多家A股廠(chǎng)商訂單量大增，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入成長(zhǎng)期

2022年，盡管全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)局勢(shì)復(fù)雜，但中國(guó)本土半導(dǎo)體似乎依然保持著朝陽(yáng)勢(shì)頭，發(fā)展火熱。尤其是半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng)商，在國(guó)產(chǎn)化浪潮進(jìn)一步驅(qū)動(dòng)下，去年大部分國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠(chǎng)商在營(yíng)收及訂單方面表現(xiàn)出了強(qiáng)勁的增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。

至純科技/中微公司/盛美上海等訂單量穩(wěn)步增長(zhǎng)

2023年以來(lái)，至純科技、中微公司、以及盛美上海均披露了其2022年年度報(bào)告。數(shù)據(jù)顯示，上述廠(chǎng)商的營(yíng)收及利潤(rùn)不僅在2022年實(shí)現(xiàn)了大幅增長(zhǎng)，同時(shí)其銷(xiāo)售訂單量亦持續(xù)增加。

至純科技：新增訂單42.19億元，同比增長(zhǎng)30.62%

2022年度，至純科技實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入30.5億元，同比增長(zhǎng)46.32%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)2.82億元，同比增長(zhǎng)0.24%；扣非后歸母凈利潤(rùn)2.85億元，同比大增76.03%。2022年度，公司新增訂單42.19億元，同比增長(zhǎng)30.62%，其中半導(dǎo)體制程設(shè)備新增訂單18.00億元，同比增長(zhǎng)60.71%。

據(jù)介紹，2022年，至純科技研發(fā)拓展?fàn)t管和涂膠顯影設(shè)備。其8英寸爐管設(shè)備已有數(shù)臺(tái)訂單，12英寸爐管設(shè)備正在研發(fā)制造，即將進(jìn)入客戶(hù)驗(yàn)證階段；8英寸涂膠顯影設(shè)備已交付客戶(hù)驗(yàn)證，12英寸涂膠顯影設(shè)備尚處在專(zhuān)利檢索及技術(shù)評(píng)估階段。此外，至純科技首臺(tái)單晶槽式制絨清洗設(shè)備已于2022年下半年下線(xiàn)，并且拿到了近60臺(tái)制絨設(shè)備訂單，目前在陸續(xù)交付中。

據(jù)悉，至純科技的核心客戶(hù)均為國(guó)內(nèi)知名企業(yè)，如上海華力、中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、合肥長(zhǎng)鑫、士蘭微、西安三星、無(wú)錫海力士、北京燕東、TI、華潤(rùn)微等。至純科技預(yù)計(jì)，2023年，公司預(yù)計(jì)年度新增訂單區(qū)間在52-57億元，制程設(shè)備訂單區(qū)間為20-25億元。

中微公司：等離子體刻蝕設(shè)備市占率提高，已在5納米芯片生產(chǎn)線(xiàn)等批量銷(xiāo)售

2022年，中微公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)收47.4億元，同比增長(zhǎng)52.5%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)11.7億元，同比增長(zhǎng)15.66%；扣非后歸母凈利潤(rùn)9.19億元，同比大增183.44%。2022年，中微公司新簽訂單金額約63.2億元，較 2021 年增加約21.9億元，同比增加約53%，訂單銷(xiāo)售比達(dá)到1.33。

財(cái)報(bào)顯示，近年來(lái)中微公司等離子體刻蝕設(shè)備市場(chǎng)占有率不斷提高，在國(guó)際最先進(jìn)的5納米芯片生產(chǎn)線(xiàn)及下一代更先進(jìn)的生產(chǎn)線(xiàn)上均實(shí)現(xiàn)了多次批量銷(xiāo)售。數(shù)據(jù)顯示，2022年刻蝕設(shè)備收入為31.47億元，較2021年增長(zhǎng)約57.07%，毛利率達(dá)到47.00%。

至2022年底，中微公司累計(jì)已有3311個(gè)等離子體刻蝕和化學(xué)薄膜的反應(yīng)臺(tái)，在國(guó)內(nèi)、亞洲和歐洲的106條生產(chǎn)線(xiàn)全面實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)和大量重復(fù)性銷(xiāo)售。此外，盛美上海也啟動(dòng)了應(yīng)用于碳化硅功率器件外延生產(chǎn)設(shè)備的開(kāi)發(fā)，2023年將交付樣機(jī)至客戶(hù)端開(kāi)展生產(chǎn)驗(yàn)證。

目前，中微公司產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目正在順利推進(jìn)中，據(jù)介紹，其南昌生產(chǎn)和研發(fā)基地已基本建成完工，部分生產(chǎn)潔凈室于 2022年7月投入試生產(chǎn)；位于上海臨港的生產(chǎn)和研發(fā)基地主體建設(shè)已完成，2023年將部分投入使用；此外海臨港的研發(fā)中心暨總部大樓也在順利建設(shè)。

