華為的麒麟990系列芯片、蘋果手機的A14處理器(5納米工藝)以及M1處理器以及三星的Exynos 9825處理器都是用EUV光刻機生產(chǎn)出來的。
換句話說,7納米以下的芯片,沒有EUV光刻機造不出來!
工藝制程越先進的芯片,光刻機的分辨率越高。而光刻機的分辨率提升原理很簡單,但是工程制造很復雜,原理全靠這個公式:
從1985年到2020年的35年期間,業(yè)界靠減少波長(λ)、減少K1、增加數(shù)值孔徑NA才把光刻機的分辨率提升了2個數(shù)量級,從原來的1000納米提升到幾個納米。
高NA數(shù)值的EUV光刻機內(nèi)部結(jié)構(gòu)長成這樣,很復雜,造價上億美元!可以說是人類歷史上最復雜、最昂貴的機器之一。
一臺EUV光刻機重達28噸,需要波音飛機B747運輸。
芯片國產(chǎn)化第一關(guān),先造光刻機。國產(chǎn)EUV光刻機路還很長,現(xiàn)在還處于從0到1階段。
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