高性能計(jì)算令高密度扇出成為先進(jìn)封裝主戰(zhàn)場

日前有媒體爆出，蘋果正小批量試產(chǎn)采用先進(jìn)封裝3D堆疊技術(shù)的系統(tǒng)整合芯片（SoIC），計(jì)劃采用SoIC搭配集成扇出（InFO）封裝方案，預(yù)計(jì)最快將2025-2026年用在MacBook上。

先進(jìn)封裝是下一代集成電路的關(guān)鍵基礎(chǔ)，涵蓋小芯片（Chiplet）、倒裝（FlipChip）、凸塊（Bumping）、晶圓級封裝（WLCSP，如FOWLP（扇出晶圓級封裝）、扇出型板級封裝（FOPLP）、2.5D封裝（如interposer（中介層）、RDL（重布線層）等）、3D封裝（如TSV（硅通孔））、封裝天線（AiP）等先進(jìn)封裝技術(shù)。

受人工智能（AI）、數(shù)據(jù)中心、自動駕駛汽車、5G等HPC（高性能計(jì)算）和網(wǎng)絡(luò)市場采用超高密度封裝的推動，特別是AI和HPC應(yīng)用的不斷成熟，對數(shù)據(jù)傳輸的需求正繼續(xù)增加，進(jìn)而對半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生了強(qiáng)烈影響，推動了對創(chuàng)新封裝解決方案的需求。

未來，作為先進(jìn)封裝的主戰(zhàn)場，F(xiàn)OWLP的產(chǎn)量仍將主導(dǎo)市場。而作為先進(jìn)封裝一個(gè)重要的分支，扇出型（FO）封裝正在滲透到遠(yuǎn)大于每平方毫米18個(gè)的更高的I/O密度，同時(shí)實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的RDL，將線寬/線距（L/S）尺寸微縮到5μm/5μm以下。其中超高密度扇出（UHDFO）封裝增長最快、高密度扇出（HDFO）和單芯片扇出封裝（Core FO）也是發(fā)展方向。我們來看看，有哪些廠商和技術(shù)將引領(lǐng)FO市場的發(fā)展。

制造商預(yù)測的超高密度扇出收入

九成以上FO市場群雄占據(jù)

Yole Intelligence數(shù)據(jù)顯示，2022年，F(xiàn)O收入為18.6億美元，預(yù)計(jì)到2028年將達(dá)到38億美元，復(fù)合年增長率為12.5%。增長最快的UHDFO復(fù)合年增長速度為30%，將從2022年的3.38億美元增長到2028的16.30億美元。

Yole Intelligence技術(shù)和市場分析師Gabriela Pereira表示，HDFO已經(jīng)是2022年的主要市場，收入為11.94億美元，復(fù)合年增長率為6.7%，2028年將達(dá)到17.57億美元。Core FO的復(fù)合年增長率為2.8%，從2022年的3.29億美元增至2028年的3.89億美元。

2018-2028 Core FO/HDFO/UHDFO封裝收入

他認(rèn)為，F(xiàn)OWLP的產(chǎn)量仍將主導(dǎo)市場，2028年的晶圓產(chǎn)量將達(dá)到2376K片，而FOPLP的300mm晶圓當(dāng)量產(chǎn)量為238K片。FO封裝總量將從2022年的23.48億個(gè)增長到29.6億個(gè)。

臺積電是高端計(jì)算、網(wǎng)絡(luò)和HPC應(yīng)用的高性能FO解決方案的市場領(lǐng)導(dǎo)者，占有76.7%的市場份額。2022年，臺積電與前三大外包半導(dǎo)體組裝和測試（OSAT）公司日月光（ASE）、Amkor和JCET共占據(jù)90%以上的FO市場。為了追趕臺積電，ASE、矽品（SPIL）、三星、JCET、Amkor、PTI、TFME和Nepes都在開發(fā)具有競爭潛力的類似解決方案。盡管Core FO是OSAT的主要市場，但主要發(fā)展方向是HD和UHDFO技術(shù)。

中國OSAT加速滲透FO供應(yīng)鏈

天災(zāi)人禍之下供應(yīng)中斷，芯片制造業(yè)的區(qū)域獨(dú)立正成為一種趨勢。過去的五年里，中國投資先進(jìn)封裝技術(shù)的力度越來越大，許多公司正在進(jìn)入FOWLP或FOPLP業(yè)務(wù)。