盛美上海：半導(dǎo)體設(shè)備需求不斷增加，銷(xiāo)售訂單持續(xù)增長(zhǎng)

財(cái)報(bào)顯示，2022年度盛美上海實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入28.73億元，同比增長(zhǎng)77.25%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)6.68億元，同比增長(zhǎng)151.08%；扣非后歸母凈利潤(rùn)6.7億元，同比大增254.27%。

據(jù)官方介紹，盛美上海在2022年獲得了大量批量訂單，并成功將立式爐管ALD設(shè)備推向國(guó)內(nèi)的兩家關(guān)鍵客戶(hù)；首臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的涂膠顯影Track設(shè)備Ultra LITHTM成功出機(jī)，順利向國(guó)內(nèi)客戶(hù)交付前道ArF工藝涂膠顯影Track設(shè)備，并將于2023年推出i-line型號(hào)設(shè)備，已開(kāi)始著手研發(fā)KrF設(shè)備。

值得一提的是，2023年以來(lái)，盛美上海也接連獲得了多個(gè)訂單。今年2月底，盛美上海宣布獲得來(lái)自歐洲一家全球性半導(dǎo)體制造商的首個(gè)12腔單片SAPS兆聲波清洗設(shè)備訂單。預(yù)計(jì)將于2023年第四季度交付至該客戶(hù)的歐洲工廠(chǎng)；3月底，盛美上海首次獲得Ultra C SiC碳化硅襯底清洗設(shè)備的采購(gòu)訂單。該訂單來(lái)自中國(guó)領(lǐng)先的碳化硅襯底制造商，預(yù)計(jì)將在2023年第三季度末發(fā)貨。

拓荊科技/華海清科/華峰測(cè)控/芯源微等營(yíng)收凈利雙雙大漲

除上述廠(chǎng)商已披露年報(bào)外，拓荊科技、華海清科、華峰測(cè)控、以及芯源微等設(shè)備廠(chǎng)商各自披露的業(yè)績(jī)預(yù)告亦顯示，2022年，其營(yíng)收和凈利潤(rùn)也實(shí)現(xiàn)了大幅度的增長(zhǎng)。

• 拓荊科技實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入17.06億元，同比增長(zhǎng)125.02%；歸屬于母公司所有者的凈利潤(rùn)3.69億元，同比增長(zhǎng)438.09%；扣非后歸母凈利潤(rùn)1.78億元，同比增加2.6億元；
• 華海清科實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)總收入16.82億元，同比增長(zhǎng)109.03%；實(shí)現(xiàn)利潤(rùn)總額5.71億元，同比增長(zhǎng)191.38%；實(shí)現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤(rùn)5.15億元，同比增長(zhǎng)159.97%；實(shí)現(xiàn)扣非后歸母凈利潤(rùn)3.74億元，同比增長(zhǎng)228.15%；
• 芯源微實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)總收入13.85億元，同比增長(zhǎng)67.12%；實(shí)現(xiàn)利潤(rùn)總額2.19億元，同比增長(zhǎng)188.30%；實(shí)現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤(rùn)1.97億元，同比增長(zhǎng)155.31%；實(shí)現(xiàn)扣非后歸母凈利潤(rùn)1.38億元，同比增長(zhǎng)116.12%。
• 華峰測(cè)控實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)總收入10.71億元，同比增長(zhǎng)67.12%；實(shí)現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤(rùn)5.25億元，同比增長(zhǎng)19.67%；實(shí)現(xiàn)扣非后歸母凈利潤(rùn)5.06億億元，同比增長(zhǎng)16.38%。

對(duì)于營(yíng)收增加的原因，各大廠(chǎng)商在公告中幾乎都提到，主要系公司訂單增加。其中，拓荊科技表示，本年銷(xiāo)售訂單大幅增加，營(yíng)業(yè)收入維持高增長(zhǎng)趨勢(shì)；華海清科亦指出，新增訂單穩(wěn)步增長(zhǎng)，在手訂單不斷增加，為公司業(yè)績(jī)的快速增長(zhǎng)提供了有力保障；芯源微亦表示，新簽訂單較去年同期大幅增長(zhǎng)，收入規(guī)模持續(xù)增長(zhǎng)。

此外，華峰測(cè)控亦表示，盡管公司持續(xù)收到疫情的影響，疊加半導(dǎo)體市場(chǎng)景氣度的不斷低迷，給公司的業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)帶來(lái)了巨大的挑戰(zhàn)。在此期間，公司堅(jiān)持既定的發(fā)展策略，不斷優(yōu)化產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，同時(shí)加強(qiáng)新產(chǎn)品研發(fā)和市場(chǎng)開(kāi)拓，不斷提高產(chǎn)品的市場(chǎng)占有率，保證了業(yè)務(wù)的持續(xù)穩(wěn)定增長(zhǎng)。