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中國(guó)首條12英寸MEMS量產(chǎn)線封頂!經(jīng)濟(jì)第一大省,正在瘋狂發(fā)展傳感器!

2023/09/22
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9月20日,“增芯項(xiàng)目封頂儀式”在增城舉行,這意味著國(guó)內(nèi)首條MEMS 12英寸晶圓量產(chǎn)線的建設(shè)將進(jìn)入下一個(gè)階段。

該項(xiàng)目進(jìn)度如何?什么時(shí)候投產(chǎn)?增芯項(xiàng)目將成為廣東省建設(shè)“集成電路第三極”的突破口?詳情請(qǐng)看下文。

中國(guó)首條MEMS 12英寸量產(chǎn)線封頂,總投資370億,明年6月1日投產(chǎn)!廣東再添第三座智能傳感器產(chǎn)業(yè)園!

據(jù)增芯科技官方公眾號(hào)消息,昨日(9月20日)上午,廣州增城智能傳感器產(chǎn)業(yè)園發(fā)布暨增芯項(xiàng)目封頂活動(dòng)在增城開發(fā)區(qū)增芯產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目園舉行。

增芯項(xiàng)目,全稱為增芯12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目,是目前已知中國(guó)第一條在建的12英寸 MEMS 晶圓量產(chǎn)線。

該項(xiàng)目由廣州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)發(fā)起,增芯項(xiàng)目總投資達(dá)到370億元,打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測(cè)與應(yīng)用為一體的MEMS制造平臺(tái)。目前建設(shè)的為一期項(xiàng)目,批復(fù)投資70億元人民幣,將建設(shè)月加工2萬(wàn)片12英寸的晶圓制造量產(chǎn)線。一期第二階段達(dá)產(chǎn)后產(chǎn)能擴(kuò)至6萬(wàn)片/月。

增芯項(xiàng)目占地面積達(dá)370畝,分兩期建設(shè)。2022年12月,包括主廠房在內(nèi)的一期項(xiàng)目宣布動(dòng)工,到今年9月20日主體結(jié)構(gòu)封頂,用時(shí)僅9個(gè)月零6天。

據(jù)廣州增芯科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱“增芯科技”)總經(jīng)理張亮透露,項(xiàng)目目前已轉(zhuǎn)入機(jī)電安裝階段,計(jì)劃今年12月開始設(shè)備搬入及裝機(jī),預(yù)計(jì)明年2024年6月通線,2025年12月達(dá)成月產(chǎn)能2萬(wàn)片目標(biāo)。

增芯科技是一家致力于建設(shè)國(guó)內(nèi)第一家專業(yè)定制化12英寸智能傳感器芯片制造企業(yè),以力學(xué)、聲學(xué)、微流控、生物等傳感器件及配套 ASIC 芯片為主要產(chǎn)品,主要應(yīng)用于汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)、類工業(yè)、消費(fèi)電子等領(lǐng)域。

此前,增芯項(xiàng)目已與10家MEMS設(shè)計(jì)骨干企業(yè)簽訂合作協(xié)議,共同定制工藝設(shè)備、開發(fā)特色工藝技術(shù),包括但不限于加速度傳感器慣性傳感器、磁傳感器、基因測(cè)試芯片、微流控芯片、硅基麥克風(fēng)芯片等。

據(jù)廣州市工信局對(duì)外公布《廣州市半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動(dòng)計(jì)劃(2022-2024年)》(以下簡(jiǎn)稱《行動(dòng)計(jì)劃》),提出廣州打造“一核兩極多點(diǎn)”的半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)格局。增城作為其中一極,定位為以傳感器為核心的泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展區(qū),重點(diǎn)發(fā)展智能傳感器、半導(dǎo)體封測(cè)、半導(dǎo)體材料與設(shè)備等重點(diǎn)領(lǐng)域。

目前,廣州增城已布局了增芯、越海等一批骨干項(xiàng)目,覆蓋集成電路“四梁八柱”中制造、封測(cè)、裝備、材料和平臺(tái)等關(guān)鍵環(huán)節(jié):落戶項(xiàng)目14個(gè),總投資約1215億元,預(yù)計(jì)年產(chǎn)值約1296億元。