由于能夠?qū)崿F(xiàn)無基板（no-substrate）解決方案，在芯片和襯底短缺的情況下，扇出技術(shù)廣受歡迎。小芯片和異構(gòu)集成已經(jīng)成為利用較為成熟的光刻制造節(jié)點(diǎn)的手段。因此，隨著美國對先進(jìn)工藝技術(shù)實(shí)施限制，先進(jìn)封裝已成為中國公司市場競爭的戰(zhàn)略之一。

大多數(shù)中國OSAT投資的重點(diǎn)首先放在了低密度封裝上，這將有助于實(shí)現(xiàn)更快的投資回報(bào)。一些新的中國OSAT正在滲透FO封裝供應(yīng)鏈，如奕成科技、中科智芯和廈門云天、華潤微、易卜半導(dǎo)體、佛智芯等。這些公司為拓展先進(jìn)封裝能力的投資超過了25億美元。

2022中國FO封裝格局

小芯片和異構(gòu)集成推動FO發(fā)展

在HPC、網(wǎng)絡(luò)、汽車和高端移動市場應(yīng)用的推動下，F(xiàn)O封裝已從低端封裝技術(shù)發(fā)展成為高性能集成平臺。該技術(shù)的主要市場趨勢之一是將大型芯片劃分為小芯片并進(jìn)行異構(gòu)集成。FO是一個(gè)經(jīng)濟(jì)高效的平臺，可通過基于RDL的工藝實(shí)現(xiàn)高帶寬和高密度的芯片對芯片（D2D）互連。未來，UHDFO將通過創(chuàng)新的板級扇出型封裝（FOCoS）和FO嵌入式橋接解決方案從硅中介層獲得市場份額。

不過，Yole Intelligence也指出， 雖然FOPLP被稱為廣泛采用FO的解決方案，特別是對于大封裝尺寸，但它仍然存在技術(shù)挑戰(zhàn)，并且缺乏實(shí)現(xiàn)所需成本效益的需求。

適合不同需求和特點(diǎn)的不同應(yīng)用的FO

高性能FO日漸走紅

領(lǐng)先的IC代工廠已經(jīng)在交付7nm和5nm晶圓，3nm產(chǎn)品尚處于認(rèn)證階段。由于高晶體管密度需要更昂貴的工藝來制造，晶圓成本持續(xù)飆升。即使隨著新節(jié)點(diǎn)的出現(xiàn)，缺陷密度可以保持相對平坦，但硅的單位面積成本也會非線性增加，因此，新的封裝技術(shù)已納入了未來產(chǎn)品架構(gòu)當(dāng)中。

• 扇出+橋接

在扇出工藝流程中，近年來FOCoS備受青睞。前不久，日月光推出FOCoS-Bridge大型封裝技術(shù)，將多個(gè)小芯片封裝在一個(gè)基板上，實(shí)現(xiàn)了10顆小芯片高速互聯(lián)。

FOCoS-Bridge是日月光VIPack封裝平臺的一部分，也是2.5D封裝技術(shù)的改良版，可以滿足未來AI和HPC應(yīng)用對更高帶寬、更高速度芯片不斷增長的需求。日月光利用高度集成的扇出結(jié)構(gòu)優(yōu)勢克服了傳統(tǒng)電氣互連的局限性，并實(shí)現(xiàn)處理器、加速器和內(nèi)存模塊之間的高速、低延遲和節(jié)能數(shù)據(jù)通信。

FOCoS-Bridge技術(shù)的實(shí)現(xiàn)是在芯片基板上先放置一個(gè)用于小芯片間互連的獨(dú)立硅芯片，在此基礎(chǔ)上構(gòu)建銅連接層，經(jīng)加工暴露觸點(diǎn)后，將需要互連的小芯片以倒裝方式封裝在基板上實(shí)現(xiàn)互連。這種方式可以將1顆ASIC處理器與4顆高帶寬存儲器（HBM）封裝在一起，組成47×31mm的單元。然后，再將兩個(gè)單元并排封裝在一起，組成一個(gè)大型芯片，實(shí)現(xiàn)包含2顆專用集成電路（ASIC）處理器、4顆HBM及8顆封裝內(nèi)互連小芯片的完整封裝。

