近日,據(jù)朝鮮日報報道,阿斯麥(ASML)將針對1納米以下制程,計劃在2030年推出更先進(jìn)Hyper-NA EUV光刻機(jī)設(shè)備,但可能超過7.24億美元一臺的售價會讓臺積電、三星、英特爾等半導(dǎo)體晶圓代工廠商望而卻步。
約123億美元,臺積電今明兩年訂購60臺EUV
在AI人工智能、汽車電子等產(chǎn)業(yè)的推動下,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐漸向好。
當(dāng)前,臺積電、三星、英特爾等晶圓代工廠商之間的競爭已進(jìn)入先進(jìn)制程賽道,在此過程中,擁有更多先進(jìn)制程所用的EUV極紫外光刻設(shè)備對廠商而言起著至關(guān)重要的作用。
臺積電作為全球最大的晶圓代工廠商,其在搶奪EUV光刻機(jī)方面也顯示出了強(qiáng)大的購買力。據(jù)臺灣地區(qū)媒體報道,2024-2025兩年,臺積電將接受60臺EUV光刻機(jī),預(yù)估總投資額將超新臺幣4000億元(約122.7億美元)。
ASML是全球最大的光刻設(shè)備廠商,其對2025年規(guī)劃的產(chǎn)能目標(biāo)是,90臺EUV極紫外光刻機(jī)、600臺DUV深紫外光刻機(jī)和20臺High-NA EUV高數(shù)值孔徑光刻機(jī)。
晶圓代工廠商頭疼?Hyper-NA EUV售價或超7.24億美元
據(jù)悉,目前EUV光刻機(jī)的售價約為1.81億美元每臺,新一代的High-NA EUV倍增至2.9至3.62億美元一臺,Hyper-NA EUV光刻機(jī)售價則有可能超過7.24億美元。
如此高昂的光刻機(jī)費(fèi)用,對大部分半導(dǎo)體廠商而言無疑是一種負(fù)擔(dān)。例如2023年半導(dǎo)體廠商英特爾代工業(yè)務(wù)虧損70億美元,其中,采用下一代EUV光刻機(jī)而造成成本負(fù)擔(dān)便是原因之一。
此外,臺積電也曾多次表示下一代EUV設(shè)備價格太貴。據(jù)悉,臺積電高級副總裁張曉強(qiáng)今年5月在技術(shù)研討會上評論ASML最新高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)(High-NA EUV)時指出,“這個價格實在太高了?!北M管對光刻機(jī)的性能表示滿意,但其高達(dá)3.5億歐元的售價令人望而卻步。其甚至表示,A16先進(jìn)制程節(jié)點(diǎn)并不一定需要EUV。
不過,進(jìn)入1納米以下的埃米世代后,ASML即將推出的Hyper-NA EUV光刻機(jī)設(shè)備售價可能會讓臺積電等廠商更加“頭疼”。
對此,ASML亦有自己的考量,ASML認(rèn)為,Hyper-NA是未來埃米級制程的必要設(shè)備,其進(jìn)一步指出,許多公司將采用Hyper-NA EUV,以降低多重圖形化制程的風(fēng)險。
至于未來ASML能否降低售價維系合作,亦或是臺積電、三星、英特爾等頂住壓力繼續(xù)高額采購,這場設(shè)備與制造廠商之間的拉鋸戰(zhàn)結(jié)果如何,尚需時間驗證!