預(yù)計(jì)到2030年,增城將實(shí)現(xiàn)智能傳感器“研發(fā)設(shè)計(jì)-材料裝備-生產(chǎn)制造-封裝測(cè)試-終端應(yīng)用”全產(chǎn)業(yè)鏈條集聚;到2035年,形成千億級(jí)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群,助力廣東打造中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)“第三極”。

越海項(xiàng)目為廣東越海集成高端傳感器8寸/12寸TSV封裝項(xiàng)目,已于2022年9月開工,計(jì)劃建設(shè)晶圓級(jí)封裝生產(chǎn)線、3D傳感器模塊生產(chǎn)線,建成12寸TSV封裝產(chǎn)能每月1.3萬(wàn)片,8寸及兼容4/6寸TSV封裝產(chǎn)能每月2萬(wàn)片,填補(bǔ)了增城、廣州乃至廣東在“晶圓級(jí)先進(jìn)封裝”領(lǐng)域的空白,可服務(wù)于新能源汽車、自動(dòng)駕駛、消費(fèi)電子、安防監(jiān)控、生物醫(yī)療、物聯(lián)網(wǎng)、智能制造等多個(gè)領(lǐng)域。項(xiàng)目計(jì)劃投資總額將超60億元,建成后預(yù)計(jì)年產(chǎn)值超40億元。

此外,值得注意的,在本次活動(dòng)中,廣州增城智能傳感器產(chǎn)業(yè)園正式亮相,這是大灣區(qū)繼廣州黃埔粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園、深圳光明智能傳感與精密儀器先進(jìn)制造業(yè)園區(qū)后,第三個(gè)規(guī)模建設(shè)的傳感器產(chǎn)業(yè)園。

該產(chǎn)業(yè)園規(guī)劃總面積約11700畝,目前已完成供地約6000畝,包括增城開發(fā)區(qū)核心區(qū)、仙村園區(qū)等2個(gè)組團(tuán),與科教城組團(tuán)、翟洞組團(tuán)共同構(gòu)成以智能傳感器制造為核心的“一核兩帶四組團(tuán)”泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展格局,為東部中心現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系提供重要支撐,通過(guò)廣深港澳科技創(chuàng)新走廊向西聯(lián)動(dòng)黃埔,向南聯(lián)動(dòng)深莞,輻射粵港澳大灣區(qū)。

大灣區(qū)四座12英寸晶圓廠,廣東以智能傳感器&模擬芯片為突破口打造半導(dǎo)體第三極

12英寸晶圓是目前全球主流晶圓的最大尺寸,較8英寸晶圓相比,其面積上提升約2.23倍,就單硅片產(chǎn)出來(lái)看,8英寸晶圓產(chǎn)出芯片88塊,而12英寸晶圓產(chǎn)出芯片則達(dá)到232塊。

除增芯項(xiàng)目12英寸MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線外,目前廣東還有另外三座12英寸晶圓廠,分別是:

粵芯半導(dǎo)體,目前粵港澳大灣區(qū)首個(gè)并且是唯一進(jìn)入量產(chǎn)的12 英寸芯片晶圓制造廠,主要為集成電路模擬特色工藝生產(chǎn)線,瞄準(zhǔn)工業(yè)電子和汽車電子領(lǐng)域應(yīng)用,主要生產(chǎn)應(yīng)用于電力電子、服務(wù)器/5G基站及汽車電子的功率器件芯片、信號(hào)鏈芯片、電源管理芯片微控制器芯片及圖像傳感器等多種產(chǎn)品。

華潤(rùn)微電子深圳12英寸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目,于2022年10月開工,建設(shè)主體為潤(rùn)鵬半導(dǎo)體(深圳)有限公司,選址深圳市寶安區(qū)。該項(xiàng)目一期總投資220億元,聚焦40納米以上模擬特色工藝。項(xiàng)目建成后將形成年產(chǎn)48萬(wàn)片12英寸功率芯片的生產(chǎn)能力,產(chǎn)品主要應(yīng)用于汽車電子、新能源、工業(yè)控制、消費(fèi)電子等領(lǐng)域。