所謂FOCoS-Bridge是一種用于實(shí)現(xiàn)小芯片集成的硅橋技術(shù)，利用封裝內(nèi)小芯片之間互連路由層集成微小硅片，如圖形計(jì)算芯片（GPU）和HBM。硅橋嵌入在扇出RDL層中。

FOCoS-Bridge是采用硅中介層的2.5D封裝的替代品。與2.5D一樣，硅橋在封裝中提供超細(xì)間距互連，以解決系統(tǒng)中的內(nèi)存帶寬瓶頸挑戰(zhàn)。與2.5D相比，F(xiàn)OCoS-Bridge的優(yōu)勢在于只在將兩個(gè)小芯片連接在一起的區(qū)域使用硅片。

FOCoS-Bridge的制作工藝是將具有微凸點(diǎn)的待嵌入硅橋芯片連接到載片（wafer carrier）上，然后在上面鍍Cu柱。隨后的第一成型工藝是研磨成型以暴露Cu柱和微凸塊，然后在其上形成RDL層。之后，連接ASIC和HBM芯片，進(jìn)行底部填充和二次成型。移除載片并形成凸塊后，將模制晶圓鋸成單獨(dú)的扇出封裝。最后使用傳統(tǒng)的倒裝芯片工藝將扇出封裝連接到有機(jī)基板上。

FOCoS-Bridge制作工藝

該技術(shù)的好處在于提供了與硅中介層解決方案類似的電氣、信號和功率完整性性能，但成本較低，且沒有掩模版尺寸限制。其設(shè)計(jì)具有高度可擴(kuò)展性，能夠無縫集成到復(fù)雜的芯片架構(gòu)中，同時(shí)提供具有亞微米L/S、高I/O數(shù)和高速信號傳輸的高密度D2D互連，以滿足不斷發(fā)展的AI和HPC需求。

硅橋芯片的使用使芯片邊緣線性密度比傳統(tǒng)的有機(jī)倒裝芯片封裝高一個(gè)數(shù)量級。此外，F(xiàn)OCoS-Bridge為在扇出封裝中嵌入無源和有源芯片奠定了基礎(chǔ)，并提供了去耦電容器集成選項(xiàng)，有助于功率傳輸優(yōu)化，并直接訪問某些功能（如存儲器、I/O等）的有源芯片。

該技術(shù)可以更高效地利用計(jì)算資源，加速數(shù)據(jù)密集型工作負(fù)載，并有助于推進(jìn)AI算法、深度學(xué)習(xí)、科學(xué)模擬和其他計(jì)算要求高的任務(wù)。其應(yīng)用包括AI、數(shù)據(jù)中心、服務(wù)器和網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用的多芯片和HBM集成，以及APU/CPU/GPU的內(nèi)存和無源集成，還有AI、數(shù)據(jù)中心、移動、自動處理器、通信基礎(chǔ)設(shè)施和網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用的小芯片。

矽品的扇出嵌入式橋接（FOEB）技術(shù)創(chuàng)造了一種根據(jù)需要將橋接晶片放置在小芯片或存儲模塊下方，從而提供硅密度的D2D互連的方法。橋接本身嵌入在封裝中，補(bǔ)充了多層扇出金屬化（fan-out metallization）。金屬化提供封裝微縮工藝路線，而通孔通過橋接層提供垂直互連。該技術(shù)與日月光的方法有異曲同工之處。

嵌入式橋接（FOEB）

FOEB的優(yōu)點(diǎn)是采用模塑料橋接技術(shù)，具有高IO/高帶寬、細(xì)線/多層RDL可路由性。其目標(biāo)應(yīng)用同樣是高性能計(jì)算、網(wǎng)絡(luò)和數(shù)據(jù)服務(wù)器的高端應(yīng)用。

• 高密度互連

異構(gòu)封裝一直是業(yè)界想要的答案，但直到最近這種設(shè)計(jì)方法才變得實(shí)用。原本是單個(gè)芯片的系統(tǒng)級芯片（SoC）現(xiàn)在正從同質(zhì)設(shè)計(jì)中分離出來，并在更小的獨(dú)立硅芯片中創(chuàng)建。一個(gè)趨勢是去除與存儲器通信的I/O塊及長距離串行/解串器（SerDes），以創(chuàng)造一個(gè)電氣、功能、物理的構(gòu)建塊，使IC功能塊可以重復(fù)使用。

