多位大咖發(fā)聲！如何推動(dòng)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展？

本文由半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫（ID：ICVIEWS）根據(jù)CSEAC第十一屆（2023）半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)演講整理

要想把國內(nèi)的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展起來，一定要合起來干。

8月10日，CSEAC第十一屆（2023）半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)在無錫召開。本屆會(huì)議各大論壇座無虛席，這樣的盛況反映了半導(dǎo)體設(shè)備正越來越受到重視。美國政府對中國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口的限制，讓過去不太“熱”的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)走向人們關(guān)注的中心。華潤微、中微半導(dǎo)體、富創(chuàng)精密等CEO為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)聲。中微半導(dǎo)體CEO尹志堯博士總結(jié)了美國從2019年開始對中國集成電路限制產(chǎn)業(yè)所出的“十五招”。

1.2019年，荷蘭政府在美國政府的干預(yù)下，不允許ASML給國內(nèi)晶圓制造的龍頭企業(yè)中芯國際付運(yùn)最先進(jìn)的EUV極紫外光刻機(jī)，為開發(fā)先進(jìn)的芯片設(shè)置極大的障礙。

2.2020年4月17日，美國政府宣布不允許中國的芯片公司用涉及美國設(shè)備和技術(shù)制造的芯片，供應(yīng)給軍方。

3.2020年5月15日，美國政府出臺新的出口控制政策，不允許任何芯片公司用涉及美國設(shè)備和技術(shù)，為國內(nèi)芯片設(shè)計(jì)龍頭公司海思制造他們設(shè)計(jì)的芯片。

4.2020年8月17日，美國商業(yè)部宣布，任何使用美國設(shè)備和軟件為華為生產(chǎn)產(chǎn)品都要獲得美國的許可證。

5.2020年8月27日，美國商業(yè)部限制對中國出口半導(dǎo)體制造設(shè)備及相關(guān)軟件工具、激光器、傳感器。

6.2020年9月25日，美國商務(wù)部要求向中芯國際提供設(shè)備和技術(shù)都要申請?jiān)S可。

7.2020年12月18日，美國商業(yè)部宣布將中芯國際列入“實(shí)體清單”，美國設(shè)備和關(guān)鍵零部件都要申請?jiān)S可，10納米及以下不給予許可。

8.2021年1月15日，美國國防部將中微半導(dǎo)體設(shè)備公司列入“涉軍企業(yè)”名單。經(jīng)過據(jù)理力爭已從名單撤除。

9.2022年7月-8月，美國出臺《2022年芯片與科學(xué)法案》，宣布520億美元投給芯片產(chǎn)業(yè)，涉及設(shè)備制造、研究發(fā)展、人員培養(yǎng)、成果轉(zhuǎn)換等；提供為期4年的25%的稅收減免，以鼓勵(lì)企業(yè)在美國本土建廠；總共2000億美元科學(xué)和技術(shù)研究基金。

10.2022年7月底，對美國芯片制造設(shè)備行限制，美主要設(shè)備廠商在未經(jīng)許可的情況下，不可向中國大陸芯片制造商出貨。

11.2022年8月初，出臺對中國芯片設(shè)計(jì)行業(yè)(EDA) 的限制。

12.2022年10月5日，美國商業(yè)部工業(yè)安全局將31個(gè)中國公司列入U(xiǎn)VL未確定名單，包含幾家集成電路制造和設(shè)備公司。美國商業(yè)部明示，要求這些公司主動(dòng)和商業(yè)部溝通，如果能提出有說服力的終端客戶信息，排除涉及軍方項(xiàng)目，會(huì)將他們從清單上撤除。但是如果不能主動(dòng)溝通，60天以后就會(huì)將他們列到實(shí)體清單。

13.2022年10月7日，美國商業(yè)部工業(yè)安全局發(fā)布對中國集成電路先進(jìn)制程的限制法案。這個(gè)法案可以用一句話說明: 美國人和美國公司 (American persons) 沒得到商業(yè)部許可，不得參與在中國芯片制造人工智能芯片，超算芯片，16/14納米及以下FinFET和GAA 邏輯器件，18納米及以下的DRAM器件和128層及以上的 Falsh 器件，不得提供設(shè)備。

（AmericanPersons 是指四種人：美國公民，持美國綠卡的人，在美國生活和工作的外國人，在美國注冊的，總部在在美國的法人公司，該這個(gè)法案只對“美國人”包括美國公司法人有法律效力，對在中國注冊的中國公司沒有法律效力。）

14.2022年12月 美國商業(yè)部工業(yè)安全局將32個(gè)中國公司列入“實(shí)體清單“，美公司不得提供設(shè)備。

15.美國政府極力推動(dòng)日本政府和和荷蘭政府跟隨美國不得參與我國先進(jìn)芯片研發(fā)和生產(chǎn)，不得提供設(shè)備。日本政府在2023年5月23日發(fā)布了對23種半導(dǎo)體設(shè)備的出口限制。荷蘭政府也將出臺對光刻機(jī)限制出口的細(xì)節(jié)。

在美國時(shí)間8月9日，美國總統(tǒng)拜登簽署行政令設(shè)立對外投資審查機(jī)制，限制美國主體投資中國半導(dǎo)體和微電子、量子信息技術(shù)和人工智能領(lǐng)域，成為限制中國半導(dǎo)體的第十六招。從美國政府的種種限制中不難發(fā)現(xiàn)，半導(dǎo)體設(shè)備頻頻出現(xiàn)。這是因?yàn)榘雽?dǎo)體設(shè)備是集成電路產(chǎn)業(yè)的基石，限制了設(shè)備就可以限制行業(yè)的進(jìn)步。