中芯國(guó)際12英寸晶圓廠,聚焦28納米以上工藝,應(yīng)用于圖像傳感器、顯示驅(qū)動(dòng)等產(chǎn)品。《廣東省2022年重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目計(jì)劃表》,中芯國(guó)際將在深圳建設(shè)一條月產(chǎn)能為4萬(wàn)片/月的12英寸集成電路生產(chǎn)線,總投資153億元,聚焦28納米及以上工藝節(jié)點(diǎn)的生產(chǎn),應(yīng)用于圖像傳感器、顯示驅(qū)動(dòng)等產(chǎn)品。,產(chǎn)線建設(shè)起止年限為2021-2025。

此外,除廣州增芯項(xiàng)目12英寸MEMS線外,今年深圳也將落地一條8英寸MEMS中試線,相關(guān)信息參看《深圳首條MEMS中試線落地!》。

從這些芯片產(chǎn)線的建設(shè)可以看到,廣東的芯片制造主要集中在MEMS智能傳感器、高端模擬芯片為主的成熟制程,以智能傳感器&模擬芯片為突破口打造“中國(guó)集成電路第三極”。

中國(guó)經(jīng)濟(jì)第一大省是芯片弱???廣州深圳政策頻出,豪擲千億補(bǔ)課!成中國(guó)芯片制造的“兵家必爭(zhēng)之地”,傳感器獲優(yōu)先扶持!

作為我國(guó)經(jīng)濟(jì)第一大省,長(zhǎng)期以來(lái),廣東省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展滯后,遠(yuǎn)不如上海市、江蘇省等兄弟省市。

據(jù)悉是由于錯(cuò)位發(fā)展的需要,廣東大力發(fā)展光電顯示產(chǎn)業(yè),而上海在上世紀(jì)80年代就布局芯片產(chǎn)業(yè),2000年中芯國(guó)際在上海成立,還有華虹半導(dǎo)體這種大晶圓制造廠,重點(diǎn)引入臺(tái)積電的人才,經(jīng)過(guò)20多年的發(fā)展,上海形成了國(guó)內(nèi)整條完整的芯片產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈,上海的半導(dǎo)體發(fā)展有著歷史底蘊(yùn)。

當(dāng)前,廣東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展極不平衡,雖然有大量的芯片設(shè)計(jì)企業(yè),但芯片制造產(chǎn)線寥寥無(wú)幾,據(jù)深圳市半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)長(zhǎng)周生明介紹:

2022年,廣東半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)營(yíng)收為2268.18億元,同比增長(zhǎng)21.2%。設(shè)計(jì)業(yè)一業(yè)獨(dú)大,2022年廣東省集成電路設(shè)計(jì)業(yè)營(yíng)收為1265.12億元,在產(chǎn)業(yè)鏈占比超過(guò)50%;制造業(yè)則弱勢(shì)明顯,營(yíng)收僅為52.63億元,占比僅有2%。

因此,廣東省以廣州、深圳為雙核,出臺(tái)了一系列“強(qiáng)芯”政策。

2022年4月,廣東省工信廳印發(fā)《2022年廣東省數(shù)字經(jīng)濟(jì)工作要點(diǎn)》,要全面實(shí)施“廣東強(qiáng)芯”工程,加快灣區(qū)半導(dǎo)體、廣大融智、智能傳感器三大產(chǎn)業(yè)集團(tuán)建設(shè)。

同年,深圳出臺(tái)政策培育發(fā)展壯大“20+8”產(chǎn)業(yè)集群,前瞻布局8大未來(lái)產(chǎn)業(yè)。包括智能傳感器、精密儀器、新能源、高端醫(yī)療器械等產(chǎn)業(yè)集群。

可以看到,在這些政策中,傳感器產(chǎn)業(yè)獲得的政策支持,均處于前列,都是作為首批獲得資金扶持的產(chǎn)業(yè)。

為什么廣東省會(huì)集中精力發(fā)展傳感器產(chǎn)業(yè)?