最新進(jìn)展始于2.5D硅通孔（TSV）產(chǎn)品，在同一IC封裝中與ASIC一起實(shí)現(xiàn)非常高密度的DRAM存儲器或HBM。Amkor的HDFO解決方案就是一種優(yōu)化性能和成本的異構(gòu)IC封裝。

使用小芯片實(shí)現(xiàn)異構(gòu)結(jié)構(gòu)的IC封裝在很大程度上受到小芯片之間通信接口的影響。對許多應(yīng)用來說，要選擇芯片之間IO為100s或1000s的高速并行接口，就需要高密度互連。

Amkor開發(fā)的基板硅晶圓集成扇出（S-SWIFT）或橋接技術(shù)（S-Connect）2.5D TSV的HDFO解決方案，實(shí)現(xiàn)了細(xì)線布線至2μm線寬、2μm間距和6層結(jié)構(gòu)。這種模塊制造技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)小芯片和HBM的集成。S-Connect是HDFO和橋接的組合產(chǎn)品，目前正處于內(nèi)部鑒定階段。

芯片對芯片接口選擇使封裝差異化

S-SWIFT利用Cu細(xì)線光刻和有機(jī)電介質(zhì)實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場制造的高水平信號布線密度。S-Connect很少使用高密度RDL技術(shù)，但增加了高密度橋接，有助于實(shí)現(xiàn)小芯片之間的高密度路由。使用Cu混合鍵合提供的超密集垂直D2D互連的3D芯片堆疊在未來也將優(yōu)化2D集成。

先進(jìn)封裝解決方案

HDFO是頭部公司的一場戰(zhàn)爭

早在2018年，三星電機(jī)（SEMCO）的FOPLP工藝對FO封裝市場產(chǎn)生了積極影響。三星在其智能手表中采用HDFOPLP是一個(gè)關(guān)鍵的里程碑。目前，HDFO基本上只由蘋果的應(yīng)用處理器引擎（APE）驅(qū)動，該引擎使用臺積電的inFO_PoP制造。另一方面，三星正在其豪華和高端智能手機(jī)中實(shí)現(xiàn)HDFOPLP的商業(yè)化。因此，到2025年，三星將創(chuàng)造21%的HDFO市場份額。問題在于，三星能否在盡可能短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)成本降低。

AMD發(fā)布的GPU小芯片設(shè)計(jì)新專利提出了一種新設(shè)計(jì)方案，——將一個(gè)大型單片GPU拆分為幾個(gè)小芯片，并使用FO技術(shù)連接不同的芯片，但在基板上方添加一個(gè)小硅橋來連接兩個(gè)芯片，AMD稱其為高架扇出橋2.5D。

高架扇出橋2.5D

蘋果工作站M1 ultra則使用了臺積電的扇出技術(shù)。M1 Ultra芯片將兩個(gè)M1 Max芯片組與1140億個(gè)晶體管、一個(gè)20核CPU和一個(gè)64核GPU集成在一起，在消耗相同功率時(shí)，多線程性能比最快的16核臺式機(jī)高出90%，性能也比目前市場上最快的臺式機(jī)GPU快，功耗低200W。其UltraFusion D2D連接實(shí)現(xiàn)2.5TB/s的帶寬，包括兩個(gè)并行M1 Max SoC的通信。

不過，M1 Ultra并不是在臺積電CoWoS-S（帶硅中介層的晶圓上芯片）2.5D封裝上大規(guī)模生產(chǎn)的，而是采用本地硅互連（LSI）的InFO，更具成本效益。

臺積電消費(fèi)電子HDFO解決方案

一切為了降本增效

FO封裝技術(shù)可以生產(chǎn)出高性能的半導(dǎo)體器件，同時(shí)增加I/O數(shù)量，前景一片光明。隨著行業(yè)在異構(gòu)IC封裝路線圖方面不斷取得進(jìn)展，以及硅架構(gòu)靈活性的提高、小芯片的重復(fù)使用、上市時(shí)間的縮短和總體成本的降低，F(xiàn)O將繼續(xù)推動封裝行業(yè)的持續(xù)創(chuàng)新和發(fā)展。