MEMS振動監(jiān)控:從加速度到速度
[摘要]

MEMS加速度計終于達到了能夠測量廣泛機器平臺振動的階段。其最近的能力進步,加上MEMS加速度計已有的相對于傳統(tǒng)振動傳感器的諸多優(yōu)勢(尺寸、重量、成本、抗沖擊性、易用性),促使一類新興的狀態(tài)監(jiān)控(CBM)系統(tǒng)開始使用MEMS加速度計。結果,許多CBM系統(tǒng)架構師、開發(fā)者甚至其客戶首次考慮使用此類傳感器。他們面臨的問題常常是如何快速了解評估MEMS加速度計功能的方法,以便在其機器平臺上測量最重要的振動特性。這初看起來似乎很困難,因為MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊表述最重要性能特性的方式常常不是開發(fā)人員所熟悉的。例如,許多人熟悉用線速度(mm/s)來量化振動,但大多數(shù)MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊是用基于重力的加速度(g)來表達其性能指標。幸運的是,有一些簡單的技術可用來將加速度轉換為速度,以及估計加速度計關鍵特性(頻率響應、測量范圍、噪聲密度)對重要系統(tǒng)級標準(帶寬、平坦度、峰值振動、分辨率)的影響。

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