entegris 公司現(xiàn)在要做的是幫助教育上游市場，讓更多的化學品供應商和材料、設備供應商能夠加入進來，積極配合做好微污染控制。“強調(diào)整體解決方案，是因為我們看到很多供應鏈上的不足。這中間只要有一環(huán)出現(xiàn)差錯都會出問題，所以我們強調(diào)除了終端用戶，我們必須往上覆蓋到跟整個供應鏈的合作，大家一起參與進來做好品質(zhì)控制?！?/p>

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