《MEMS雙工器:安華高ACMD-7612》
[摘要]

ACMD-7612是一款采用Avago的薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術制造的MEMS雙工器,諧振層材料為AlN壓力材料。該器件采用真空晶圓級封裝,使得整個芯片高度小于1.2mm;采用硅通孔(TSV)技術蝕刻蓋帽實現(xiàn)電氣接觸,使得芯片尺寸減小。

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資源大小:417.68KB
所屬分類:產(chǎn)業(yè)應用
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