工欲善其事，必先利其器

數(shù)碼產(chǎn)業(yè)是一個(gè)倒置的三角形，從應(yīng)用層面來看，數(shù)碼產(chǎn)業(yè)可能會(huì)有上幾十億的幾十萬億美金的規(guī)模；所有的應(yīng)用都要有一個(gè)硬件支撐叫電子系統(tǒng)，可能有幾萬億的產(chǎn)值；這些電子系統(tǒng)又被半導(dǎo)體芯片的設(shè)計(jì)和制造所支撐；而半導(dǎo)體設(shè)備則是半導(dǎo)體芯片制造的支撐。如果不能做出這樣高精尖的半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備，就做不出芯片。

尹志堯博士介紹，目前一條12英寸的生產(chǎn)線大概需要100億美金的投資，其中70%用來買設(shè)備，總體來說要買10大類設(shè)備，細(xì)分的設(shè)備超過170種，細(xì)分到型號可能有300多種。總的來說，需要3500臺設(shè)備構(gòu)成一條生產(chǎn)線，這樣的數(shù)據(jù)組反映了設(shè)備市場的重要性與復(fù)雜程度。

隨著中國大陸半導(dǎo)體芯片市場需求的旺盛，半導(dǎo)體設(shè)備和材料市場也在逐漸蓬勃。當(dāng)前全球半導(dǎo)體設(shè)備制造市場上，美國制造商占比45.64%、日本31.05%、歐洲21.91%；前五大制造商AMAT/ASML/LAM/TEL/KLA占比約66%。與此同時(shí)，中國已經(jīng)成為全球最大的設(shè)備市場，這樣的數(shù)據(jù)表明，中國半導(dǎo)體設(shè)備制造商有著極大的潛力。在這樣的背景下，半導(dǎo)體設(shè)備公司如何把握機(jī)遇成為了重要議題。

?內(nèi)卷時(shí)代，產(chǎn)業(yè)鏈上下游需要協(xié)同發(fā)展

華潤微電子執(zhí)行董事、總裁李虹博士表示，隨著半導(dǎo)體設(shè)備、材料及零部件等供應(yīng)鏈環(huán)節(jié)重要性凸顯，國產(chǎn)化進(jìn)度進(jìn)入到動(dòng)態(tài)調(diào)整期，制造、設(shè)備企業(yè)對國內(nèi)基礎(chǔ)材料和零部件企業(yè)的支持力度明顯提升，驗(yàn)證進(jìn)度已經(jīng)開始加快。已經(jīng)有多家國產(chǎn)設(shè)備細(xì)分龍頭出現(xiàn)。

與此同時(shí)，多個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈上的公司表示行業(yè)出現(xiàn)了內(nèi)卷的情況，而這有可能影響半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的發(fā)展。2010年，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)曾經(jīng)出現(xiàn)了“藍(lán)光熱”現(xiàn)象，曾經(jīng)有54家企業(yè)宣布要開發(fā)GaN LED MOCVD設(shè)備，其中大部分企業(yè)都拿到了投資；然而六七年后，52家公司的項(xiàng)目都宣布終止。這種現(xiàn)象反映了行業(yè)的內(nèi)卷，是對人力、物力、財(cái)力的浪費(fèi)。

對于正在迎頭追趕的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)，如果大量出現(xiàn)專利抄襲、人才挖角、投資機(jī)構(gòu)盲目投資之類的惡行問題，對整個(gè)行業(yè)的傷害是極大的。尹志堯博士表示，內(nèi)卷在高科技領(lǐng)域其實(shí)是一種正?，F(xiàn)象，但為了行業(yè)的健康發(fā)展，要杜絕的是惡性競爭；對此他也提出建議，政府和行業(yè)需要制定一些公平競爭的法則和規(guī)劃，降低內(nèi)耗，防止惡性競爭來促進(jìn)產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。

半導(dǎo)體設(shè)備零部件公司富創(chuàng)精密董事長鄭廣文也提到，當(dāng)前半導(dǎo)體零部件企業(yè)面對的一個(gè)難題就是需求端的引領(lǐng)不足。零部件廠商需要了解產(chǎn)品的精度，但是沒有客戶就沒有方向。對于集成電路產(chǎn)業(yè)來說，越是上游就越要預(yù)測下游的趨勢，就越要走到下越前面。然而如果沒溝通、協(xié)作，上游廠商就無法與下游客戶一起發(fā)展。在這樣的情況下，“協(xié)同發(fā)展”整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)從業(yè)者共同的訴求。

同時(shí)，整個(gè)行業(yè)已經(jīng)意識到了產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展的重要性。富創(chuàng)精密就曾配合客戶從0到1完成一款設(shè)備的導(dǎo)入上線。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵在于人，尹志堯博士在演講中提到，中國留學(xué)生在多個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)中都充當(dāng)了重要角色。而很多設(shè)備的領(lǐng)軍的人物都已經(jīng)回國，成為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司的中堅(jiān)力量。所以可以相信，在一段時(shí)間后，中國能開發(fā)出有國際競爭力的設(shè)備產(chǎn)業(yè)。

我們處在一個(gè)數(shù)碼時(shí)代，而它的核心是微觀加工，微觀加工的核心是微觀加工的設(shè)備。在這個(gè)“越做越小”的時(shí)代，國內(nèi)集成電路行業(yè)需要把自己的格局放大。