芯片分為邏輯運(yùn)算、存儲(chǔ)器和傳感器三大門類,我國(guó)已經(jīng)在上海、北京、武漢、合肥等地建設(shè)了邏輯運(yùn)算和存儲(chǔ)器的主要產(chǎn)業(yè)平臺(tái),而傳感器是萬(wàn)物互聯(lián)的基礎(chǔ)、應(yīng)用廣泛,亟待進(jìn)一步發(fā)展。同時(shí),我國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)羸弱,中高端傳感器80%需要進(jìn)口,傳感器芯片進(jìn)口率達(dá)90%已成共識(shí),國(guó)產(chǎn)傳感器發(fā)展空間較大。

也即是說(shuō),我國(guó)其他地區(qū)的邏輯運(yùn)算、存儲(chǔ)器等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)布局已相對(duì)完善,所以廣東選擇從傳感器產(chǎn)業(yè)切入突破。

廣東是我國(guó)的制造業(yè)大省,擁有廣汽、美的、比亞迪、格力、TCL、華為、邁瑞醫(yī)療、大疆等等眾多巨型制造企業(yè),具有龐大傳感器產(chǎn)品需求,在廣東大力建設(shè)智能傳感器產(chǎn)業(yè)正當(dāng)其時(shí)。

早在2021年3月26日,工信部電子司聯(lián)合廣東省工信廳在廣州市增城區(qū)召開了國(guó)家智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展座談會(huì),會(huì)議對(duì)在大灣區(qū)發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)形成了諸多共識(shí)。

此后,廣東省對(duì)于傳感器產(chǎn)業(yè)的政策支持力度日益加強(qiáng),尤其是廣州市和深圳市這兩大經(jīng)濟(jì)核心,相繼推出鼓勵(lì)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干措施,將傳感器提到前所未有的高度!

此后,今年2月,總規(guī)模2000億元的母基金落地廣州,投資重點(diǎn)為半導(dǎo)體與集成電路、新能源等領(lǐng)域。

6月份,廣東又出臺(tái)重磅文件《關(guān)于高質(zhì)量建設(shè)制造強(qiáng)省的意見(jiàn)》,推動(dòng)半導(dǎo)體及集成電路等產(chǎn)業(yè)發(fā)展,并再次重申“全面建設(shè)中國(guó)集成電路第三極”,推進(jìn)“廣東強(qiáng)芯”工程建設(shè)。

目前,廣東省在建、擬建集成電路重大項(xiàng)目近40個(gè),總投資超5000億元。2022年,廣東半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)營(yíng)收為2268.18億元,同比增長(zhǎng)21.2%。

以智能傳感器、高端模擬和半導(dǎo)體化合物芯片為核心,廣東已成中國(guó)芯片制造“兵家必爭(zhēng)之地”,”中國(guó)集成電路第三極”初見(jiàn)雛形。

結(jié)語(yǔ)

作為中國(guó)經(jīng)濟(jì)最大省份,廣東具有龐大的下游市場(chǎng),長(zhǎng)期以來(lái),中國(guó)集成電路業(yè)內(nèi)流行著一句話:“全球60%的芯片銷往中國(guó),而中國(guó)60%的芯片消耗在珠三角/粵港澳大灣區(qū)?!?/strong>

然而,因?yàn)楫a(chǎn)業(yè)定位、發(fā)展重點(diǎn)等原因,粵港澳大灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在芯片制造方面存在極大短板,許多芯片需要進(jìn)口,在當(dāng)前國(guó)際大環(huán)境之下,這意味著大灣區(qū)“卡鏈”“斷鏈”風(fēng)險(xiǎn)如影隨形,自主替代需求越來(lái)越強(qiáng)烈。

隨著一攬子政策和資金的落地,廣東省將以智能傳感器、模擬芯片等為突破口,帶動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,從而成為中國(guó)半導(dǎo)體第三極。

憑借粵港澳大灣區(qū)龐大的下游需求,以及豐富的人才、資金資源,相信這個(gè)未來(lái)并不遠(yuǎn)!

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