Entegris：強(qiáng)化中國布局，以提高良率為己任

“我們的使命是為最先進(jìn)的制造環(huán)境提供材料和解決方案提升良率?！痹?SemiCon China 期間，Entegris 亞太區(qū)全球銷售副總裁李邁北先生在媒體見面會(huì)上如是說。

Entegris 是一家為半導(dǎo)體和其他高科技產(chǎn)業(yè)先進(jìn)制造工藝提供增長材料和解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商，在半導(dǎo)體及其他高科技行業(yè)的污染控制、關(guān)鍵材料處理與先進(jìn)制程材料方面處于市場領(lǐng)先位置。

公司成立于 1966 年，目前在全球擁有 3500 名員工，擁有 643 項(xiàng)美國專利與 1320 項(xiàng)其他國家專利。其解決方案包括凈化過濾產(chǎn)品、流體系統(tǒng)與組建、可氣體輸送系統(tǒng)、特殊化學(xué)品、處理工藝、專業(yè)涂層、優(yōu)質(zhì)石墨與碳化硅等。產(chǎn)品線眾多，與其多年來的并購戰(zhàn)略也是有關(guān)的。

Entegris 的產(chǎn)品組合分為半導(dǎo)體與非半導(dǎo)體兩大部分，半導(dǎo)體部分占總收入的 77%，非半導(dǎo)體部分覆蓋數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、顯示、太陽能、生命科學(xué)等領(lǐng)域。

“我們認(rèn)為摩爾定律會(huì)繼續(xù)下去，半導(dǎo)體制造工藝也將越來越復(fù)雜，而污染可能發(fā)生在晶圓制造過程中的多個(gè)環(huán)節(jié)，進(jìn)而影響良率。良率對(duì)于成本的影響甚大，制程越先進(jìn)這個(gè)問題越明顯，”Entegris 市場營銷副總裁楊文革先生表示：“我們?yōu)檫@些先進(jìn)的高成本效益制造業(yè)提升良率提供材料和解決方案，比如過濾和純化方面的?！痹谡麄€(gè) IC 晶圓制造工藝領(lǐng)域，其產(chǎn)品的覆蓋情況如下。

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據(jù)介紹中國占全球總營收的 10%，Entegris 目前在中國的情況是怎樣的？

Entegris 進(jìn)入中國始于 1992 年，在 2001 年以來，分別在上海、北京、西安設(shè)立辦公地點(diǎn)，并設(shè)有 eVOLV 技術(shù)實(shí)驗(yàn)室。目前，在中國，Entegris 的產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、顯示屏等領(lǐng)域，中芯國際、三安光電、京東方等都是 Entegris 的客戶。在中國占據(jù)市場份額最多的是氣體產(chǎn)品，占據(jù) 80%以上。

在本次媒體見面會(huì)上，Entegris 宣布與福建博純材料有限公司合作生產(chǎn)氣體，借此擴(kuò)展在中國的產(chǎn)能，縮短對(duì)中國客戶的供貨周期。關(guān)于這項(xiàng)合作，Entegris 中國區(qū)總監(jiān)孫軍先生表示：博純材料制造和分銷 Entegris 的特殊化學(xué)品，該協(xié)議旨在滿足中國半導(dǎo)體行業(yè)和平板顯示屏行業(yè)日益增長的需求?！边@無疑是 Entegris 在中國戰(zhàn)略擴(kuò)展的一步，博純未來將采用精確復(fù)制的制造工藝，以匹配現(xiàn)有的 Entegris 工藝和設(shè)備，并在制造工藝中執(zhí)行相同的質(zhì)量管控體系。

?市場營銷副總裁楊文革（左），亞太區(qū)全球銷售副總裁李邁北（中），中國區(qū)總監(jiān)孫軍（右）

于此同時(shí)，Entegris 重點(diǎn)介紹了幾款 Entegris 的產(chǎn)品：

Purasol 凈化器

光刻化學(xué)制造用新型純化平臺(tái)，利用獨(dú)特的定制薄膜可取出溶劑中所有的金屬污染物，在此之前，尚無有效的解決方案可廣泛去除金屬污染，這是業(yè)界首創(chuàng)的。它可將金屬污染物去除至億萬分之一甚至更少。

GateKeeper 氣體純化系統(tǒng)

新的先進(jìn)氣體純化平臺(tái)，采用新的純化介質(zhì)，可在各種流量下提供一流的氣體純度，純化水平世界一流且設(shè)備占用空間更少，系統(tǒng)提供純化器自動(dòng)再生。其作用是可提高半導(dǎo)體和 LED 應(yīng)用的晶圓良率。

SDS 有毒氣體輸送系統(tǒng)

為業(yè)內(nèi)最安全的技術(shù)，用低于大氣壓的壓力儲(chǔ)存及輸送氣體，可確保注入的有毒氣體的安全性，20 年以上無事故報(bào)告。

OLED 需求強(qiáng)勁，但是良率卻成了一大痛點(diǎn)。Entegris 哪些產(chǎn)品可以在幫助 OLED 制造商提高良率？

孫軍先生表示目前 Entegris 正在與一家比較突出的中國 OLED 制造商合作，向其提供氣體純化系統(tǒng)。在提升 OLED 良率方面，Entegris 的氣體過濾器、氣體轉(zhuǎn)換器等產(chǎn)品都可以發(fā)揮作用。

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